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公开(公告)号：CN102556939A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201110462085.1
申请日：2011-11-23
Applicant: 霍尼韦尔国际公司
CPC classification number: H01L29/84 , B81B7/0032 , B81B7/0038 , B81B7/0074 , B81B7/0077 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81B2201/025 , B81C2201/019 , H01L2224/48091 , H01L2924/00014
Abstract: 本发明涉及用于三层芯片级MEMS器件的系统和方法。提供了一种用于微机电系统(MEMS)器件的系统和方法。在一实施例中，系统包括第一外部层和包括第一组MEMS器件的第一器件层，其中第一器件层接合到第一外部层。系统还包括第二外部层和包括第二组MEMS器件的第二器件层，其中第二器件层接合到第二外部层。此外，系统包括具有第一侧和与第一侧相对的第二侧的中央层，其中第一侧接合到第一器件层且第二侧接合到第二器件层。
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公开(公告)号：CN102589540A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201110461891.7
申请日：2011-11-23
Applicant: 霍尼韦尔国际公司
IPC: G01C19/5719
CPC classification number: B81B3/0086 , B81B2201/025 , B81B2203/0136
Abstract: 本发明涉及使用多层能移动梳状物的MEMS传感器。一种MEMS传感器，包括：基板和至少一个具有第一多个梳状物的检验质量块，其中检验质量块经由一个或多个悬挂梁耦合到基板，使得检验质量块和第一多个梳状物是能移动的。MEMS传感器还包括至少一个固定的锚，其具有第二多个梳状物。第一多个梳状物和第二多个梳状物互相交错。第一多个梳状物和第二多个梳状物中的每一个梳状物包括彼此之间通过一个或多个非导电层来电隔离的多个导电层。每一个导电层单独耦合到各自的电势，以便掩蔽弥散电场以减小由于弥散电场所产生的第一多个梳状物沿感测轴的运动。
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公开(公告)号：CN102556939B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201110462085.1
申请日：2011-11-23
Applicant: 霍尼韦尔国际公司
CPC classification number: H01L29/84 , B81B7/0032 , B81B7/0038 , B81B7/0074 , B81B7/0077 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81B2201/025 , B81C2201/019 , H01L2224/48091 , H01L2924/00014
Abstract: 本发明涉及用于三层芯片级MEMS器件的系统和方法。提供了一种用于微机电系统(MEMS)器件的系统和方法。在一实施例中，系统包括第一外部层和包括第一组MEMS器件的第一器件层，其中第一器件层接合到第一外部层。系统还包括第二外部层和包括第二组MEMS器件的第二器件层，其中第二器件层接合到第二外部层。此外，系统包括具有第一侧和与第一侧相对的第二侧的中央层，其中第一侧接合到第一器件层且第二侧接合到第二器件层。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102564469B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201110456815.7
申请日：2011-11-23
Applicant: 霍尼韦尔国际公司
CPC classification number: B81B3/0086 , B81B2201/025 , B81B2203/0136 , Y10T29/49117
Abstract: 本发明涉及具有线性驱动/拾取的MEMS垂直梳状结构。一种MEMS传感器，包括基板和具有第一多个梳状物的至少一个检验质量块。该检验质量块经由一个或多个悬挂梁耦合到基板以使得检验质量块和第一多个梳状物能移动。该MEMS传感器还包括具有第二多个梳状物的至少一个锚。该锚耦合到基板以使锚和第二多个梳状物相对于基板被固定在适当位置。第一多个梳状物与第二多个梳状物交错。每个梳状物都包括通过一个或多个非导电层彼此电隔离的多个导电层。每个导电层都单独耦合到各自电势以使得梳状物之间的电容随着能移动梳状物在面外方向上的位移近似线性变化。
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公开(公告)号：CN114114330A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202110855639.8
申请日：2021-07-28
Applicant: 霍尼韦尔国际公司
Inventor： 詹姆斯·亚瑟·麦克唐纳 , R·苏皮诺 , J-P·戈尔斯基
IPC: G01S19/21
Abstract: 本发明题为“用于收集、处理和提供与干扰全球导航卫星系统有关的地理信息的系统和方法”。本发明描述了示出如何收集和存储关于从全球导航卫星系统(GNSS)的卫星所发射的信号的压制式干扰和/或欺骗式干扰的地理区域的数据的系统和方法。实体被配置为并且传送是否已检测到该压制式干扰和/或欺骗式干扰，以及对应的地理位置和对应的检测时间。处理系统被配置为接收关于检测到的压制式干扰和/或欺骗式干扰的数据，以及此类压制式干扰和/或欺骗式干扰的对应的地理位置和检测时间。实体可从该处理系统接收关于压制式干扰和/或欺骗式干扰的信息。所接收的信息可用于警示该实体动态地改变压制式干扰和/或欺骗式干扰。所接收的信息还可用于警示其他实体动态地改变压制式干扰和/或欺骗式干扰。
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公开(公告)号：CN102768038A
公开(公告)日：2012-11-07
申请号：CN201210181898.8
申请日：2012-04-26
Applicant: 霍尼韦尔国际公司
IPC: G01C19/5776
CPC classification number: G01C19/5776 , G01C25/005
Abstract: 本发明涉及调整MEMS陀螺仪以减小热变偏移。提供了一种用于校准微机电系统(MEMS)振动结构陀螺仪的方法。该方法包括获得至少一个检测质块相对于至少一个驱动电极的位置的指示，以及根据所述指示，向至少一个检测质块施加静电力，所述静电力被配置为将至少一个检测质块定位在相对于至少一个驱动电极的第一位置。
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公开(公告)号：CN102564469A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201110456815.7
申请日：2011-11-23
Applicant: 霍尼韦尔国际公司
CPC classification number: B81B3/0086 , B81B2201/025 , B81B2203/0136 , Y10T29/49117
Abstract: 本发明涉及具有线性驱动/拾取的MEMS垂直梳状结构。一种MEMS传感器，包括基板和具有第一多个梳状物的至少一个检验质量块。该检验质量块经由一个或多个悬挂梁耦合到基板以使得检验质量块和第一多个梳状物能移动。该MEMS传感器还包括具有第二多个梳状物的至少一个锚。该锚耦合到基板以使锚和第二多个梳状物相对于基板被固定在适当位置。第一多个梳状物与第二多个梳状物交错。每个梳状物都包括通过一个或多个非导电层彼此电隔离的多个导电层。每个导电层都单独耦合到各自电势以使得梳状物之间的电容随着能移动梳状物在面外方向上的位移近似线性变化。
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公开(公告)号：CN102530827A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110456837.3
申请日：2011-11-23
Applicant: 霍尼韦尔国际公司
IPC: B81B7/00
CPC classification number: B81B7/0016 , B81B2201/025 , B81B2207/07
Abstract: 本发明涉及振动隔离内插器管芯。在一个示例中，提供一种内插器芯片。该内插器芯片包括基部和芯片安装部。该内插器芯片还包括连接基部到芯片安装部的一个或多个弯曲件。此外，第一多个突起从基部朝向芯片安装部延伸，并且第二多个突起从芯片安装部朝向基部延伸并且延伸进入由第一多个突起形成的空隙。
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