聚有机硅氧烷固化物膜、其用途以及制造方法

    公开(公告)号:CN112673056A

    公开(公告)日:2021-04-16

    申请号:CN201980054220.3

    申请日:2019-07-16

    Abstract: 本发明的目的在于,提供一种聚有机硅氧烷固化物膜、其用途以及制造方法,所述聚有机硅氧烷固化物膜可薄膜化,膜的表面和内部的缺陷的个数极少,示出相对于荷电压高的介质击穿强度。本发明的聚有机硅氧烷固化物膜的平均厚度在1~200μm的范围内,所述聚有机硅氧烷固化物膜在膜的任意部位中以15mm×15mm为单位面积的范围内使用光学单元测定其表面缺陷的个数的情况下,表面缺陷的个数优选为0~1个的范围,内部缺陷的个数优选为0~20个的范围。这样的膜可以在净化间等中通过压制工序来得到,此外,也可以通过在具备适当的剥离层的隔离件之间的固化来得到。

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