-
公开(公告)号：CN102101634B
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201010281391.0
申请日：2006-06-05
申请人： 高级技术材料公司 , 东京毅力科创株式会社
发明人： 约翰·R·金格里 , 丹尼斯·布雷斯托万斯基 , 凯文·T·奥多尔蒂 , 格伦·M·汤姆 , 柯克·米克尔森 , 马修·史密斯 , 唐纳德·D·韦尔 , 格雷格·纳尔逊 , 罗伯特·哈帕拉 , 鲁塞尔·奥贝格 , 蒂姆·霍伊特 , 贾森·杰罗尔德 , 凯文·内斯达尔 , 约翰·扬切克
IPC分类号： B67D99/00
CPC分类号： B67D7/0288 , B67D7/0261 , B67D7/32 , B67D7/3227 , B67D7/3281 , B67D7/34 , B67D7/344 , F16K35/00 , F16K35/025 , F16L37/08 , Y10T29/49826 , Y10T29/53
摘要： 本发明公开了流体储存和分配系统以及方法，涉及用于流体储存和分配的各种装置、结构和设置、以及技术和方法，包括但不限于：有效地用于流体储存和分配包装的应用中以确保正确接合并避免流体污染问题的预连接确认接合件，有效地用于与流体分配操作中被压扁的衬件相结合的流体储存和分配包装的空检测系统，用于辅助从盖式容器上移除分配连接件的符合人机工程学的改进结构，用于防止容器盖的误用的盖整体性确保系统，以及用于确保正确的分配组件和容器的接合的键码系统。描述了流体储存和分配系统，实现了零或接近零的顶部空间特征，并且防止或改进了从第二层包装容器中的衬件分配流体时的溶解效应。
-
公开(公告)号：CN103946125A
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：CN201280056791.9
申请日：2012-11-16
申请人： 高级技术材料公司
IPC分类号： B65D77/06
CPC分类号： B65D77/06 , B65B3/04 , B65B3/18 , B65B63/08 , B65D81/2023 , B67C3/223 , B67C3/30 , B67D7/0255 , B67D7/0288
摘要： 一种从基于内衬的组件移除顶隙气体的方法。该基于内衬的组件可大体包括外包装、内衬及用于密封该内衬的封闭件，所述内衬定位在外包装内并容纳材料和顶隙气体。所述方法可包括：提供单向阀，该单向阀与内衬的内部流体连通并允许在离开内衬的内部的方向上的流动；和向所述单向阀施加真空以从内衬的内部排空顶隙气体。在一些实施例中，基于内衬的组件还可包括端口，该端口与外包装和内衬之间的环形空间流体连通，并且该方法可包括例如在向单向阀施加真空期间将端口盖住。
-
公开(公告)号：CN103101867A
公开(公告)日：2013-05-15
申请号：CN201310032070.0
申请日：2007-06-11
申请人： 高级技术材料公司
CPC分类号： B67D7/763 , B65D83/62 , B67D7/0261 , Y10T137/313
摘要： 本发明公开了一种流体分配系统及方法、连接器、微电子产品制造设备。该流体分配系统包括：至少一个压力分配封装件，该压力分配封装件包括设置在外包装容器内的可折叠内衬，外包装容器比可折叠内衬硬得多，其中，可折叠内衬适于容纳用于压力分配的流体；以及连接器，该连接器适于与至少一个压力分配封装件中的一个压力分配封装件配合，连接器包括气体移除设备，气体移除设备包括适于接收来自可折叠内衬的流体的可排放贮存器，气体移除设备适于在流体的压力分配之前移除可折叠内衬中的气体。
-
公开(公告)号：CN102791383A
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201180012741.6
申请日：2011-01-05
申请人： 高级技术材料公司
CPC分类号： B67D7/0261 , C02F1/001 , C02F1/20 , C02F2209/40 , F17C1/00 , F17C2201/0104 , F17C2201/0157 , F17C2201/054 , F17C2201/056 , F17C2201/058 , F17C2203/0604 , F17C2203/0617 , F17C2203/0624 , F17C2203/0629 , F17C2203/0636 , F17C2203/066 , F17C2203/0685 , F17C2205/0142 , F17C2205/0165 , F17C2205/0169 , F17C2205/0323 , F17C2205/0326 , F17C2205/0335 , F17C2205/0338 , F17C2205/0341 , F17C2205/0373 , F17C2205/0382 , F17C2205/0385 , F17C2205/0391 , F17C2209/219 , F17C2209/221 , F17C2221/03 , F17C2223/0123 , F17C2223/0153 , F17C2223/033 , F17C2223/043 , F17C2223/047 , F17C2227/0135 , F17C2227/0157 , F17C2227/0192 , F17C2227/0304 , F17C2227/0379 , F17C2227/041 , F17C2250/032 , F17C2250/0408 , F17C2250/043 , F17C2250/0439 , F17C2250/0443 , F17C2250/0452 , F17C2250/0478 , F17C2250/0491 , F17C2250/0495 , F17C2250/072 , F17C2260/016 , F17C2260/024 , F17C2265/012 , F17C2265/017 , F17C2265/022 , F17C2270/05 , F17C2270/0518 , Y10T137/2708
摘要： 一种用于压力分配包装的分配组件，包括：具有分开的且不同的液体和排出管道并具有压缩气体管道的连接器。衬套附件适配器可包括纵向孔，以容纳限定取液管道的连接器的探针部分，并可包括横向孔，以使得能够去除气体。将连接器插入分配组件，可在（a）取气管道和分配容积之间；（b）取液管道和分配容积之间，以及（c）压缩气体管道和在压力分配容器内待加压的空间之间，同时形成流体连接。通过将第一和第二温度传感元件的输出进行比较，可感测到流体的存在或流路内流动流体的相的变化，一个传感元件包括加热器，以使暴露于气体但不暴露于液体的传感元件的温度升高。用于流体分配的系统和方法包括第一压力分配装置和传感元件，其被布置为感测与接近所分配的流体的气体饱和相关的状态，并且，响应于这种感测到的状态，可开始由第二压力分配装置分配，以使供应至使用点的压力分配的流体流组合。
-
公开(公告)号：CN101484782A
公开(公告)日：2009-07-15
申请号：CN200780025430.7
申请日：2007-06-11
申请人： 高级技术材料公司
IPC分类号： G01F11/00
CPC分类号： B67D7/763 , B65D83/62 , B67D7/0261 , Y10T137/313
摘要： 一种流体分配系统，所述系统用来传送封装件中各种液态和气态或汽态同时存在的材料，封装件优选地包括一种可含流体的可折叠内衬。在分配封装件内的液体之前，先移除压力分配封装件的顶部空间气体，接着在分配过程中移除进入气体。至少一个传感器感测贮存器或气/液分离区中的气体或气/液界面。气体移除系统包括一整合式贮存器、至少一个传感器和至少一个流动控制件，且气体移除系统可设在用来接合压力分配封装件的连接器内，以有效地移除容器中由待分配液体形成的气体。
-
公开(公告)号：CN101208256A
公开(公告)日：2008-06-25
申请号：CN200680022747.0
申请日：2006-04-25
申请人： 高级技术材料公司
IPC分类号： B67D5/00
CPC分类号： B65D83/0061 , B01J4/02 , B01J2219/00065 , B01J2219/00067 , B01J2219/00069 , B01J2219/00164 , G01F23/18
摘要： 本发明公开了用于储存和分配化学试剂和组合物，例如用于制造微电子器件产品的高纯液体试剂和化学机械抛光剂的流体供应系统，该流体供应系统具有在分配操作期间在所容纳的液体处于或接近耗尽时检测空或接近空的情形的能力。本发明描述了采用空检测检测布置的流体递送系统，其包括压力传感器，用于监控在供料包装和液压伺服分配泵中间分配的材料，或监控在周期进度表上被补充的分配器中的分配室补充次数，以将材料从分配器流到利用所分配的材料的下游设备。
-
公开(公告)号：CN1128652C
公开(公告)日：2003-11-26
申请号：CN97190176.7
申请日：1997-05-20
申请人： 高级技术材料公司
发明人： 格伦·M·汤姆 , W·卡尔·奥兰德 , 詹姆斯·V·麦克曼那斯
IPC分类号： B01D53/04
CPC分类号： F17C7/04 , B01D53/0407 , B01D2253/102 , B01D2253/304 , B01D2259/4525 , F17C11/00 , F17C2205/0338 , F17C2205/0391
摘要： 一种用于贮藏和分送吸附气体的吸附一解吸装置，其特征在于，物理吸附剂介质上吸附的气体可以通过压力解吸和/或热解吸而被解析，然后分送。吸附剂材料最好由对于砷化氢在40乇和650乇下测定的吸附剂工作量至少为100克砷化氢/升吸附剂材料的材料组成，即具有图1中曲线A的吸附等温线特性的吸附剂材料组成。
-
公开(公告)号：CN1177307A
公开(公告)日：1998-03-25
申请号：CN95195667.1
申请日：1995-10-13
申请人： 高级技术材料公司
发明人： 格伦·M·汤姆 , 詹姆斯·V·麦克曼那斯
IPC分类号： B01D53/04
CPC分类号： F17C11/007 , B01D53/0407 , B01D2253/308 , B01D2259/4525 , B01J20/20 , F17C11/00 , F17C2205/0338 , F17C2205/0391 , Y02C10/08 , Y02C20/10 , Y10S95/902
摘要： 本发明涉及吸附－解吸装置(102),储存和分配气体如氢化物和卤化物气体,以及V族有机金属化合物的方法,通过从吸附剂材料上经压差解吸选择性进行分配。该吸附剂材料优选避免含有如水、金属和氧化的过渡金属物质,它们可严重降解装置(102)中的吸附气。
-
公开(公告)号：CN102126696B
公开(公告)日：2014-10-29
申请号：CN201010609240.3
申请日：2006-06-05
申请人： 高级技术材料公司 , 东京毅力科创株式会社
发明人： 约翰·R·金格里 , 丹尼斯·布雷斯托万斯基 , 凯文·T·奥多尔蒂 , 格伦·M·汤姆 , 柯克·米克尔森 , 马修·史密斯 , 唐纳德·D·韦尔 , 格雷格·纳尔逊 , 罗伯特·哈帕拉 , 鲁塞尔·奥贝格 , 蒂姆·霍伊特 , 贾森·杰罗尔德 , 凯文·内斯达尔 , 约翰·扬切克
CPC分类号： B67D7/0288 , B67D7/0261 , B67D7/32 , B67D7/3227 , B67D7/3281 , B67D7/34 , B67D7/344 , F16K35/00 , F16K35/025 , F16L37/08 , Y10T29/49826 , Y10T29/53
摘要： 本发明公开了流体供给系统、流体储存和分配系统及供给流体的方法。该流体供给系统包括：基于衬件的流体储存和分配包装，所述包装包括适于容纳流体的衬件；气体源，被布置成从外部施加气体压力于衬件上，用于以压力为媒介从衬件分配流体；以及下述构件(a)和(b)之一：(a)压力传感器和处理器，其中，压力传感器适于感测从衬件分配的流体的压力，并产生指示所述压力的传感器输出，并且处理器适于接收传感器输出并确定所述流体的压力变化率；以及(b)监视器，适于监控从衬件分配的流体的压力变化率。
-
公开(公告)号：CN101223100B
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN200680026054.9
申请日：2006-06-05
申请人： 高级技术材料公司 , 东京毅力科创株式会社
发明人： 约翰·R·金格里 , 丹尼斯·布雷斯托万斯基 , 凯文·T·奥多尔蒂 , 格伦·M·汤姆 , 柯克·米克尔森 , 马修·史密斯 , 唐纳德·D·韦尔 , 格雷格·纳尔逊 , 罗伯特·哈帕拉 , 鲁塞尔·奥贝格 , 蒂姆·霍伊特 , 贾森·杰罗尔德 , 凯文·内斯达尔 , 约翰·扬切克
IPC分类号： B67D5/00
CPC分类号： B67D7/0288 , B67D7/0261 , B67D7/32 , B67D7/3227 , B67D7/3281 , B67D7/34 , B67D7/344 , F16K35/00 , F16K35/025 , F16L37/08 , Y10T29/49826 , Y10T29/53
摘要： 本发明公开了流体储存和分配系统以及方法，涉及用于流体储存和分配的各种装置、结构和设置、以及技术和方法，包括但不限于：有效地用于流体储存和分配包装的应用中以确保正确接合并避免流体污染问题的预连接确认接合件，有效地用于与流体分配操作中被压扁的衬件相结合的流体储存和分配包装的空检测系统，用于辅助从盖式容器上移除分配连接件的符合人机工程学的改进结构，用于防止容器盖的误用的盖整体性确保系统，以及用于确保正确的分配组件和容器的接合的键码系统。描述了流体储存和分配系统，实现了零或接近零的顶部空间特征，并且防止或改进了从第二层包装容器中的衬件分配流体时的溶解效应。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
25 条记录 (耗时 0.029 秒)
