双涂覆器流体分配方法
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111495684B

    公开(公告)日:2021-11-23

    申请号:CN202010086331.7

    申请日:2015-07-08

    Applicant: 诺信公司

    Abstract: 提供一种双涂覆器流体分配方法,所述方法包括:a.捕获被设置在多个电子衬底的XY平面上的多个分配区域的至少一个图像;b.识别与各个分配区域相关联的参考基准;c.基于所识别的参考基准,确定在每一个分配区域处的分配位置;d.在确定所述多个分配区域中的每一个分配区域处的所述分配位置之后,选择第一和第二分配区域;e.在选择第一分配区域和第二分配区域之后,在第一和第二分配区域处分配第一和第二流体图案;f.在确定每个分配区域处的所述分配位置之后,以及在第一和第二分配区域处分配第一和第二流体图案之后或之前,选择第三和第四分配区域;和g.在选择第三和第四分配区域之后,在第三和第四分配区域处分配第一和第二流体图案。

    双涂覆器流体分配方法
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111495684A

    公开(公告)日:2020-08-07

    申请号:CN202010086331.7

    申请日:2015-07-08

    Applicant: 诺信公司

    Abstract: 提供一种双涂覆器流体分配方法,所述方法包括:a.捕获被设置在多个电子衬底的XY平面上的多个分配区域的至少一个图像;b.识别与各个分配区域相关联的参考基准;c.基于所识别的参考基准,确定在每一个分配区域处的分配位置;d.在确定所述多个分配区域中的每一个分配区域处的所述分配位置之后,选择第一和第二分配区域;e.在选择第一分配区域和第二分配区域之后,在第一和第二分配区域处分配第一和第二流体图案;f.在确定每个分配区域处的所述分配位置之后,以及在第一和第二分配区域处分配第一和第二流体图案之后或之前,选择第三和第四分配区域;和g.在选择第三和第四分配区域之后,在第三和第四分配区域处分配第一和第二流体图案。

    双涂覆器流体分配方法和系统

    公开(公告)号:CN106488806A

    公开(公告)日:2017-03-08

    申请号:CN201580037371.X

    申请日:2015-07-08

    Applicant: 诺信公司

    Abstract: 一种具有第一涂覆器(34)和第二涂覆器(36),其具有:第一驱动装置(100a,110b),其沿着第一轴线同时移动第一涂覆器(34)和第二涂覆器(38);第二驱动装置(102),其沿着第二轴线同时移动第一涂覆器(34)和第二涂覆器(38);以及第三驱动装置(104),其沿着第三轴线同时移动第一涂覆器(34)和第二涂覆器(38)。次级定位器(40,300)由初级定位器(36)支撑,并且具有:第一驱动装置(106,316),其将第一涂覆器(34)或第二涂覆器(38)中的一个相对于另一个沿着第一轴线定位;第二驱动装置(107,328),其将第一涂覆器(34)或第二涂覆器(38)中的一个相对于另一个沿着第二轴线定位;以及第三驱动装置(108,344),其将第一涂覆器(34)或第二涂覆器(38)中的一个相对于另一个沿着第三轴线定位。初级定位器(36)的第三驱动装置(108,344)沿着第三轴线移动次级定位器(300)。(38)的流体分配系统(30),包含初级定位器

    双涂覆器流体分配方法和系统

    公开(公告)号:CN106488806B

    公开(公告)日:2020-03-06

    申请号:CN201580037371.X

    申请日:2015-07-08

    Applicant: 诺信公司

    Abstract: 一种具有第一涂覆器(34)和第二涂覆器(38)的流体分配系统(30),包含初级定位器(36),其具有:第一驱动装置(100a,110b),其沿着第一轴线同时移动第一涂覆器(34)和第二涂覆器(38);第二驱动装置(102),其沿着第二轴线同时移动第一涂覆器(34)和第二涂覆器(38);以及第三驱动装置(104),其沿着第三轴线同时移动第一涂覆器(34)和第二涂覆器(38)。次级定位器(40,300)由初级定位器(36)支撑,并且具有:第一驱动装置(106,316),其将第一涂覆器(34)或第二涂覆器(38)中的一个相对于另一个沿着第一轴线定位;第二驱动装置(107,328),其将第一涂覆器(34)或第二涂覆器(38)中的一个相对于另一个沿着第二轴线定位;以及第三驱动装置(108,344),其将第一涂覆器(34)或第二涂覆器(38)中的一个相对于另一个沿着第三轴线定位。初级定位器(36)的第三驱动装置(108,344)沿着第三轴线移动次级定位器(300)。

Patent Agency Ranking