公开(公告)号：CN106247974A

公开(公告)日：2016-12-21

申请号：CN201610342180.0

申请日：2016-05-23

申请人： 超科技公司

发明人： D·G·斯蒂特斯

IPC分类号： G01B11/24 ,  G01B9/02

摘要： 本发明公开一种基于偏振的相干梯度感测系统及方法，用以测量镜面反射式平面的至少一个表面形状特性。所述方法包含反射来自样品平面的第一圆偏振激光光束以形成包含表面形状信息的第二圆偏振激光光束；将第二圆偏振激光光束转换为线偏振反射激光光束；将相应的线偏振反射激光束的第一部分及第二部分引导至第一中继组件及第二中继组件，第一、第二中继组件构成第一、第二干涉仪臂。第一和第二中继组件每个使用一对轴向间隔分离的光栅以将相应的第一和第二干涉图案产生在相应的图像传感器上。来自第一和第二图像传感器的相应的第一、第二信号被处理以确定至少一个表面形状特性。

公开(公告)号：CN103592727A

公开(公告)日：2014-02-19

申请号：CN201310357355.1

申请日：2013-08-16

申请人： 超科技公司

发明人： D·G·斯蒂特斯 ,  A·M·霍里鲁克

IPC分类号： G02B6/42 ,  G03F7/20

CPC分类号： G03F7/201 ,  G03F7/70391 ,  H01L25/0753 ,  H01L33/642 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： 一种具有高收光效率的基于发光二极管的光刻发光器揭露于此。所述发光器使用发光二极管阵列，其中各发光二极管具有发光二极管晶粒以及散热器。发光二极管晶粒被成像在光均匀器柱的输入端以大致覆盖该输入端，而不包含发光二极管的不会发光的散热器部分。微透镜阵列用来成像发光二极管晶粒。发光器的收光效率比50%来的更好，且光均匀器的输出端的照明均匀性在+/-2%以内。

公开(公告)号：CN103592727B

公开(公告)日：2017-11-03

申请号：CN201310357355.1

申请日：2013-08-16

申请人： 超科技公司

发明人： D·G·斯蒂特斯 ,  A·M·霍里鲁克

IPC分类号： G02B6/42 ,  G03F7/20

CPC分类号： G03F7/201 ,  G03F7/70391 ,  H01L25/0753 ,  H01L33/642 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： 一种具有高收光效率的基于发光二极管的光刻发光器揭露于此。所述发光器使用发光二极管阵列，其中各发光二极管具有发光二极管晶粒以及散热器。发光二极管晶粒被成像在光均匀器柱的输入端以大致覆盖该输入端，而不包含发光二极管的不会发光的散热器部分。微透镜阵列用来成像发光二极管晶粒。发光器的收光效率比50%来的更好，且光均匀器的输出端的照明均匀性在+/‑2%以内。