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公开(公告)号：CN117760336B
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202311791609.0
申请日：2023-12-22
申请人： 霖鼎光学(上海)有限公司
IPC分类号： G01B11/25
摘要： 本发明涉及标定领域，特别是涉及一种五轴干涉测量系统的标定方法、介质及电子设备。包括如下步骤：获取目标标定姿态下，五轴干涉测量系统的逆运动学方程组。获取第一标定辅助工件的待测量表面上至少两个点的位置信息，作为标定信息。根据标定信息、逆运动学解方程组及标定件曲面表达式，确定待标定参数d、l及L，得到完整的五轴干涉测量系统逆运动学解，完成标定工作。本发明中的五轴运动系统可以更多角度的调整测头与待测工件的位置，以获得更多的标定信息，提高系统参数标定精度。另外通过本发明中公开的标定方法标定后的五轴干涉测量系统调焦调平后理论对焦点坐标与实际对焦点坐标误差可以控制在±3μm之内。
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公开(公告)号：CN113210636B
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202110392029.9
申请日：2021-04-13
申请人： 霖鼎光学(上海)有限公司
摘要： 本发明涉及一种移轴对中式微透镜阵列加工装置和方法，装置包括基座，所述基座上安装有移动方向相互垂直设置的机床X轴和机床Y轴，所述机床X轴的滑台上设置有机床Z轴，所述机床Z轴的移动方向分别与所述机床X轴和机床Y轴垂直，所述机床Z轴上设置有机床B轴，所述机床Y轴上设置有机床C轴，其特征在于，所述机床B轴表面固定有加工刀具；所述机床C轴表面固定有真空吸盘，所述真空吸盘表面固定有控制模块，所述控制模块上安装有二维定位模块，所述二维定位模块上安装有工件夹具；所述二维定位模块用于调整工件夹具上的待加工工件与所述机床C轴的相对位置。本发明能够提高微透镜阵列的加工效率，且每个微透镜单元的加工质量统一。
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公开(公告)号：CN113211161A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN202110391845.8
申请日：2021-04-13
申请人： 霖鼎光学(上海)有限公司
摘要： 本发明涉及一种氧化金属表面抑制金刚石刀具化学磨损的方法，在金刚石刀具进行超精密加工时，通过多能场辅助技术增加加工区域环境介质的氧化能力，在加工区域表面形成氧化膜；所述多能场辅助技术是指在所述金刚石刀具周边施加化学能或光能和化学能组合能量来增加加工区域表面的氧化膜的形成速率和厚度。本发明能够抑制金属催化金刚石刀具石墨化，减小其化学磨损。
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公开(公告)号：CN117760336A
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202311791609.0
申请日：2023-12-22
申请人： 霖鼎光学(上海)有限公司
IPC分类号： G01B11/25
摘要： 本发明涉及标定领域，特别是涉及一种五轴干涉测量系统的标定方法、介质及电子设备。包括如下步骤：获取目标标定姿态下，五轴干涉测量系统的逆运动学方程组。获取第一标定辅助工件的待测量表面上至少两个点的位置信息，作为标定信息。根据标定信息、逆运动学解方程组及标定件曲面表达式，确定待标定参数d、l及L，得到完整的五轴干涉测量系统逆运动学解，完成标定工作。本发明中的五轴运动系统可以更多角度的调整测头与待测工件的位置，以获得更多的标定信息，提高系统参数标定精度。另外通过本发明中公开的标定方法标定后的五轴干涉测量系统调焦调平后理论对焦点坐标与实际对焦点坐标误差可以控制在±3μm之内。
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公开(公告)号：CN113211161B
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202110391845.8
申请日：2021-04-13
申请人： 霖鼎光学(上海)有限公司
摘要： 本发明涉及一种氧化金属表面抑制金刚石刀具化学磨损的方法，在金刚石刀具进行超精密加工时，通过多能场辅助技术增加加工区域环境介质的氧化能力，在加工区域表面形成氧化膜；所述多能场辅助技术是指在所述金刚石刀具周边施加化学能或光能和化学能组合能量来增加加工区域表面的氧化膜的形成速率和厚度。本发明能够抑制金属催化金刚石刀具石墨化，减小其化学磨损。
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公开(公告)号：CN113601257A
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：CN202110779016.7
申请日：2021-07-09
申请人： 霖鼎光学(上海)有限公司
摘要： 本发明公开了一种基于变距式飞刀切削的微结构阵列加工装置及方法，属于超精密车削技术领域。加工装置包括基座、机床X轴、机床Y轴、机床Z轴、机床B轴、机床C轴、真空吸盘、变距式飞刀x轴以及工件夹具。在微结构加工过程中，选用高刚度高频处理的直线电机、音圈电机及压电定位平台对刀具的旋转半径进行精密控制，可以一定程度上优化刀具偏心旋转导致的离心力情况，使飞切加工在不依靠慢刀或者快刀伺服的情况下具有了加工一般微结构的能力，相比于普通的车削加工又有回转轴线可变的优点，因此也具有了加工微结构阵列的能。
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公开(公告)号：CN113085428A
公开(公告)日：2021-07-09
申请号：CN202110391856.6
申请日：2021-04-13
申请人： 霖鼎光学(上海)有限公司
摘要： 本发明涉及一种基于范德华力的压印脱模装置及脱模方法，装置包括真空腔箱体，所述真空腔箱体内设置有基平台，所述基平台用于放置待脱模的模板与薄膜，所述真空腔箱体内还包括升降平台和起模刀；所述升降平台在靠近所述基平台的一面设置有吸附单体，所述吸附单体能够与所述待脱模的薄膜产生范德华力；所述起模刀用于切入所述待脱模的模板与薄膜的粘合界面，且刀面与所述粘合界面始终保持共面。本发明能够实现对大尺寸晶圆的模板与薄膜之间的一次性保留完整微结构的脱模。
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公开(公告)号：CN118699319A
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202410778799.0
申请日：2024-06-17
申请人： 霖鼎光学(上海)有限公司
摘要： 本发明公开了一种高温压铸设备操作系统，涉及高温压铸设备技术领域，包括模式切换模块、压塑控制模块、温度控制模块、真空控制模块、氮气控制模块、伺服控制模块、参数设置模块、故障报警模块、用户管理模块和数据导出模块；所述模式切换模块包括手动操作单元和自动操作单元，所述手动操作单元通过点击手动模式按钮进行切换，点击手动模式按钮，设备进入手动模式，按住初始化按钮2S，设备开始初始化，流程状态会进入初始化过程。本发明能够方便进行手动和自动的切换，无需在压铸的全程都手动操作，最大限度解放了工人的双手，有助于提高产品的压铸效率。
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公开(公告)号：CN118033923B
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202410441200.4
申请日：2024-04-12
申请人： 霖鼎光学(上海)有限公司
摘要： 本发明涉及光学元件领域，特别是涉及人眼成像的光学元件、辅助焦度生成方法、介质及设备。包括在光学元件的前表面或后表面上设置有辅助光学调节区域。辅助光学调节区域中包括至少一个沿某一方向呈连续周期性变化的微调节曲面。一个变化周期内的微调节曲面的辅助焦度在正负之间连续变化。一个变化周期内的微调节曲面的平面投影长度小于或等于单位视窗直径。本发明的方案中一个周期内的微调节曲面包括可以同时对远中近光进行调节的结构，使得镜片的任一单位视窗内均有正、负辅助焦度的组合。根据“同时视觉”的概念，可以通过镜片的任意位置获得远中近距离全局清晰视野。同时微调节曲面遍布了整个镜片的可视范围，使得视野不受注视方向限制。
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公开(公告)号：CN113375590A
公开(公告)日：2021-09-10
申请号：CN202110573056.6
申请日：2021-05-25
申请人： 霖鼎光学(上海)有限公司
IPC分类号： G01B11/24
摘要： 本发明涉及一种基于立体偏折束的超精密加工原位测量装置和方法，装置包括立体偏折束系统和计算机，所述立体偏折束系统包括一个投影屏幕和两台相机，所述投影屏幕用于显示编码图案，所述编码图案经过固定于机床主轴上的待测加工件表面反射后被所述两台相机接收；所述计算机与所述两台相机相连，用于采集所述两台相机接收到的图像信息，并对所述图像信息进行处理得到所述立体偏折束系统的参数，并基于所述立体偏折束系统的参数计算所述待测加工表面的法向量，并通过计算所述法向量的积分获取所述待测加工表面的形貌。本发明避免了重复装夹误差对超精密加工的影响。
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