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公开(公告)号：CN111979580A
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：CN202010857754.4
申请日：2020-08-24
申请人： 连城凯克斯科技有限公司
摘要： 本发明提供一种抽空管道在线自清洁装置，所述自清洁装置设置在硅单晶炉的真空抽空管道上，且所述自清洁装置靠近所述真空抽空管道的入口处，所述真空抽空管道上开设有穿入孔；所述自清洁装置包括通过所述穿入孔穿入所述真空抽空管道内的搅拌清洁装置和设置在所述真空抽空管道外，并驱动所述搅拌清洁装置工作的驱动机构。本发明能够在硅单晶炉正常运行状态下，驱动减速电机，带动搅拌清洁装置旋转，切割搅拌附着在真空抽空管道入口段内壁的杂质或挥发物，使所述杂质或挥发物脱离所述真空抽空管道内壁，并受真空泵组抽空负压力作用，所述杂质或挥发物流向过滤器和真空泵组、远离真空炉室，起到在线自清洁的作用。
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公开(公告)号：CN111893563A
公开(公告)日：2020-11-06
申请号：CN202010865550.5
申请日：2020-08-25
申请人： 连城凯克斯科技有限公司
IPC分类号： C30B15/22
摘要： 本发明提供一种可自动调节放肩工艺参数的单晶炉，包括：晶体提拉模块、机器视觉直径测量模块和温度控制模块；所述提拉系统包括：转轴、连接在转轴上的绕线轮和一端连接在绕线轮上的软轴；所述软轴的另一端与晶体连接，在拉制单晶的工作过程中，转轴带动绕线轮旋转，使所述软轴与绕线轮相连的一端缠绕在绕线轮上，进而使软轴与晶体相连的一端对晶体进行提拉；所述提拉系统通过驱动电机穿过减速器，进而通过有齿轮齿条机构带动。本发明能使晶体放肩生长过程在整个生长过程中始终保持放肩形状一致，在不同单晶炉内部生长环境下，有效调整放肩生长的工艺参数。
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公开(公告)号：CN114836823A
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN202210644790.1
申请日：2022-06-08
申请人： 连城凯克斯科技有限公司
摘要： 本发明是一种单晶硅熔炉晶体生长直径预测方法，其基于PSO优化的KNN算法。本发明的优点：针对单晶硅生长过程中直径控制问题，利用了大量不同熔融炉的历史生长数据，并将不同生长阶段划分为不同数据集。为了消除不同数据类型数值差异过大对权重的影响，采用正态归一化方法进行数据增强。输入KNN回归模型优化加权权重。训练结束后，应用阶段可以将晶体生长数据输入回归模型，给出历史相似参数下的生长直径，并预测下一时刻晶体生长直径。利用PSO优化的带权重KNN回归计算模型，实现了晶体生长直径预测功能；对于优化晶体生长直径控制算法、减小直径波动和提高硅晶体质量具有重要意义。
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公开(公告)号：CN112093697A
公开(公告)日：2020-12-18
申请号：CN202011126777.4
申请日：2020-10-20
申请人： 连城凯克斯科技有限公司
摘要： 本发明提供一种重载双驱提拉机构，设置在回转中心上，包括中心轴，所述中心轴的两端分别对称安装有驱动所述中心轴转动的驱动机构，所述中心轴的中间通过花键连接有卷丝轴，所述卷丝轴的上方安装有定滑轮，钨丝绳的一端与所述卷丝轴的线槽固定连接，所述钨丝绳的另一端沿所述卷丝轴的线槽均匀缠绕后经过所述定滑轮后与单晶硅晶的顶部连接。本发明通过对称设置的两个驱动机构，实现了减小单个减速器额定功率的效果，采用额定功率较小的电机和减速器就能够实现大负载晶体的提拉，有效优化了提拉机构的动平衡状态以及整体重量，对各类单晶炉设备的拉晶稳定性具有改善作用。
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公开(公告)号：CN111962141A
公开(公告)日：2020-11-20
申请号：CN202010970479.7
申请日：2020-09-15
申请人： 连城凯克斯科技有限公司
摘要： 本发明提供一种硬轴重载硅单晶提拉装置，包括支撑结构、单晶体承重外硬轴且其底部安装有单晶体卡爪、籽晶承重内硬轴且其底部安装有籽晶卡头、用于驱动所述单晶体承重外硬轴转动的旋转驱动装置、用于驱动所述单晶体承重外硬轴升降的外硬轴升降装置和用于驱动所述籽晶承重内硬轴升降的内硬轴升降装置。本发明实现了内硬轴和外硬轴的同步旋转运动、外硬轴的单独升降运动和内硬轴的单独升降运动，具有较强的强度和刚度，能够承载500Kg以上重量的单晶体，弥补软轴提拉装置承载能力不足、避免软轴提拉装置中的软轴摆动和单摆共振现象，能够克服热场对称性偏差、气流激励作用力对称性偏差等方面引起的晶体扰动。
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公开(公告)号：CN114836823B
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202210644790.1
申请日：2022-06-08
申请人： 连城凯克斯科技有限公司
摘要： 本发明是一种单晶硅熔炉晶体生长直径预测方法，其基于PSO优化的KNN算法。本发明的优点：针对单晶硅生长过程中直径控制问题，利用了大量不同熔融炉的历史生长数据，并将不同生长阶段划分为不同数据集。为了消除不同数据类型数值差异过大对权重的影响，采用正态归一化方法进行数据增强。输入KNN回归模型优化加权权重。训练结束后，应用阶段可以将晶体生长数据输入回归模型，给出历史相似参数下的生长直径，并预测下一时刻晶体生长直径。利用PSO优化的带权重KNN回归计算模型，实现了晶体生长直径预测功能；对于优化晶体生长直径控制算法、减小直径波动和提高硅晶体质量具有重要意义。
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公开(公告)号：CN111941399A
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN202010839041.5
申请日：2020-08-19
申请人： 连城凯克斯科技有限公司
IPC分类号： B25J9/00
摘要： 本发明提供一种双Z轴机构，包括外Z轴机构和内Z轴机构；所述外Z轴机构包括外筒体，且所述外筒体上安装有驱动所述外筒体沿Z轴方向与安装板发生相对运动的外Z轴驱动机构，所述安装板与外接结构连接；所述内Z轴机构包括安装在所述外筒体内的内筒体，且所述内筒体上安装有驱动所述内筒体沿Z轴方向与所述外筒体发生相对运动的内Z轴驱动机构。本发明提供的双Z轴机构，通过设置外筒体和内筒体，实现了增加Z向行程的翻倍。外Z轴驱动机构和内Z轴驱动机构分别采用了其各自的伺服电机和减速机组件，实现了单独控制和并行工作的效果。
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公开(公告)号：CN111923027A
公开(公告)日：2020-11-13
申请号：CN202010839059.5
申请日：2020-08-19
申请人： 连城凯克斯科技有限公司
摘要： 本发明提供一种双控机械手，包括设置在工艺炉桁架机械手系统中Z轴运动系统底部的手爪装置和吸盘装置；所述手爪装置包括机械手支撑板，所述机械手支撑板的中部与所述Z轴运动系统底部固定连接，所述机械手支撑板的底部在其长度方向的两端分别安装有用于夹取金属舟的手爪臂，所述手爪臂与所述机械手支撑板通过滑动机构滑动连接；所述机械手支撑板的顶部在其长度方向的两端分别安装有驱动所述手爪臂沿所述机械手支撑板的长度方向水平运动的驱动机构；所述机械手支撑板的底部通过安装座安装有真空吸盘。金属舟同时受到手爪装置和吸盘装置的双重作用，起到双重承重及保护的作用。
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公开(公告)号：CN213387574U
公开(公告)日：2021-06-08
申请号：CN202022347333.5
申请日：2020-10-20
申请人： 连城凯克斯科技有限公司
摘要： 本实用新型提供一种重载双驱提拉机构，设置在回转中心上，包括中心轴，所述中心轴的两端分别对称安装有驱动所述中心轴转动的驱动机构，所述中心轴的中间通过花键连接有卷丝轴，所述卷丝轴的上方安装有定滑轮，钨丝绳的一端与所述卷丝轴的线槽固定连接，所述钨丝绳的另一端沿所述卷丝轴的线槽均匀缠绕后经过所述定滑轮后与单晶硅晶的顶部连接。本实用新型通过对称设置的两个驱动机构，实现了减小单个减速器额定功率的效果，采用额定功率较小的电机和减速器就能够实现大负载晶体的提拉，有效优化了提拉机构的动平衡状态以及整体重量，对各类单晶炉设备的拉晶稳定性具有改善作用。
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公开(公告)号：CN212527746U
公开(公告)日：2021-02-12
申请号：CN202021739799.3
申请日：2020-08-19
申请人： 连城凯克斯科技有限公司
IPC分类号： B25J9/00
摘要： 本实用新型提供一种双Z轴机构及具有该结构的工艺炉桁架机械手，包括外Z轴机构和内Z轴机构；所述外Z轴机构包括外筒体，且所述外筒体上安装有驱动所述外筒体沿Z轴方向与安装板发生相对运动的外Z轴驱动机构，所述安装板与外接结构连接；所述内Z轴机构包括安装在所述外筒体内的内筒体，且所述内筒体上安装有驱动所述内筒体沿Z轴方向与所述外筒体发生相对运动的内Z轴驱动机构。本实用新型提供的双Z轴机构，通过设置外筒体和内筒体，实现了增加Z向行程的翻倍。外Z轴驱动机构和内Z轴驱动机构分别采用了其各自的伺服电机和减速机组件，实现了单独控制和并行工作的效果。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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