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公开(公告)号：CN108521066A
公开(公告)日：2018-09-11
申请号：CN201810555753.7
申请日：2018-06-01
Applicant: 费勉仪器科技(上海)有限公司
CPC classification number: H01S3/0835 , H01S3/1022
Abstract: 本发明提供了一种激光放大装置及方法，包括反射腔及射频电场聚焦器，所述反射腔内充满发光气体；所述反射腔至少一部分位于所述射频电场聚焦器的能量聚焦范围内；所述反射腔外壁设有供激光通过的狭缝。本发明的有益效果是：利用高反射环形反射腔取代传统的直线谐振腔，解决了在深紫外区域没有合适透过窗口片的问题，使得深紫外激光通过多次反射共振实现放大；能够通过调整入射激光的入射角度或狭缝的大小，精确控制激光反射路径，实现激光器的高品质因子调节，且调节范围远大于传统的激光谐振腔。
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公开(公告)号：CN108521066B
公开(公告)日：2025-03-04
申请号：CN201810555753.7
申请日：2018-06-01
Applicant: 费勉仪器科技(上海)有限公司
Abstract: 本发明提供了一种激光放大装置及方法，包括反射腔及射频电场聚焦器，所述反射腔内充满发光气体；所述反射腔至少一部分位于所述射频电场聚焦器的能量聚焦范围内；所述反射腔外壁设有供激光通过的狭缝。本发明的有益效果是：利用高反射环形反射腔取代传统的直线谐振腔，解决了在深紫外区域没有合适透过窗口片的问题，使得深紫外激光通过多次反射共振实现放大；能够通过调整入射激光的入射角度或狭缝的大小，精确控制激光反射路径，实现激光器的高品质因子调节，且调节范围远大于传统的激光谐振腔。
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公开(公告)号：CN208189968U
公开(公告)日：2018-12-04
申请号：CN201820842074.3
申请日：2018-06-01
Applicant: 费勉仪器科技(上海)有限公司
Abstract: 本实用新型提供了一种激光放大装置，包括反射腔及射频电场聚焦器，所述反射腔内充满发光气体；所述反射腔至少一部分位于所述射频电场聚焦器的能量聚焦范围内；所述反射腔外壁设有供激光通过的狭缝。本实用新型的有益效果是：利用高反射环形反射腔取代传统的直线谐振腔，解决了在深紫外区域没有合适透过窗口片的问题，使得深紫外激光通过多次反射共振实现放大；能够通过调整入射激光的入射角度或狭缝的大小，精确控制激光反射路径，实现激光器的高品质因子调节，且调节范围远大于传统的激光谐振腔。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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