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公开(公告)号：CN102393563A
公开(公告)日：2012-03-28
申请号：CN201110412342.0
申请日：2008-06-24
申请人： 高通MEMS科技公司
CPC分类号： G02B26/001 , B81B3/0083 , B81B2201/047
摘要： 本发明涉及具有与机械及电功能分离的光学功能的微机电装置。本发明提供一种微机电(MEMS)装置(800)，其包括具有顶表面(88)的衬底(20)、在所述衬底(20)上的可移动元件(810)及激活电极(82)。所述可移动元件(810)包括可变形层(34)及以机械方式耦合到所述可变形层(34)的反射元件(814)。所述反射元件(814)包含反射表面(92)。所述激活电极(82)与所述反射表面(92)横向地安置。所述可移动元件(810)通过在大体垂直于所述衬底(20)的所述顶表面(88)的方向上移动来对施加于所述激活电极(82)与所述可移动元件(810)之间的电压差作出响应。
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公开(公告)号：CN102393562A
公开(公告)日：2012-03-28
申请号：CN201110412304.5
申请日：2008-06-24
申请人： 高通MEMS科技公司
CPC分类号： G02B26/001 , B81B3/0083 , B81B2201/047
摘要： 本发明涉及具有与机械及电功能分离的光学功能的微机电装置。本发明提供一种微机电(MEMS)装置(800)，其包括具有顶表面(88)的衬底(20)、在所述衬底(20)上的可移动元件(810)及激活电极(82)。所述可移动元件(810)包括可变形层(34)及以机械方式耦合到所述可变形层(34)的反射元件(814)。所述反射元件(814)包含反射表面(92)。所述激活电极(82)与所述反射表面(92)横向地安置。所述可移动元件(810)通过在大体垂直于所述衬底(20)的所述顶表面(88)的方向上移动来对施加于所述激活电极(82)与所述可移动元件(810)之间的电压差作出响应。
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公开(公告)号：CN101688975B
公开(公告)日：2012-02-01
申请号：CN200880022893.2
申请日：2008-06-24
申请人： 高通MEMS科技公司
CPC分类号： G02B26/001 , B81B3/0083 , B81B2201/047
摘要： 本发明提供一种微机电(MEMS)装置(800)，其包括具有顶表面(88)的衬底(20)、在所述衬底(20)上的可移动元件(810)及激活电极(82)。所述可移动元件(810)包括可变形层(34)及以机械方式耦合到所述可变形层(34)的反射元件(814)。所述反射元件(814)包含反射表面(92)。所述激活电极(82)与所述反射表面(92)横向地安置。所述可移动元件(810)通过在大体垂直于所述衬底(20)的所述顶表面(88)的方向上移动来对施加于所述激活电极(82)与所述可移动元件(810)之间的电压差作出响应。
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公开(公告)号：CN101945818A
公开(公告)日：2011-01-12
申请号：CN200980104857.5
申请日：2009-02-06
申请人： 高通MEMS科技公司
CPC分类号： G01D5/2417 , B81B2201/042 , B81C99/0045 , G01R31/2829 , G01R31/2837
摘要： 本发明描述用以表征干涉式调制器或类似装置的各种方法。干涉式调制器上测得的电压可用于表征所述干涉式调制器的转变电压。可通过测得的电流的积分来分析测得的电流以提供所述干涉式调制器的动态响应的指示。可使用频率分析来提供所述干涉式调制器的滞后窗或所述干涉式调制器的机械性质的指示。可通过信号相关来确定电容，且可使用扩展频谱分析来使噪声或干扰对各种干涉式调制器参数的测量的影响最小化。
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公开(公告)号：CN101836137A
公开(公告)日：2010-09-15
申请号：CN200880113018.5
申请日：2008-10-21
申请人： 高通MEMS科技公司
发明人： 卡斯拉·哈泽尼 , 马尼什·科塔里 , 马克·米尼亚尔 , 徐刚 , 鲁塞尔·W·格鲁尔克
CPC分类号： G02B26/001 , G02B5/281
摘要： 调制器装置在至少两个状态之间可选择性地可调整，其中特定波长的光的透射和/或反射经修改。某些调制器装置在包含可见波长和红外波长的广泛范围的波长上大体上均一地可调整。其它调制器装置在不显著影响红外波长的情况下在可见波长上可调整。另外，所述调制器装置可与固定薄膜反射结构结合使用。
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公开(公告)号：CN101688975A
公开(公告)日：2010-03-31
申请号：CN200880022893.2
申请日：2008-06-24
申请人： 高通MEMS科技公司
CPC分类号： G02B26/001 , B81B3/0083 , B81B2201/047
摘要： 本发明提供一种微机电(MEMS)装置(800)，其包括具有顶表面(88)的衬底(20)、在所述衬底(20)上的可移动元件(810)及激活电极(82)。所述可移动元件(810)包括可变形层(34)及以机械方式耦合到所述可变形层(34)的反射元件(814)。所述反射元件(814)包含反射表面(92)。所述激活电极(82)与所述反射表面(92)横向地安置。所述可移动元件(810)通过在大体垂直于所述衬底(20)的所述顶表面(88)的方向上移动来对施加于所述激活电极(82)与所述可移动元件(810)之间的电压差作出响应。
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