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公开(公告)号：CN105216010B
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：CN201510661875.0
申请日：2015-10-09
Applicant: 费勉仪器科技(上海)有限公司
Abstract: 本发明提出了一种机械传递臂和真空传递腔，所述机械传递臂包括第一级驱动装置、第二级驱动装置和第三级驱动装置，根据需求还可设置第四级驱动装置以及更多；其中第一级驱动装置通过一自动开合的插销机构与第三级驱动装置连接，实现了相互嵌套的三级机械传递臂的依次伸出，最大伸长量可达850mm以上。该装置结构简洁有效，设计上注重不同超高真空实验系统的兼容性，从而简约了成本，简化了操作，增大了应用的范围。
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公开(公告)号：CN108004587A
公开(公告)日：2018-05-08
申请号：CN201711236830.4
申请日：2017-11-30
Applicant: 清华大学 , 费勉仪器科技(上海)有限公司
Abstract: 本发明提供一种用于超高真空腔体的等离子体清洗抛光装置，其包括放电电极、储气罐和抽气泵，所述放电电极位于待清洗的超高真空腔体内，所述待清洗的超高真空腔体的底壁上嵌设电极座，所述放电电极的一端插设于所述电极座内，所述电极座与直流电源电连接，所述储气罐与所述待清洗的超高真空腔体的一端相连，所述抽气泵与所述待清洗的超高真空腔体的另一端相连。本发明能在超高真空腔体内壁无损的情况下实现清洗和抛光，节能环保。
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公开(公告)号：CN107973073A
公开(公告)日：2018-05-01
申请号：CN201711237930.9
申请日：2017-11-30
Applicant: 清华大学 , 费勉仪器科技(上海)有限公司
CPC classification number: B65G35/00 , B65G47/901
Abstract: 本发明提供一种超高真空传样系统的样品传递装置，其包括：平台车，其能移动的设于所述超高真空传样系统中，所述平台车上设有多个停放台；多个托盘，每个所述托盘能拆卸的卡设于一所述停放台，所述托盘沿周向等间隔设有多个压弹部，两两相邻的所述压弹部之间能拆卸的压设有托板，所述托板上容置样品；抓取头，其上端与取样杆相连，其下端设有多个能卡设所述托盘的卡件。本发明通过能拆卸的设于平台车的托盘和能抓取托盘的抓取头，实现不同超高真空系统之间的样品传递，样品传递效率高，操作方便快捷。
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公开(公告)号：CN110487307B
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN201910864549.8
申请日：2019-09-09
Applicant: 费勉仪器科技(上海)有限公司
IPC: G01D5/34
Abstract: 本发明提供了一种报警电路及适用于真空管道系统的过阀报警系统，用于解决现有技术中过阀报警系统结构复杂、成本高昂、难以安装在真空管道内部的技术问题；一种报警电路，包括：阀信号电路、第一光电信号电路和第二光电信号电路；一种适用于真空管道系统的过阀报警系统，包括：阀状态检测模块、激光检测模块、报警电路和报警装置；实施本发明的技术方案，设置报警电路，接收阀门状态信息和光电信号，通过逻辑电路控制报警装置，无需设置单片机或工控机，系统结构简单，降低系统成本；真空管道设置视窗，通过光电门监控小车过阀状况，无需改变真空管道结构，易于安装；激光检测装置损坏也会引起报警器报警，系统可靠性高。
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公开(公告)号：CN106524554B
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN201611154635.2
申请日：2016-12-14
Applicant: 费勉仪器科技(上海)有限公司
IPC: F25B9/14
Abstract: 本发明提供了一种适用于超高真空环境的紧凑型无液氦1K低温制冷装置，包括输气管、预冷端、防护罩、减压池以及抽气设备。实施本发明的有益效果是：1、防护罩减少了制冷机暴露在真空腔体中的表面积，可用于超高真空环境；2、以防护罩作为制冷工质的回流通道，提高了回流管道的流导，保证减压池中的液态制冷工质有较低的蒸气压，可以达到更低的制冷温度。3、在降温初期，该回流通道可充入氦气交换气，来对减压池部位快速降温，缩短降温时间。4、防护罩第二段的设计提高了整体的换热效率。5、该制冷设备具有结构紧凑、容易拆装维护、制冷量可调节等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110487307A
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201910864549.8
申请日：2019-09-09
Applicant: 费勉仪器科技(上海)有限公司
IPC: G01D5/34
Abstract: 本发明提供了一种报警电路及适用于真空管道系统的过阀报警系统，用于解决现有技术中过阀报警系统结构复杂、成本高昂、难以安装在真空管道内部的技术问题；一种报警电路，包括：阀信号电路、第一光电信号电路和第二光电信号电路；一种适用于真空管道系统的过阀报警系统，包括：阀状态检测模块、激光检测模块、报警电路和报警装置；实施本发明的技术方案，设置报警电路，接收阀门状态信息和光电信号，通过逻辑电路控制报警装置，无需设置单片机或工控机，系统结构简单，降低系统成本；真空管道设置视窗，通过光电门监控小车过阀状况，无需改变真空管道结构，易于安装；激光检测装置损坏也会引起报警器报警，系统可靠性高。
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公开(公告)号：CN106321774B
公开(公告)日：2018-11-09
申请号：CN201611011730.7
申请日：2016-11-17
Applicant: 费勉仪器科技(上海)有限公司
IPC: F16H49/00 , F16L55/30 , B65G54/02 , F16L101/30
Abstract: 本发明公开了一种磁力传动机构，包括基座、上轨道、下轨道、上滑块、下滑块、驱动装置、下引导轨、下引导轮以及弹性复位件；另外，还公开了一种应用所述磁力传动机构的真空管道系统。实施本发明的有益效果主要有：1、第一磁体和第二磁体经过中间段下方时，下引导轮进入下引导轨，使得第一磁体和第二磁体依次在前进的同时下降一定高度，能有效依次避开中间段所在垂直面上设置的障碍物，同时可为上滑块持续提供前进的动力；2、真空管道系统上设置安全阀，缩短了系统到达超高真空状态的时间,同时提高整个系统使用的安全性；弹性复位件、下引导轮和下引轨道等设计使得第一磁体和第二磁体在前进中能避开安全阀，实现有效的管道内物体传输。
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公开(公告)号：CN108521066A
公开(公告)日：2018-09-11
申请号：CN201810555753.7
申请日：2018-06-01
Applicant: 费勉仪器科技(上海)有限公司
CPC classification number: H01S3/0835 , H01S3/1022
Abstract: 本发明提供了一种激光放大装置及方法，包括反射腔及射频电场聚焦器，所述反射腔内充满发光气体；所述反射腔至少一部分位于所述射频电场聚焦器的能量聚焦范围内；所述反射腔外壁设有供激光通过的狭缝。本发明的有益效果是：利用高反射环形反射腔取代传统的直线谐振腔，解决了在深紫外区域没有合适透过窗口片的问题，使得深紫外激光通过多次反射共振实现放大；能够通过调整入射激光的入射角度或狭缝的大小，精确控制激光反射路径，实现激光器的高品质因子调节，且调节范围远大于传统的激光谐振腔。
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公开(公告)号：CN106469641B
公开(公告)日：2018-03-09
申请号：CN201610261838.5
申请日：2016-04-25
Applicant: 费勉仪器科技(上海)有限公司
Abstract: 本发明提供了一种真空紫外光源装置，包括等离子保持器、射频电场聚焦器和密封固定装置。本发明装置利用等离子局域场原理在局部空间形成高密度的射频电场(电场强度可以达到107V/m)，可以直接电离激发等离子，不需要传统的点火装置，简化了系统，提高了实用和稳定性；通过对射频电场聚焦器、等离子保持器尺寸参数、进气参数进行合理配置，可以实现1018photons/(Sr*S)以上级别的紫外光发光强度；本发明装置不受传统的工作气体限制，可以使用多种不同的工作气体，发出的紫外光能量可以覆盖6～50eV；另外本发明的装置可有10000小时以上的超长使用寿命。
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公开(公告)号：CN106524554A
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201611154635.2
申请日：2016-12-14
Applicant: 费勉仪器科技(上海)有限公司
IPC: F25B9/14
CPC classification number: F25B9/14
Abstract: 本发明提供了一种适用于超高真空环境的紧凑型无液氦1K低温制冷装置，包括输气管、预冷端、防护罩、减压池以及抽气设备。实施本发明的有益效果是：1、防护罩减少了制冷机暴露在真空腔体中的表面积，可用于超高真空环境；2、以防护罩作为制冷工质的回流通道，提高了回流管道的流导，保证减压池中的液态制冷工质有较低的蒸气压，可以达到更低的制冷温度。3、在降温初期，该回流通道可充入氦气交换气，来对减压池部位快速降温，缩短降温时间。4、防护罩第二段的设计提高了整体的换热效率。5、该制冷设备具有结构紧凑、容易拆装维护、制冷量可调节等优点。
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