实用新型
- 专利标题: 多通道多区域吸附装置
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申请号: CN202221791342.6申请日: 2022-07-12
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公开(公告)号: CN217955831U公开(公告)日: 2022-12-02
- 发明人: 季莉莉 , 李伟
- 申请人: 通富微电子股份有限公司
- 申请人地址: 江苏省南通市崇川路288号
- 专利权人: 通富微电子股份有限公司
- 当前专利权人: 通富微电子股份有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省南通市崇川路288号
- 代理机构: 北京志霖恒远知识产权代理有限公司
- 代理商 郭栋梁
- 主分类号: H01L21/683
- IPC分类号: H01L21/683
摘要:
本实用新型公开了一种多通道多区域吸附装置,包括气压源、吸附盘、两个以上第一气压转换件和两个以上第一气路切换件,吸附盘包括两个以上第一吸附区域,各第一吸附区域一一对应连接有第一气压转换件,第一气压转换件具有第一进气口、第一吸气口以及第一气体排放口,第一吸气口与第一吸附区域连通,两个以上第一气路切换件与各第一气压转换件一一对应,包括第一气路入口、第一气路出口以及第二气路出口,第一气路入口与气压源连通,第一气路出口与第一进气口连通,第二气路出口与第一吸附区域一一对应连通,第一气路出口和第二气路出口与第一气路入口互异性连通。该吸附装置能够对两个以上待吸附物进行吸附和释放。
IPC分类: