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公开(公告)号：CN101413115A
公开(公告)日：2009-04-22
申请号：CN200710181613.X
申请日：2007-10-19
申请人： 财团法人工业技术研究院
IPC分类号： C23C16/515 , C23C16/52 , C23C16/24
摘要： 一种等离子体辅助薄膜沉积系统与方法，该系统主要由一等离子体薄膜沉积装置以及一等离子体工艺监控装置构成，该等离子体薄膜沉积装置可供输入脉冲电源与工艺反应气体，由脉冲电源与工艺反应气体作用产生等离子体放电解离工艺反应气体成活性物种，以进行薄膜沉积工艺；该等离子体工艺监控装置包括一等离子体成分光学放射光谱仪以及一脉冲等离子体调变程序装置，由该等离子体成分光学放射光谱仪侦测等离子体成分中活性物种的光谱强度值，再经由脉冲等离子体调变程序装置计算活性物种间的光谱强度比值，据以调变适当的脉冲电源等离子体作用时间及功率，可在微晶硅沉积的范围内获得高沉积速率，并实时掌控最佳薄膜沉积质量。
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公开(公告)号：CN102820431A
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：CN201110217665.4
申请日：2011-08-01
申请人： 财团法人工业技术研究院
CPC分类号： H01L27/3227 , H01L27/288
摘要： 本发明公开一种光电有机发光二极管元件及其制造方法。所述光电有机发光二极管元件包括基板、太阳电池模块与有机发光二极管。所述太阳电池模块位于基板的一表面上。所述有机发光二极管与太阳电池模块位于基板的同一表面，并接受太阳电池模块供电而发光。
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公开(公告)号：CN101363444B
公开(公告)日：2011-10-12
申请号：CN200710143894.X
申请日：2007-08-06
申请人： 财团法人工业技术研究院
IPC分类号： F04D25/08 , F04D29/30 , F04D29/42 , H02K7/14 , H02K1/27 , H02K1/12 , H02K3/28 , H02K3/26 , H02K29/08 , H01F1/10 , H01F1/057
摘要： 一种微散热风扇装置，主要由一主体、一转轴、至少一平面线圈、至少一永磁磁铁、复数叶片及至少一导磁背铁组成；该转轴枢设于该主体；该平面线圈设置于该主体内，其采用波形绕线方式；该永磁磁铁连接于该转轴且约略平行于该平面线圈，可产生一交错多极磁场；该复数叶片环绕该转轴轴心设置于该永磁磁铁的离心式叶片，与该永磁磁铁一体成型，可与该永磁磁铁同步转动；该导磁背铁设置于该平面线圈的一侧，该导磁背铁具有对应于该平面线圈波形的几何形状；再者，该平面线圈具有至少一透空部，于该透空部内设有霍耳感应器；由此达到薄型化、提升对流效率，且可增加磁通密度等目的。
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公开(公告)号：CN101363444A
公开(公告)日：2009-02-11
申请号：CN200710143894.X
申请日：2007-08-06
申请人： 财团法人工业技术研究院
IPC分类号： F04D25/08 , F04D29/30 , F04D29/42 , H02K7/14 , H02K1/27 , H02K1/12 , H02K3/28 , H02K3/26 , H02K29/08 , H01F1/10 , H01F1/057
摘要： 一种微散热风扇装置，主要由一主体、一转轴、至少一平面线圈、至少一永磁磁铁、复数叶片及至少一导磁背铁组成；该转轴枢设于该主体；该平面线圈设置于该主体内，其采用波形绕线方式；该永磁磁铁连接于该转轴且约略平行于该平面线圈，可产生一交错多极磁场；该复数叶片环绕该转轴轴心设置于该永磁磁铁的离心式叶片，与该永磁磁铁一体成型，可与该永磁磁铁同步转动；该导磁背铁设置于该平面线圈的一侧，该导磁背铁具有对应于该平面线圈波形的几何形状；再者，该平面线圈具有至少一透空部，于该透空部内设有霍耳感应器；由此达到薄型化、提升对流效率，且可增加磁通密度等目的。
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公开(公告)号：CN101413115B
公开(公告)日：2010-08-25
申请号：CN200710181613.X
申请日：2007-10-19
申请人： 财团法人工业技术研究院
IPC分类号： C23C16/515 , C23C16/52 , C23C16/24
摘要： 一种等离子体辅助薄膜沉积系统与方法，该系统主要由一等离子体薄膜沉积装置以及一等离子体工艺监控装置构成，该等离子体薄膜沉积装置可供输入脉冲电源与工艺反应气体，由脉冲电源与工艺反应气体作用产生等离子体放电解离工艺反应气体成活性物种，以进行薄膜沉积工艺；该等离子体工艺监控装置包括一等离子体成分光学放射光谱仪以及一脉冲等离子体调变程序装置，由该等离子体成分光学放射光谱仪侦测等离子体成分中活性物种的光谱强度值，再经由脉冲等离子体调变程序装置计算活性物种间的光谱强度比值，据以调变适当的脉冲电源等离子体作用时间及功率，可在微晶硅沉积的范围内获得高沉积速率，并实时掌控最佳薄膜沉积质量。
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公开(公告)号：CN101465589A
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200710301516.X
申请日：2007-12-21
申请人： 财团法人工业技术研究院
IPC分类号： H02K35/02
摘要： 本发明公开了一种往复式发电模块，包含：一导引体；一磁性体，由两个以上彼此相斥的磁性单元连接所组成，该磁性体可沿着该导引体线性移动；以及一线圈，依序沿着该导引体外部或内部缠绕；当磁性体与线圈产生相对线性移动时，即可达成电磁发电的效果，每移动两个磁性单元的长度，即可完成一次完整周期的交流感应电压输出。
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公开(公告)号：CN101135318A
公开(公告)日：2008-03-05
申请号：CN200610127611.8
申请日：2006-08-31
申请人： 财团法人工业技术研究院
摘要： 本发明提供一种叶轮结构以及使用所述叶轮结构的离心风扇装置。所述叶轮结构，其是具有一盘体；以及多对叶片结构，其是设置于所述盘体上，所述叶片结构更包括有：一第一叶片；以及一第二叶片，其是设置于所述第一叶片的一侧，所述第二叶片与所述第一叶片于径向上具有一重叠区域。通过所述重叠区域可以形成类似喷嘴(nozzle)功能的缝隙流道(gap passage)。当流体经由缝隙流道喷出时，除了可间断前列叶片吸力面的边界层成长外；此高动能流体与后列叶片吸力面上的低动量流体混合，减少此边界层厚度，延迟流离点(separation point)位置或克服流离发生。
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