基于光学的系统
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN116235026B

    公开(公告)日:2024-09-20

    申请号:CN202180055253.7

    申请日:2021-11-18

    Abstract: 本文公开了一种方法,该方法包括:提供光导装置(LGA),该LGA被配置成将沿垂直于样品的外部表面的方向入射在LGA上的光重定向到样品中或样品上,使得光标称地垂直于样品的内部小平面射在该内部小平面上;生成垂直于外部表面指向该外部表面的第一入射光束(LB)和平行于该第一入射LB并且指向LGA的第二入射LB;通过该第一入射LB从该外部表面的反射获得第一返回LB,并且通过由该LGA将该第二入射LB重定向到该样品中或该样品上、从内部小平面反射第二入射LB并且由LGA进行反向重定向来获得第二返回LB;测量返回LB之间的角度偏差,并且根据该角度偏差推导内部小平面相对于外部表面的实际倾斜角。

    基于光学的方法和系统
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119198636A

    公开(公告)日:2024-12-27

    申请号:CN202411219254.2

    申请日:2021-11-18

    Abstract: 本申请公开了基于光学的方法和系统。基于光学的方法包括:提供光导装置LGA,该LGA被配置成将沿垂直于样品的外部表面的方向入射在LGA上的光重定向到样品中或样品上,使得光标称地垂直于样品的内部小平面射在该内部小平面上;生成垂直于外部表面指向该外部表面的第一入射光束LB和平行于该第一入射LB并且指向LGA的第二入射LB;通过该第一入射LB从该外部表面的反射获得第一返回LB,并且通过由该LGA将该第二入射LB重定向到该样品中或该样品上、从内部小平面反射第二入射LB并且由LGA进行反向重定向来获得第二返回LB;测量返回LB之间的角度偏差,并且根据该角度偏差推导内部小平面相对于外部表面的实际倾斜角。

    通过主动对准来接合光学表面的方法和装置

    公开(公告)号:CN117897588A

    公开(公告)日:2024-04-16

    申请号:CN202280058766.8

    申请日:2022-08-28

    Abstract: 本文公开了一种用于通过对准两个或更多个棱镜元件并沿着两个或更多个棱镜元件的接合表面来接合两个或更多个棱镜元件来生产具有多个平坦外表面的复合棱镜的系统,该系统包括:基础结构,该基础结构被配置成使第一棱镜部件和第二棱镜部件的接合表面紧密接近或接触;能够控制的可旋转机械轴,该能够控制的可旋转机械轴被配置成使该第一棱镜部件的至少一个第一表面和该第二棱镜部件的至少一个第二表面对准;光源,该光源被配置成将至少一个准直入射光束投射到所述至少一个第一表面和所述至少一个第二表面上;一个或更多个检测器,所述一个或更多个检测器被配置成感测从该第一表面和该第二表面反射的光束;计算模块,该计算模块被配置成基于所感测的数据来确定所述至少一个第一表面与所述至少一个第二表面之间的平均实际相对取向,并且如果所述至少一个第一表面与所述至少一个第二表面之间的加权平均实际相对取向与预期相对取向之间的差在准确度阈值以下,则确定该能够控制的可旋转机械轴的校正角,其中,所述棱镜部件中的一个或更多个棱镜部件是透明的或半透明的。

    对表面取向的基于光学的验证
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116529558A

    公开(公告)日:2023-08-01

    申请号:CN202180077691.3

    申请日:2021-11-18

    Abstract: 本文公开了一种用于验证样品的外部平坦表面之间的角的基于光学的方法。该方法包括:(i)提供包括外部平坦第一表面和外部平坦第二表面的样品,第二表面相对于第一表面以标称角标称地倾斜;(ii)生成被导向至第一表面的第一入射光束(LB)以及平行于第一入射LB的第二入射LB;(iii)通过使第一入射LB反射离开第一表面来获得第一返回LB;(iv)通过以标称角折叠第二入射LB、使经折叠的LB反射离开第二表面、并且以标称角折叠反射的LB,获得第二返回LB;(v)测量返回LB之间的第一角度偏差;以及(vi)至少基于所测量的第一角度偏差推导第一表面与第二表面之间的实际倾斜角。

    内部小平面的取向的基于光学的验证

    公开(公告)号:CN116235026A

    公开(公告)日:2023-06-06

    申请号:CN202180055253.7

    申请日:2021-11-18

    Abstract: 本文公开了一种方法,该方法包括:提供光导装置(LGA),该LGA被配置成将沿垂直于样品的外部表面的方向入射在LGA上的光重定向到样品中或样品上,使得光标称地垂直于样品的内部小平面射在该内部小平面上;生成垂直于外部表面指向该外部表面的第一入射光束(LB)和平行于该第一入射LB并且指向LGA的第二入射LB;通过该第一入射LB从该外部表面的反射获得第一返回LB,并且通过由该LGA将该第二入射LB重定向到该样品中或该样品上、从内部小平面反射第二入射LB并且由LGA进行反向重定向来获得第二返回LB;测量返回LB之间的角度偏差,并且根据该角度偏差推导内部小平面相对于外部表面的实际倾斜角。

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