公开(公告)号：CN117995632B

公开(公告)日：2025-05-09

申请号：CN202410122956.2

申请日：2024-01-29

Applicant: 香港科技大学(广州)

Inventor： 陈子强 ,  廖逸民

IPC: H01J37/08 ,  H01J37/317 ,  H01J37/32

Abstract: 本申请涉及一种离子源、离子注入装置和离子注入方法。离子源包括壳体、电子枪、电子接收极、含硒固体源、激光器和离子引出极，壳体具有电离室，电子枪和电子接收极设于电离室内，沿第一方向相对且间隔设置。含硒固体源设于电离室内，且具有第一侧壁，激光器朝向含硒固体源的第一侧壁设置，以将含硒固体源加热成含硒气体。离子引出极贯穿设于壳体沿第二方向的一侧侧壁上，且具有与电离室连通的离子出口。电子枪包括阴极，阴极和电子接收极之间具有第一预设电压，以引导阴极发射的电子朝向电子接收极出射，而将含硒气体电离为含硒离子。离子引出极被配置为能够引导含硒离子通过离子出口出射。可减小后续利用该离子源进行离子注入时的启动时间。

公开(公告)号：CN119082869A

公开(公告)日：2024-12-06

申请号：CN202411194989.4

申请日：2024-08-28

Applicant: 香港科技大学(广州)

Inventor： 陈子强 ,  廖逸民

IPC: C30B29/16 ,  H01L21/02 ,  C30B1/02 ,  C30B31/22

Abstract: 本申请涉及一种P型氧化镓和P型氧化镓的制备方法。P型氧化镓的制备方法包括提供基底，基底的材质包括β‑氧化镓，在基底上形成浅能级受主杂质和深能级受主杂质的共掺杂。其中，浅能级受主杂质与氧为同族元素。当深能级受主杂质与浅能级受主杂质共同掺杂时，深能级受主杂质的深能级受主可以与浅能级受主杂质的受主能级结合，进一步将费米能级推向价带顶，这种结合效应显著提升了β‑氧化镓P型导电的稳定性。