公开(公告)号：CN100414255C

公开(公告)日：2008-08-27

申请号：CN200510131444.X

申请日：2005-12-16

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 生内雄一 ,  长谷川和男 ,  藤田和彦 ,  德永一郎

IPC: G01D5/12 ,  G01B7/30 ,  G01R33/09

Abstract: 本发明提供一种即使在来自传感器的输出信号中包含误差信号的情况下，也能够得到高精度的角度输出的角度检测传感器的补偿值计算方法以及使用其的角度检测传感器。运算部(14)，根据从传感器模块(1)和信号变换部(12)输出的SIN信号和COS信号而计算出包含总误差信号(Δφ)的被测定物的校正前的旋转角度(φ)。控制部(11)从存储于存储器部(16)中的第一候补信号(S1)中，将以残差能量(E)为最小的信号作为相位补偿值(Sα)而抽出。另外，以同样的方法，抽出应变补偿值(Sβ)、增益补偿值(Sγ)。并通过从总误差信号(Δφ)中除去所述(Sα)、(Sβ)、(Sγ)，从而能够高精度地检测角度输出。

公开(公告)号：CN1246673C

公开(公告)日：2006-03-22

申请号：CN03120001.X

申请日：2003-03-07

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 长谷川和男 ,  石黑克之 ,  小野泰一 ,  桥本大一

IPC: G01D21/02 ,  G01C9/06 ,  G01P3/44 ,  H01L27/00

CPC classification number: G01C9/06 ,  G01C2009/062 ,  H01L2224/05568 ,  H01L2224/05573 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/73204 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明涉及检测装置，其目的在于可容易地进行小型化并提高检测精度。该检测装置包括：检测部(200)，设置于绝缘性基板(10)的一面侧；电路元件(300)，处理由设置于所述基板(10)的另一面侧(13R)的所述检测部(200)检测出的信号；以及布线部(H1)，连接沿厚度方向上贯通所述基板(10)设置的所述检测部(200)和所述电路元件(300)。

公开(公告)号：CN1444012A

公开(公告)日：2003-09-24

申请号：CN03119896.1

申请日：2003-03-07

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 石黑克之 ,  小野泰一 ,  长谷川和男 ,  桥本大一

IPC: G01C9/06

CPC classification number: G01C9/06 ,  G01C2009/062

Abstract: 本发明涉及适用于2轴周围电容检测的静电电容式传感器，其目的在于获得大的电容变化。其结构具有：支承部(3a)，中间部(3b)，它由支承部(3a)进行支承，能在第1轴系中摆动；活动部(3d)，它由中间部(3d)进行支承，能在与上述第1轴相垂直的第2轴系中进行摆动；平衡锤(4)，它设置在上述活动部(3d)上；活动电极，它形成在上述活动部(3d)上；以及基板(1)，其上形成了与上述活动电极相对置的固定电极(1a)，上述活动电极和上述固定电极(1a)中的至少一种设置了多个，用于检测上述活动电极和上述固定电极(1a)之间的静电电容。

公开(公告)号：CN1789920A

公开(公告)日：2006-06-21

申请号：CN200510131444.X

申请日：2005-12-16

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 生内雄一 ,  长谷川和男 ,  藤田和彦 ,  德永一郎

IPC: G01D5/12 ,  G01B7/30 ,  G01R33/09

Abstract: 本发明提供一种即使在来自传感器的输出信号中包含误差信号的情况下，也能够得到高精度的角度输出的角度检测传感器的补偿值计算方法以及使用其的角度检测传感器。运算部(14)，根据从传感器模块(1)和信号变换部(12)输出的SIN信号和COS信号而计算出包含总误差信号(Δφ)的被测定物的校正前的旋转角度(φ)。控制部(11)从存储于存储器部(16)中的第一候补信号(S1)中，将以残差能量(E)为最小的信号作为相位补偿值(Sα)而抽出。另外，以同样的方法，抽出应变补偿值(Sβ)、增益补偿值(Sγ)。并通过从总误差信号(Δφ)中除去所述(Sα)、(Sβ)、(Sγ)，从而能够高精度地检测角度输出。

公开(公告)号：CN1444017A

公开(公告)日：2003-09-24

申请号：CN03120266.7

申请日：2003-03-07

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 石黑克之 ,  小野泰一 ,  长谷川和男 ,  桥本大一

IPC: G01D21/02 ,  G01D5/24

CPC classification number: G01C9/06 ,  G01C2009/062

Abstract: 本发明涉及静电电容式传感器，使其具有安装自由度等，同时不必校正由平衡锤引起的活动部向垂直方向的位移，即可根据静电电容的变化而检测出传感器的倾斜和加速度等。该传感器具有：固定基板(1)，它形成固定电极(1a)；活动部(3d)，它具有活动电极，该活动电极与上述固定电极(1a)之间保持一定间隙布置成面对面的状态，能相对于上述固定基板(1)进行摆动；平衡锤(4)，它设置在上述活动部(3d)上；以及支承体(1b)，它被布置在上述固定基板(1)和上述平衡锤(4)之间，用于支承上述活动部(3d)，并使其摆动自如，上述固定电极和活动电极(1a)中至少一种设置了许多个。

公开(公告)号：CN1271389C

公开(公告)日：2006-08-23

申请号：CN03120266.7

申请日：2003-03-07

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 石黑克之 ,  小野泰一 ,  长谷川和男 ,  桥本大一

IPC: G01D5/24

CPC classification number: G01C9/06 ,  G01C2009/062

Abstract: 本发明涉及静电电容式传感器，使其具有安装自由度等，同时不必校正由平衡锤引起的活动部向垂直方向的位移，即可根据静电电容的变化而检测出传感器的倾斜和加速度等。该传感器具有：固定基板(1)，它形成固定电极(1a)；活动部(3d)，它具有活动电极，该活动电极与上述固定电极(1a)之间保持一定间隙布置成面对面的状态，能相对于上述固定基板(1)进行摆动；平衡锤(4)，它设置在上述活动部(3d)上；以及支承体(1b)，它被布置在上述固定基板(1)和上述平衡锤(4)之间，用于支承上述活动部(3d)，并使其摆动自如，上述固定电极和活动电极(1a)中至少一种设置了许多个。

公开(公告)号：CN1444016A

公开(公告)日：2003-09-24

申请号：CN03120001.X

申请日：2003-03-07

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 长谷川和男 ,  石黑克之 ,  小野泰一 ,  桥本大一

IPC: G01D21/02 ,  G01C9/06 ,  H01L29/96

CPC classification number: G01C9/06 ,  G01C2009/062 ,  H01L2224/05568 ,  H01L2224/05573 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/73204 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明涉及检测装置，其目的在于可容易地进行小型化并提高检测精度。该检测装置包括：检测部(200)，设置于绝缘性基板(10)的一面侧；电路元件(300)，处理由设置于所述基板(10)的另一面侧(13R)的所述检测部 (200) 检测出的信号；以及布线部(H1)，连接沿厚度方向上贯通所述基板(10)设置的所述检测部(200)和所述电路元件(300)。