公开(公告)号：CN117928436A

公开(公告)日：2024-04-26

申请号：CN202311712831.7

申请日：2023-12-13

申请人： 道格特半导体科技(武汉)有限公司

发明人： 刘志广 ,  康胜 ,  严龙 ,  刘久源

IPC分类号： G01B11/30 ,  G06F9/445

摘要： 本发明公开了一种针尖平坦度的测量方法及系统，首先，使用高倍率镜头，通过智能搜索找到探针的针尖，在通过影像聚焦测量出针尖的高度；然后，将测量步骤编写宏程序，再将每一个探针的针尖位置导入程序列，自动得到每一个被测针尖的高度；最后，经测量结果导入表格，将最高点数值减去最低点数值，即可得到探针卡的针尖平坦度。上述测量过程中，无需人工干预，视觉仪器采集探针卡的视频图像后与2D数字图表相对应，按照2D数字图表中的探针位置查找探针针尖，并通过自动聚焦针尖得到每一个针尖的高度值，无需与探针的针尖接触，不会对探针造成损耗。

公开(公告)号：CN117327543A

公开(公告)日：2024-01-02

申请号：CN202311039940.7

申请日：2023-08-17

申请人： 道格特半导体科技(武汉)有限公司

发明人： 刘志广 ,  康胜 ,  张海东 ,  刘久源

IPC分类号： C11D7/24 ,  C11D7/26 ,  C11D7/50 ,  C11D7/60 ,  C11D11/00 ,  B08B3/08

摘要： 本发明公开了一种探针卡清洗溶液，包括以下成分的重量百分比：戊烷20～30%、庚醇25～35%、正丙醇35～40%、甲基乙基甲酮1～3%、乙醇6～15%。本发明的探针卡清洗溶液中合理配置了各有效组分以及溶剂的用量，能够针对MEMS探针卡上附着的极为细小的污垢、尘埃、氧化物、金属残留等物质进行有效的清洁，确保MEMS探针卡的性能和质量不受MEMS探针卡上极为细小的污垢、尘埃、氧化物、金属残留等物质附着问题影响，并且所述专用清洗液对人体及MEMS探针卡危害性较小，使用安全，并且能够进行二次回收利用，降低使用成本。

公开(公告)号：CN220901247U

公开(公告)日：2024-05-07

申请号：CN202322220181.6

申请日：2023-08-17

申请人： 道格特半导体科技(武汉)有限公司

发明人： 刘志华 ,  康胜 ,  刘久源

IPC分类号： B08B3/12 ,  B08B3/10 ,  B08B3/14 ,  B08B13/00

摘要： 本实用新型涉及一种探针卡清洗装置，其包括装置外壳、清洗缸、篮筐组件、超声波组件和加热器组件，所述清洗缸固定安装于所述装置外壳内，所述篮筐组件包括篮筐和支架，所述篮筐组件放置于所述清洗缸内中央，所述篮筐组件四周与所述装置外壳相互之间有间隙，所述超声波组件和所述加热器组件分布安装于所述清洗缸与所述装置外壳相互之间的空间内。所述探针卡清洗装置解决了以往相关设备没有加热装置和没有放置需清洗探针卡的篮筐，造成清洗效果不理想且操作不方便的问题，从而体现了该探针卡清洗装置在性能上的优越性。