公开(公告)号：CN102575335A

公开(公告)日：2012-07-11

申请号：CN201080047080.6

申请日：2010-09-03

Applicant: 通用显示公司

Inventor： P·E·布罗斯 ,  J·西尔维奈尔 ,  J·J·布朗

IPC: C23C14/12 ,  C23C14/56

CPC classification number: C23C14/12 ,  C23C14/228 ,  C23C14/56 ,  C23C14/564 ,  Y10T137/85954 ,  Y10T137/87249 ,  Y10T137/877

Abstract: 本申请提供了高生产量OVJP系统和方法，它们可以使用具有不同传导性的多个流动通路，以便能够在滞后时间相对较短的情况下沉积。高生产量的OVJP系统可以包括流动管，该流动管的截面面积比一个或多个孔(源材料可以在沉积过程中通过该孔排出)的直径大得多。使用这样的结构可以在滞后时间减小的情况下沉积。

公开(公告)号：CN102575335B

公开(公告)日：2016-01-27

申请号：CN201080047080.6

申请日：2010-09-03

Applicant: 通用显示公司

Inventor： P·E·布罗斯 ,  J·西尔维奈尔 ,  J·J·布朗

IPC: C23C14/12 ,  C23C14/56

CPC classification number: C23C14/12 ,  C23C14/228 ,  C23C14/56 ,  C23C14/564 ,  Y10T137/85954 ,  Y10T137/87249 ,  Y10T137/877

Abstract: 本申请提供了高生产量OVJP系统和方法，它们可以使用具有不同传导性的多个流动通路，以便能够在滞后时间相对较短的情况下沉积。高生产量的OVJP系统可以包括流动管，该流动管的截面面积比一个或多个孔(源材料可以在沉积过程中通过该孔排出)的直径大得多。使用这样的结构可以在滞后时间减小的情况下沉积。