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公开(公告)号：CN118659758A
公开(公告)日：2024-09-17
申请号：CN202410838900.7
申请日：2024-06-26
申请人： 锐石创芯(重庆)科技有限公司
摘要： 一种声表面波器件、射频前端模组及声表面波器件的制造方法，其中，声表面波器件包括压电层和设置在压电层上的至少一个叉指换能器，叉指换能器包括第一金属层和第二金属层，第一金属层和第二金属层层叠设置，且第一金属层位于压电层和第二金属层之间。第一金属层和第二金属层均包括第一金属元素，第一金属元素均为第一金属层和第二金属层的主要成分，第一金属层的密度大于第二金属层的密度。提出的声表面波器件，通过在第二金属层和压电层之间增设第一金属层，且第一金属层的密度大于第二金属层的密度，密度较高的第一金属层，能够有效抑制密度较低的第二金属层的声学迁移现象，从而可以提高声表面波器件的功率耐受性。
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公开(公告)号：CN118631202A
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202410838503.X
申请日：2024-06-26
申请人： 锐石创芯(重庆)科技有限公司
摘要： 本申请提出一种声表面波器件的制造方法及相关器件，该方法包括：在衬底上形成光刻胶图形；在所述光刻胶图形的镂空区域和所述光刻胶图形上沉积金属膜层；在金属膜层上沉积保护层薄膜；将所述光刻胶图形以及所述光刻胶图形上的膜层剥离。本申请实施例中通过在金属膜层沉积后不剥离所述光刻胶图形的情况下，在所述光刻胶图形的镂空区域的金属膜层上沉积保护层薄膜，可以更好的减轻叉指换能器金属膜层的腐蚀、氧化或扩散情况，提升声表面波滤波器的性能。
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公开(公告)号：CN118631201A
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202410802689.3
申请日：2024-06-20
申请人： 锐石创芯(重庆)科技有限公司
摘要： 本申请实施例提供了一种声表面波滤波器及其制作方法、射频前端模组；方法包括：在压电衬底的表面形成第一电极图案和第二电极图案，第一电极图案包括第一叉指换能器，第二电极图案包括第二叉指换能器；形成保护金属层，保护金属层至少覆盖第二叉指换能器的至少部分表面上；在第一电极图案所在的区域形成第二抗蚀剂，且第二抗蚀剂覆盖第一叉指换能器的远离压电衬底一侧的表面；对第二电极图案进行刻蚀后第二叉指换能器的厚度小于第一叉指换能器；去除压电衬底上的抗蚀剂。使得第一叉指换能器对应的第一滤波器与第二叉指换能器对应的第二滤波器的工作频段不同，得到多路复用SAW滤波器；可以防止叉指换能器上的金属指条脱落，提高声表面波滤波器的良率。
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公开(公告)号：CN118508918A
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202410731668.7
申请日：2024-06-06
申请人： 锐石创芯(重庆)科技有限公司
摘要： 本申请公开了一种谐振器、谐振器的制备方法、滤波器及射频前端模组，涉及射频滤波技术领域。该谐振器包括压电基底、叉指换能器、第一温度补偿层、第一介质层和第二介质层；叉指换能器的每个梳状电极包括汇流条和间隔设置的多个电极指；在电极指的延伸方向上，两个汇流条之间具有交叠区域和位于交叠区域两端的第二间隙区域，位于交叠区域内的相邻两个电极指之间具有第一间隙区域；第一温度补偿层覆盖于叉指换能器；第一介质层设置在第一温度补偿层的表面且位于第一间隙区域；第二介质层设置在第一温度补偿层的表面，且位于至少一个第二间隙区域。本申请旨在解决相关技术中的谐振器无法同时兼顾温度补偿的效果以及高机电耦合系数的问题。
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公开(公告)号：CN118449477A
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN202410539183.8
申请日：2024-04-30
申请人： 锐石创芯(重庆)科技有限公司
摘要： 本申请公开了声表面波滤波器及其制备方法，其中制备方法包括在压电衬底上沉积第一预设厚度的第一温度补偿层，在第一温度补偿层上形成光致抗蚀剂图案，对第一温度补偿层的第二区域进行刻蚀，以暴露压电衬底的第二区域；制备第二预设厚度的金属电极层，金属电极层包括覆盖光致抗蚀剂图案上的第一金属图案和覆盖压电衬底的第二区域的第二金属图案，第一预设厚度与第二预设厚度的差值小于或等于第二预设厚度的3％；剥离光致抗蚀剂图案以及形成于光致抗蚀剂图案上的第一金属图案，保留第二金属图案，并制备第二温度补偿层。本申请减少了TC‑saw制备过程中对CMP设备的依赖性，提高了声表面波滤波器的制作良品率，节约了制备成本。
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公开(公告)号：CN220122879U
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202321751538.7
申请日：2023-07-05
申请人： 锐石创芯(重庆)科技有限公司
摘要： 本实用新型涉及一种声表面波器件、滤波器及射频前端模组，包括叉指换能器以及设置在所述叉指换能器两端的反射栅；所述反射栅包括连接指以及多个指条；沿着所述反射栅和所述叉指换能器的排布方向，多个指条依次间隔排布；相邻两个所述指条通过一个所述连接指电连接；相邻两个所述指条以及连接所述相邻两个所述指条的连接指所构成的结构在所述指条的长度方向上具有至少一个开口。在剥离工艺中，去胶液能够从该开口处进入相邻两个指条之间(即进入反射栅的内部)，使去胶液能迅速有效地溶解相邻两个指条之间的光刻胶，进而可以使光刻胶被完全剥离。这样也可以同时剥离掉不需要的图形，最终得到需要的反射栅。
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