公开(公告)号：CN102119117A

公开(公告)日：2011-07-06

申请号：CN200980125032.1

申请日：2009-06-30

Applicant: 阿尔卡特朗讯美国公司

Inventor： 克里斯蒂安·A·博列 ,  弗拉维奥·帕尔多

IPC: B81B7/04 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L21/30604 ,  B81B2201/047 ,  B81B2203/0118 ,  B81B2203/0307 ,  B81B2203/0361 ,  B81B2203/0384 ,  B81B2207/056 ,  B81C1/00015 ,  B81C1/00039 ,  B81C1/00531 ,  B81C1/00539 ,  H01L21/3065 ,  Y10T428/24479

Abstract: 如本文所述，提供一种包括微柱体的装置。所述装置包括具有平面表面的基底、位于所述平面表面上的多个微柱体，其中每一个微柱体具有在所述平面表面上的底座部分和位于对应底座部分的上表面上的柱体部分，并且其中所述底座部分的侧面与所述平面表面以斜角相交。