公开(公告)号：CN105353680B

公开(公告)日：2018-07-17

申请号：CN201510807657.3

申请日：2015-11-19

Applicant: 许昌学院

Inventor： 杨晓刚 ,  雷岩 ,  胡金刚 ,  张艳鸽 ,  李品将 ,  石玉英 ,  郑直

IPC: G05B19/042 ,  G05D27/02

Abstract: 本发明提供了一种用于原子层沉积仪的控制设备，包括单片机控制系统、温控模块和保护模块，单片机控制系统包括单片机、程序输入单元、时间控制单元、信号控制单元、执行单元和显示单元，程序输入单元、时间控制单元、信号控制单元和显示单元均与单片机连接，信号控制单元的输出端通过执行单元连接至执行元件；温控模块与单片机及执行元件连接；保护模块包括与单片机连接的温度保护单元和断电保护单元。本发明避免了采用计算机或工控机多级间接控制执行单元的复杂性，直接采用单片机现场控制，以此控制设备为核心的原子层沉积仪具有定时可控泵入各种前驱体、体系温度及过热、停电保护以及报警的功能，显著降低了制造成本。

公开(公告)号：CN105353680A

公开(公告)日：2016-02-24

申请号：CN201510807657.3

申请日：2015-11-19

Applicant: 许昌学院

Inventor： 杨晓刚 ,  雷岩 ,  胡金刚 ,  张艳鸽 ,  李品将 ,  石玉英 ,  郑直

IPC: G05B19/042 ,  G05D27/02

CPC classification number: G05B19/0428 ,  G05B2219/2609 ,  G05D27/02

Abstract: 本发明提供了一种用于原子层沉积仪的控制设备，包括单片机控制系统、温控模块和保护模块，单片机控制系统包括单片机、程序输入单元、时间控制单元、信号控制单元、执行单元和显示单元，程序输入单元、时间控制单元、信号控制单元和显示单元均与单片机连接，信号控制单元的输出端通过执行单元连接至执行元件；温控模块与单片机及执行元件连接；保护模块包括与单片机连接的温度保护单元和断电保护单元。本发明避免了采用计算机或工控机多级间接控制执行单元的复杂性，直接采用单片机现场控制，以此控制设备为核心的原子层沉积仪具有定时可控泵入各种前驱体、体系温度及过热、停电保护以及报警的功能，显著降低了制造成本。