公开(公告)号：CN118129596A

公开(公告)日：2024-06-04

申请号：CN202410282023.X

申请日：2024-03-12

申请人： 通富微电子股份有限公司

发明人： 李伟 ,  季莉莉 ,  朱文龙 ,  严能

IPC分类号： G01B7/16

摘要： 本公开实施例提供一种晶圆划片刀形变检测方法及检测系统，划片刀具有划片刀主轴，所述方法包括：获取划片刀主轴的实际电流值；将实际电流值与预设电流阈值进行对比，判定划片刀的形变状态；其中，预设电流阈值至少包括预设电流上限阈值和预设空载电流阈值。通过将划片刀主轴的实际电流值与预设电流阈值进行对比，可以在刀片受损刀刃没有击穿不透光的特殊异常状态下，仍可以检测到刀片变形状况，避免了因刀片变形而继续作业导致产品报废的风险，提高了产品良率，弥补传统光学检测无法检测刀片形变的问题。

公开(公告)号：CN217955831U

公开(公告)日：2022-12-02

申请号：CN202221791342.6

申请日：2022-07-12

申请人： 通富微电子股份有限公司

发明人： 季莉莉 ,  李伟

IPC分类号： H01L21/683

摘要： 本实用新型公开了一种多通道多区域吸附装置，包括气压源、吸附盘、两个以上第一气压转换件和两个以上第一气路切换件，吸附盘包括两个以上第一吸附区域，各第一吸附区域一一对应连接有第一气压转换件，第一气压转换件具有第一进气口、第一吸气口以及第一气体排放口，第一吸气口与第一吸附区域连通，两个以上第一气路切换件与各第一气压转换件一一对应，包括第一气路入口、第一气路出口以及第二气路出口，第一气路入口与气压源连通，第一气路出口与第一进气口连通，第二气路出口与第一吸附区域一一对应连通，第一气路出口和第二气路出口与第一气路入口互异性连通。该吸附装置能够对两个以上待吸附物进行吸附和释放。

公开(公告)号：CN218802701U

公开(公告)日：2023-04-07

申请号：CN202222971065.3

申请日：2022-11-07

申请人： 通富微电子股份有限公司

发明人： 李伟 ,  季莉莉

IPC分类号： B26D7/26 ,  B26D7/01

摘要： 本申请公开了一种划片底盘真空保护装置、划片设备，包括并联的第一真空管路和第二真空管路，第一真空管路与第二真空管路通过第一三通阀连接至划片底盘，第一真空管路上设有第一电磁阀，第二真空管路上设有并联的第二电磁阀和第三电磁阀。根据本申请实施例提供的技术方案，通过设置常规的第一真空管路，该真空管路将空气抽真空提供至划片底盘，另外当设备断电或者供气出现故障或者异常时，通过第二真空管路对异常情况进行检测和补充避免了恢复动力后继续划片作业，因行与行之间错位导致划偏的风险，大大提高了产品质量及良率，避免了圆盘因真空动力故障而报废的情况。