公开(公告)号：CN104756276A

公开(公告)日：2015-07-01

申请号：CN201380042123.5

申请日：2013-03-26

申请人： 铣益系统有限责任公司

发明人： 崔昌植 ,  任暎 ,  李塋钟 ,  金省护 ,  金宣焃 ,  李程均 ,  黄仁镐

IPC分类号： H01L51/56 ,  H05B33/10

CPC分类号： C23C14/12 ,  C23C14/24 ,  C23C14/50 ,  C23C14/56 ,  H01L51/0002 ,  H01L51/001 ,  H01L51/0011 ,  H01L51/56

摘要： 本发明公开了有机物沉积装置及利用该装置的有机物沉积方法。本实施例的有机物沉积装置包括：主腔室，划分成第一沉积区域和第二沉积区域，第一基板从一个中心点沿着第一径向向上述第一沉积区域引入或从上述第一沉积区域引出，第二基板从上述中心点沿着第二径向向上述第二沉积区域引入或从上述第二沉积区域引出；第一基板装载部，用于向上述第一径向装载并安置上述第一基板；第二基板装载部，用于向上述第二径向装载并安置上述第二基板；扫描仪，包括：线形的有机物沉积源，用于喷射有机物粒子；源移动单元，与上述有机物沉积源相结合，并使上述有机物沉积源沿着上述第一基板或上述第二基板的表面进行直线移动，以便向上述第一基板或上述第二基板的表面喷射上述有机物粒子；旋转单元，使上述源移动单元进行旋转，以使上述线形的有机物沉积源与上述第一基板或上述第二基板的一边保持平行；以及扫描仪移动单元，使上述扫描仪进行往返移动，以使上述扫描仪位于上述第一沉积区域或上述第二沉积区域。

公开(公告)号：CN106381466B

公开(公告)日：2019-04-05

申请号：CN201610808449.X

申请日：2013-03-26

申请人： 铣益系统有限责任公司

发明人： 崔昌植 ,  任暎 ,  李塋钟 ,  金省护 ,  金宣焃 ,  李程均 ,  黄仁镐

IPC分类号： C23C14/12 ,  C23C14/24 ,  C23C14/56 ,  H01L51/56

摘要： 公开了有机物沉积装置及有机物沉积方法，该装置包括：主腔室，划分成第一及第二沉积区域，第一基板从中心点沿着第一径向向第一沉积区域引入或从第一沉积区域引出，第二基板从中心点沿着第二径向向第二沉积区域引入或从第二沉积区域引出；第一及第二基板装载部，分别装载第一及第二基板，并分别使第一及第二基板旋转，使得第一及第二基板的一边与虚拟移动线段保持平行，虚拟移动线段为连接由第一径向形成的虚拟的第一径向线段及由第二径向形成的虚拟的第二径向线段各自的任意两点的线段；有机物沉积源，配置于主腔室内部，沿着移动线段移动，以位于第一或第二沉积区域，沿着垂直于移动线段的方向移动，以向第一或第二基板的表面喷射有机物粒子。

公开(公告)号：CN104756276B

公开(公告)日：2017-03-29

申请号：CN201380042123.5

申请日：2013-03-26

申请人： 铣益系统有限责任公司

发明人： 崔昌植 ,  任暎 ,  李塋钟 ,  金省护 ,  金宣焃 ,  李程均 ,  黄仁镐

IPC分类号： H01L51/56 ,  H05B33/10

CPC分类号： C23C14/12 ,  C23C14/24 ,  C23C14/50 ,  C23C14/56 ,  H01L51/0002 ,  H01L51/001 ,  H01L51/0011 ,  H01L51/56

摘要： 本发明公开了有机物沉积装置及利用该装置的有机物沉积方法。本实施例的有机物沉积装置包括：主腔室，划分成第一沉积区域和第二沉积区域，第一基板从一个中心点沿着第一径向向上述第一沉积区域引入或从上述第一沉积区域引出，第二基板从上述中心点沿着第二径向向上述第二沉积区域引入或从上述第二沉积区域引出；第一基板装载部，用于向上述第一径向装载并安置上述第一基板；第二基板装载部，用于向上述第二径向装载并安置上述第二基板；扫描仪，包括：线形的有机物沉积源，用于喷射有机物粒子；源移动单元，与上述有机物沉积源相结合，并使上述有机物沉积源沿着上述第一基板或上述第二基板的表面进行直线移动，以便向上述第一基板或上述第二基板的表面喷射上述有机物粒子；旋转单元，使上述源移动单元进行旋转，以使上述线形的有机物沉积源与上述第一基板或上述第二基板的一边保持平行；以及扫描仪移动单元，使上述扫描仪进行往返移动，以使上述扫描仪位于上述第一沉积区域或上述第二沉积区域。

公开(公告)号：CN106381466A

公开(公告)日：2017-02-08

申请号：CN201610808449.X

申请日：2013-03-26

申请人： 铣益系统有限责任公司

发明人： 崔昌植 ,  任暎 ,  李塋钟 ,  金省护 ,  金宣焃 ,  李程均 ,  黄仁镐

IPC分类号： C23C14/12 ,  C23C14/24 ,  C23C14/56 ,  H01L51/56

CPC分类号： C23C14/12 ,  C23C14/24 ,  C23C14/50 ,  C23C14/56 ,  H01L51/0002 ,  H01L51/001 ,  H01L51/0011 ,  H01L51/56

摘要： 公开了有机物沉积装置及有机物沉积方法，该装置包括：主腔室，划分成第一及第二沉积区域，第一基板从中心点沿着第一径向向第一沉积区域引入或从第一沉积区域引出，第二基板从中心点沿着第二径向向第二沉积区域引入或从第二沉积区域引出；第一及第二基板装载部，分别装载第一及第二基板，并分别使第一及第二基板旋转，使得第一及第二基板的一边与虚拟移动线段保持平行，虚拟移动线段为连接由第一径向形成的虚拟的第一径向线段及由第二径向形成的虚拟的第二径向线段各自的任意两点的线段；有机物沉积源，配置于主腔室内部，沿着移动线段移动，以位于第一或第二沉积区域，沿着垂直于移动线段的方向移动，以向第一或第二基板的表面喷射有机物粒子。