公开(公告)号：CN104126114B

公开(公告)日：2017-04-26

申请号：CN201280061083.4

申请日：2012-10-17

Applicant: 鲁道夫科技公司

Inventor： 罗伯特·毕晓普 ,  蒂莫西·平克尼

IPC: G01N21/956 ,  G02B27/40

CPC classification number: H04N5/2356 ,  G01N21/6456 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/956 ,  G01N2021/6463 ,  G01N2021/95638 ,  G01N2201/0612 ,  G01N2201/062 ,  G01N2201/10 ,  G03B13/36 ,  H04N5/332 ,  H04N5/37206 ,  H04N5/378 ,  H04N7/18

Abstract: 一种用于使用高数值孔径(NA)光学器件，使用智能图像分析来断定最佳聚焦，来优化部件的检查高速光学检查的方法和设备，该方法和设备利用非常有限的景深透镜来实现优越的信噪比、分辨率、和检查速度性能。