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公开(公告)号：CN108896537A
公开(公告)日：2018-11-27
申请号：CN201810666086.X
申请日：2018-06-26
Applicant: 钢研纳克检测技术股份有限公司
IPC: G01N21/73
Abstract: 本发明属于光谱仪分光系统领域，涉及一种应用于ICP光谱仪的中阶梯光栅光谱仪分光光路结构，该分光光路结构按光束的传播轨迹顺序包括：入射狭缝、用于准直入射光的准直反射镜、棱镜、用于实现高阶色散的中阶梯光栅、用于聚焦各波长平行光束的成像反射镜和用于接收光谱图像信号的面阵探测器；棱镜用于实现光束的交叉色散如下：光束从棱镜的同一侧入射和出射实现双次色散。本发明中阶梯光栅多个衍射级次的交叉色散通过同一棱镜双次色散实现，较之棱镜单次色散或棱镜反射，相同通光口径下光路在宽度上得以压缩；同时，在达到相同色散效果时，棱镜的厚度和楔角大大减小，可减少材料对光的吸收，提高系统的测试灵敏度；测试的短波下限可达165nm。
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