公开(公告)号：CN103324026A

公开(公告)日：2013-09-25

申请号：CN201210382854.1

申请日：2012-10-10

Applicant: 财团法人工业技术研究院

Inventor： 杨锦添 ,  李明家 ,  郑宗达

IPC: G03F1/56 ,  G03F7/00

CPC classification number: G03F7/027 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/0042

Abstract: 本发明提供了图案化层状材料的方法，该方法包括：提供层状材料；形成光致抗蚀剂层于该层状材料上；以激光光束图案化光致抗蚀剂层，露出部分的层状材料；以及蚀刻露出的部分的层状材料，以图案化层状材料。

公开(公告)号：CN102043330A

公开(公告)日：2011-05-04

申请号：CN200910205373.1

申请日：2009-10-21

Applicant: 财团法人工业技术研究院

Inventor： 杨锦添 ,  郑宗达 ,  陈荣波 ,  许明芳 ,  黄俊杰 ,  朱朝居 ,  黄得瑞

IPC: G03F7/00

Abstract: 本发明公开一种用于纳米压印的滚筒模仁的制造方法，其包括：提供一滚轴基板，其中该滚轴基板为一圆柱体且具有一曲面；形成一无机光致抗蚀剂层于该滚轴基板的该曲面上；使用一激光曝光装置，以聚焦的激光照射该无机光致抗蚀剂层，使得曝光区域的该无机光致抗蚀剂层产生相转变，以及移除相转变区域的该无机光致抗蚀剂层，以于该滚轴基板上形成一纳米图案。

公开(公告)号：CN103673448A

公开(公告)日：2014-03-26

申请号：CN201210459094.X

申请日：2012-11-14

Applicant: 财团法人工业技术研究院

Inventor： 刘家铭 ,  陈联泰 ,  宋清潭 ,  杨锦添 ,  李思儒

IPC: F25D9/00 ,  C09K5/14

CPC classification number: F28F1/10 ,  F25D3/005 ,  F25D2400/26 ,  F28D15/00 ,  F28F1/00 ,  F28F27/02

Abstract: 本发明公开一种冷却装置，其包括载体以及平板式冷却导管。该平板式冷却导管由高导热材料所构成，其设置于该载体上，并包括导管部以及平板部。该导管部具有导通孔，用以传导冷却液。该平板部贴覆于该载体，使该冷却液借由该平板部与该载体间的接触面积进行热交换。借此，本发明可提高该冷却装置的热交换效率，以有效降低该载体的温度。