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公开(公告)号:CN106132868A
公开(公告)日:2016-11-16
申请号:CN201480065272.8
申请日:2014-11-21
Applicant: 追踪有限公司
CPC classification number: B81B7/0058 , B81B7/0038 , B81C1/00333 , B81C2203/0172
Abstract: 本发明提供用于围封微机电系统MEMS结构(620)阵列的层压膜的系统、方法和设备。在一个方面中,一种MEMS装置包括:衬底(610),其具有装置区(610a)和环绕所述装置区的边缘区(610b);以及MEMS结构阵列,其在所述衬底上所述装置区处。保护层安置于MEMS结构的所述阵列上方。层压膜(600)安置于所述保护层上方且与所述衬底接触以在所述边缘区处形成密封,其中所述层压膜在所述装置区处形成所述衬底与所述层压膜之间的空腔。所述层压膜包括背对MEMS结构的所述阵列的湿气阻挡层(650),和面向MEMS结构的所述阵列的干燥剂层(640)。
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公开(公告)号:CN106662681A
公开(公告)日:2017-05-10
申请号:CN201580028188.3
申请日:2015-05-08
Applicant: 追踪有限公司
CPC classification number: G02B26/001 , G02B5/003 , G02B5/208 , H01L27/1214 , H01L27/1248 , H01L27/1259 , H01L29/78633
Abstract: 本发明揭示一种显示器组合件,其包含安置于第一衬底与第二衬底之间的显示器元件阵列,所述显示器元件阵列包含一或多个薄膜晶体管TFT。黑色掩模布置安置于所述第一衬底与所述第二衬底之间,所述黑色掩模布置经配置以防止进入所述显示器组合件的光到达所述TFT。
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