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公开(公告)号:CN1610638A
公开(公告)日:2005-04-27
申请号:CN02824034.0
申请日:2002-10-03
Applicant: 诚实公司
CPC classification number: H01L21/67366 , H01L21/67369 , H01L21/67386
Abstract: 本发明涉及加工成半导体装置的晶片的运输器。该晶片运输系统提供的晶片运输器能保护晶片免遭损坏和免遭粒子的沾染且对运输器中的晶片的沾染最小。本发明包括用于缓冲半导体晶片的晶片缓冲垫,该缓冲垫由闭孔聚乙烯材料制成,该材料的表面电阻率小于每平方5×107欧姆,在适度条件下可沥滤离子小于1800ng/g CL-、400ng/gF-/醋酸盐、270ng/g NO3-、350ng/g SO42-和60ng/g PO43-。该晶片缓冲垫在严格条件下检测不到释放出的气体有机物。静电控制特性是由作为该材料的结构的一部分的碳得出的。
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公开(公告)号:CN1555331A
公开(公告)日:2004-12-15
申请号:CN02818058.5
申请日:2002-07-15
Applicant: 诚实公司
IPC: B65D85/48
CPC classification number: H01L21/67353 , H01L21/67373 , H01L21/67379 , H01L21/67386
Abstract: 一种保护运送装置,包含一个盖子和一个底座,其通过一个锁紧装置保持在一起。该底座可设置成保持和保护位于储存匣内的半导体晶片或具有晶片的薄膜支架。该底座包含一个锁紧件以及一个限定存储匣的支撑壁。该盖子密封存储匣。一个或两个盖子可容纳用于握紧的凹槽。该盖子可接纳一个或多个防振锁紧孔,锁紧孔具有较窄的锁紧区,其开口优选为“T”形。锁紧件通过T形开口的水平杆部分接合所述盖,当锁紧件移动到T形开口的下支中时,可以脱开接合。本发明的运送装置可以在一通过使用可相互交换的模具插件能够生产运送装置的薄膜支架或晶片容纳结构的模具中制造。
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公开(公告)号:CN1309629C
公开(公告)日:2007-04-11
申请号:CN02818045.3
申请日:2002-07-15
Applicant: 诚实公司
CPC classification number: H01L21/67346 , Y10S206/821
Abstract: 一种可互锁的薄膜支架承载器(100),具有中心部分(106)和外围部分(106),用于安全地存储一支撑一薄膜(196)的薄膜支架(194)。该中心部分(106)具有用于支撑所述半导体晶片和用于允许进入所述存储的薄膜支架的下表面的结构。该薄膜支架承载器(100)的外围部分(108)包括用于支撑所述薄膜支架外围部分的结构和可配合的堆叠件(103)。当存储该薄膜支架时,两个薄膜支架承载器通过所述堆叠件配合而互锁。
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公开(公告)号:CN1304254C
公开(公告)日:2007-03-14
申请号:CN02818058.5
申请日:2002-07-15
Applicant: 诚实公司
IPC: B65D85/48
CPC classification number: H01L21/67353 , H01L21/67373 , H01L21/67379 , H01L21/67386
Abstract: 一种保护运送装置,包含一个盖子和一个底座,其通过一个锁紧装置保持在一起。该底座可设置成保持和保护位于储存匣内的半导体晶片或具有晶片的薄膜支架。该底座包含一个锁紧件以及一个限定存储匣的支撑壁。该盖子密封存储匣。一个或两个盖子可容纳用于握紧的凹槽。该盖子可接纳一个或多个防振锁紧孔,锁紧孔具有较窄的锁紧区,其开口优选为“T”形。锁紧件通过T形开口的水平杆部分接合所述盖,当锁紧件移动到T形开口的下支中时,可以脱开接合。本发明的运送装置可以在一通过使用可相互交换的模具插件能够生产运送装置的薄膜支架或晶片容纳结构的模具中制造。
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公开(公告)号:CN1639029A
公开(公告)日:2005-07-13
申请号:CN03804458.7
申请日:2003-02-21
Applicant: 诚实公司
CPC classification number: H01L21/67369
Abstract: 一种晶片容器,其包括具有供晶片装入和取出的敞开前部(24)的容器部分(20),包括带有缓冲系统(140,142)的门(100),该缓冲系统利用独特的晶片限制系统(114)和结构特征来为晶片提供最大的保护,并可防止所述晶片旋转。门(100)的一个特征是,门盖板的前部具有一对锁定凹腔,它们位于门(100)的朝外侧面上。锁定凹腔容纳有二个带有锁定件(130)的锁定机构(122,124),锁定件伸出到门(100)的上、下边缘之外。锁定机构(122,124)被一对门面板(118,120)所覆盖,门面板具有钩子(186),其与门(100)的周边相连,并且还与垂直方向上的中部附近的柱子相连。
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公开(公告)号:CN1309634C
公开(公告)日:2007-04-11
申请号:CN03804458.7
申请日:2003-02-21
Applicant: 诚实公司
IPC: B65D85/48
CPC classification number: H01L21/67369
Abstract: 一种晶片容器,其包括具有供晶片装入和取出的敞开前部(24)的容器部分(20),包括带有缓冲系统(140,142)的门(100),该缓冲系统利用独特的晶片限制系统(114)和结构特征来为晶片提供最大的保护,并可防止所述晶片旋转。门(100)的一个特征是,门盖板的前部具有一对锁定凹腔,它们位于门(100)的朝外侧面上。锁定凹腔容纳有二个带有锁定件(130)的锁定机构(122,124),锁定件伸出到门(100)的上、下边缘之外。锁定机构(122,124)被一对门面板(118,120)所覆盖,门面板具有钩子(186),其与门(100)的周边相连,并且还与垂直方向上的中部附近的柱子相连。
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公开(公告)号:CN1630606A
公开(公告)日:2005-06-22
申请号:CN02818045.3
申请日:2002-07-15
Applicant: 诚实公司
CPC classification number: H01L21/67346 , Y10S206/821
Abstract: 一种可互锁的薄膜支架承载器(100),具有中心部分(106)和外围部分(106),用于安全地存储一支撑一薄膜(196)的薄膜支架(194)。该中心部分(106)具有用于支撑所述半导体晶片和用于允许进入所述存储的薄膜支架的下表面的结构。该薄膜支架承载器(100)的外围部分(108)包括用于支撑所述薄膜支架外围部分的结构和可配合的堆叠件(103)。当存储该薄膜支架时,两个薄膜支架承载器通过所述堆叠件配合而互锁。
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