Saved successfully
Save failed
Saved Successfully
Save Failed
公开(公告)号：CN107429394A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201680008898.4
申请日：2016-02-16
Applicant: 麒麟株式会社
Inventor： 田渕博康 , 天野勉 , 中谷正树
IPC: C23C16/44 , C23C8/28
Abstract: 本发明的目的在于提供一种耐久性高的发热体及其制造方法。本发明的发热体(1)包含具有金属钽相的第1层(2)、及覆盖第1层(2)的周围且具有碳化钽相的第2层(3)，并且第1层(2)与第2层(3)的界面部(4)的硅浓度高于界面部(4)以外部分的硅浓度。
