公开(公告)号：CN1444017A

公开(公告)日：2003-09-24

申请号：CN03120266.7

申请日：2003-03-07

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 石黑克之 ,  小野泰一 ,  长谷川和男 ,  桥本大一

IPC: G01D21/02 ,  G01D5/24

CPC classification number: G01C9/06 ,  G01C2009/062

Abstract: 本发明涉及静电电容式传感器，使其具有安装自由度等，同时不必校正由平衡锤引起的活动部向垂直方向的位移，即可根据静电电容的变化而检测出传感器的倾斜和加速度等。该传感器具有：固定基板(1)，它形成固定电极(1a)；活动部(3d)，它具有活动电极，该活动电极与上述固定电极(1a)之间保持一定间隙布置成面对面的状态，能相对于上述固定基板(1)进行摆动；平衡锤(4)，它设置在上述活动部(3d)上；以及支承体(1b)，它被布置在上述固定基板(1)和上述平衡锤(4)之间，用于支承上述活动部(3d)，并使其摆动自如，上述固定电极和活动电极(1a)中至少一种设置了许多个。

公开(公告)号：CN1246673C

公开(公告)日：2006-03-22

申请号：CN03120001.X

申请日：2003-03-07

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 长谷川和男 ,  石黑克之 ,  小野泰一 ,  桥本大一

IPC: G01D21/02 ,  G01C9/06 ,  G01P3/44 ,  H01L27/00

CPC classification number: G01C9/06 ,  G01C2009/062 ,  H01L2224/05568 ,  H01L2224/05573 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/73204 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明涉及检测装置，其目的在于可容易地进行小型化并提高检测精度。该检测装置包括：检测部(200)，设置于绝缘性基板(10)的一面侧；电路元件(300)，处理由设置于所述基板(10)的另一面侧(13R)的所述检测部(200)检测出的信号；以及布线部(H1)，连接沿厚度方向上贯通所述基板(10)设置的所述检测部(200)和所述电路元件(300)。

公开(公告)号：CN1444012A

公开(公告)日：2003-09-24

申请号：CN03119896.1

申请日：2003-03-07

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 石黑克之 ,  小野泰一 ,  长谷川和男 ,  桥本大一

IPC: G01C9/06

CPC classification number: G01C9/06 ,  G01C2009/062

Abstract: 本发明涉及适用于2轴周围电容检测的静电电容式传感器，其目的在于获得大的电容变化。其结构具有：支承部(3a)，中间部(3b)，它由支承部(3a)进行支承，能在第1轴系中摆动；活动部(3d)，它由中间部(3d)进行支承，能在与上述第1轴相垂直的第2轴系中进行摆动；平衡锤(4)，它设置在上述活动部(3d)上；活动电极，它形成在上述活动部(3d)上；以及基板(1)，其上形成了与上述活动电极相对置的固定电极(1a)，上述活动电极和上述固定电极(1a)中的至少一种设置了多个，用于检测上述活动电极和上述固定电极(1a)之间的静电电容。

公开(公告)号：CN1271389C

公开(公告)日：2006-08-23

申请号：CN03120266.7

申请日：2003-03-07

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 石黑克之 ,  小野泰一 ,  长谷川和男 ,  桥本大一

IPC: G01D5/24

CPC classification number: G01C9/06 ,  G01C2009/062

Abstract: 本发明涉及静电电容式传感器，使其具有安装自由度等，同时不必校正由平衡锤引起的活动部向垂直方向的位移，即可根据静电电容的变化而检测出传感器的倾斜和加速度等。该传感器具有：固定基板(1)，它形成固定电极(1a)；活动部(3d)，它具有活动电极，该活动电极与上述固定电极(1a)之间保持一定间隙布置成面对面的状态，能相对于上述固定基板(1)进行摆动；平衡锤(4)，它设置在上述活动部(3d)上；以及支承体(1b)，它被布置在上述固定基板(1)和上述平衡锤(4)之间，用于支承上述活动部(3d)，并使其摆动自如，上述固定电极和活动电极(1a)中至少一种设置了许多个。

公开(公告)号：CN1444016A

公开(公告)日：2003-09-24

申请号：CN03120001.X

申请日：2003-03-07

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 长谷川和男 ,  石黑克之 ,  小野泰一 ,  桥本大一

IPC: G01D21/02 ,  G01C9/06 ,  H01L29/96

CPC classification number: G01C9/06 ,  G01C2009/062 ,  H01L2224/05568 ,  H01L2224/05573 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/73204 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明涉及检测装置，其目的在于可容易地进行小型化并提高检测精度。该检测装置包括：检测部(200)，设置于绝缘性基板(10)的一面侧；电路元件(300)，处理由设置于所述基板(10)的另一面侧(13R)的所述检测部 (200) 检测出的信号；以及布线部(H1)，连接沿厚度方向上贯通所述基板(10)设置的所述检测部(200)和所述电路元件(300)。