公开(公告)号：CN101085708B

公开(公告)日：2012-11-14

申请号：CN200610064742.6

申请日：2006-11-30

Applicant: 通用电气公司

Inventor： D·A·隆沃思 ,  T·J·赫尔 ,  陆中浩 ,  刘翔

IPC: H01L21/02 ,  C04B41/50 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  H05B3/14

CPC classification number: H01L21/68714 ,  C04B41/009 ,  C04B41/52 ,  C04B41/89 ,  H05B3/145 ,  H05B3/265 ,  C04B41/4531 ,  C04B41/5001 ,  C04B41/5063 ,  C04B41/5064 ,  C04B41/522 ,  C04B35/522

Abstract: 耐久石墨连接器及其制造方法。一种制品，其包括涂覆有热解石墨(pG)的石墨部件，其相比没有涂覆的石墨部件的机械强度提高至少25％。在用于半导体加工组合件例如加热器的连接器应用中，该pG涂覆的部件被至少罩面涂覆电绝缘材料的保护层，且其中一部分该pG涂覆的石墨部件被暴露(没有涂覆保护层)，以提供到该组合件的电连接。

公开(公告)号：CN101101855A

公开(公告)日：2008-01-09

申请号：CN200610064731.8

申请日：2006-12-08

Applicant: 通用电气公司

Inventor： 陆中浩

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/324 ,  H01L21/67 ,  H01L21/68 ,  C23C16/46 ,  C23C14/26 ,  H05B3/06 ,  H05B3/20

Abstract: 本发明公开了一种晶片处理装置，其对于其电阻加热元件具有优化的电极图案。设计该优化的电极图案通过在那些区域周围产生更多的热以补偿在触点区域、电连接处以及通孔等周围的热损耗，从而提供了最大温度均匀度。在本发明的另一个优化设计的实施方案中，尤其是在需要更高的运行温度或更高的电功率时，为具有更高的效率，加热元件的电阻与电源的阻抗紧密匹配。

公开(公告)号：CN101085708A

公开(公告)日：2007-12-12

申请号：CN200610064742.6

申请日：2006-11-30

Applicant: 通用电气公司

Inventor： D·A·隆沃思 ,  T·J·赫尔 ,  陆中浩 ,  刘翔

IPC: C04B41/50 ,  H01L21/00 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  H05B3/14

CPC classification number: H01L21/68714 ,  C04B41/009 ,  C04B41/52 ,  C04B41/89 ,  H05B3/145 ,  H05B3/265 ,  C04B41/4531 ,  C04B41/5001 ,  C04B41/5063 ,  C04B41/5064 ,  C04B41/522 ,  C04B35/522

Abstract: 一种制品，其包括涂覆有热解石墨(pG)的石墨部件，其相比没有涂覆的石墨部件的机械强度提高至少25％。在用于半导体加工组合件例如加热器的连接器应用中，该pG涂覆的部件被至少罩面涂覆电绝缘材料的保护层，且其中一部分该pG涂覆的石墨部件被暴露(没有涂覆保护层)，以提供到该组合件的电连接。