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公开(公告)号：CN114362553B
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202111556694.3
申请日：2021-12-17
申请人： 西安北方华创微电子装备有限公司 , 北京北方华创微电子装备有限公司
摘要： 本发明提供了一种射频电源的功率采集电路及方法，所述功率采集电路包括：定向耦合器，用于采集射频电源的第一输出电压；DAC转换模块，用于根据输入的数字量，输出相应的第二输出电压；比较器模块，用于比较所述DAC转换模块的所述第二输出电压和所述定向耦合器的所述第一输出电压，并根据比较结果输出比较电压；控制器，用于根据比较器模块的所述比较电压，调整输入至所述DAC转换模块的数字量，以及根据满足预设条件时输出的目标数字量，确定射频电源的输出功率。本发明使用DAC转换模块代替了ADC转换模块和乘法器，降低了射频电源制造成本，降低了测量的系统误差，提高了功率测量的精度。
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公开(公告)号：CN114362553A
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN202111556694.3
申请日：2021-12-17
申请人： 西安北方华创微电子装备有限公司 , 北京北方华创微电子装备有限公司
摘要： 本发明提供了一种射频电源的功率采集电路及方法，所述功率采集电路包括：定向耦合器，用于采集射频电源的第一输出电压；DAC转换模块，用于根据输入的数字量，输出相应的第二输出电压；比较器模块，用于比较所述DAC转换模块的所述第二输出电压和所述定向耦合器的所述第一输出电压，并根据比较结果输出比较电压；控制器，用于根据比较器模块的所述比较电压，调整输入至所述DAC转换模块的数字量，以及根据满足预设条件时输出的目标数字量，确定射频电源的输出功率。本发明使用DAC转换模块代替了ADC转换模块和乘法器，降低了射频电源制造成本，降低了测量的系统误差，提高了功率测量的精度。
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公开(公告)号：CN113241296A
公开(公告)日：2021-08-10
申请号：CN202110472890.6
申请日：2021-04-29
申请人： 北京北方华创微电子装备有限公司
IPC分类号： H01J37/32
摘要： 本发明提供了一种射频电源及其阻抗匹配方法、半导体工艺设备，涉及半导体加工技术领域。其中，射频电源包括：输出模块，用于生成射频信号；采集模块，用于采集所述射频信号的反射功率和前向功率；控制模块，用于根据所述射频信号的反射功率与前向功率之间的比值，调整所述输出模块所生成的所述射频信号的输出频率，以使输出频率调整后的射频信号的反射功率小于预设阈值。本发明的射频电源的阻抗匹配的响应速度快、控制精度高，大大提高了阻抗匹配的效率。
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公开(公告)号：CN117970162A
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202211318073.6
申请日：2022-10-26
申请人： 北京北方华创微电子装备有限公司
摘要： 本发明实施例提供了一种射频电源的功率测量电路、射频电源和半导体工艺设备，包括：与射频放大模块输出端连接的信号采集模块，用于采集所述射频放大模块输出的射频信号，将所述射频信号转换为正弦波信号；与所述信号采集模块连接的全波整流模块，用于整流所述正弦波信号，生成半正弦波信号；与所述全波整流模块连接的低通滤波模块，用于滤波所述半正弦波信号，生成直流信号，所述直流信号用于表征所述射频放大模块输出的功率。本发明实施例通过全波整流模块和低通滤波模块进行功率测量即可将所需采样的射频功率信号转换为直流信号，成本低，测量精度高，在不用额外增加硬件校准电路情况下消除乘法器带来的测量误差。
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公开(公告)号：CN113110687A
公开(公告)日：2021-07-13
申请号：CN202110360248.9
申请日：2021-04-02
申请人： 北京北方华创微电子装备有限公司
IPC分类号： G05F1/66
摘要： 本发明提供了一种扫频电源及其输出功率的控制方法、半导体工艺设备，扫频电源用于输出频率可调的射频信号，其中，扫频电源的控制方法包括：获取扫频电源的输出频率的设定值以及扫频电源的控制电压的设定值，控制电压用于控制扫频电源的输出功率；确定与控制电压的设定值所对应的输出功率的设定值；根据输出功率的设定值和输出频率的设定值，以及预先建立的映射关系表，确定出与输出功率的设定值和输出频率的设定值所对应的第一校准系数；根据第一校准系数对控制电压的设定值进行校准，获得控制电压的校准值，以使扫频电源根据控制电压的校准值输出的射频信号的输出功率的实际值达到输出功率的设定值。本发明可以提高扫频电源的精度。
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公开(公告)号：CN114244307B
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202111554440.8
申请日：2021-12-17
申请人： 北京北方华创微电子装备有限公司
IPC分类号： H03H7/38
摘要： 本发明提供一种匹配器及其阻抗匹配方法，该匹配器包括信号采集模块，用于采集匹配器的传输线缆的电压信号、电流信号以及前向功率信号和反射功率信号；信号处理模块，用于获得幅值差信号和相位差信号；控制模块，用于判断幅值差信号和相位差信号是否均等于零；模数转换模块，用于将模拟信号转换为数字信号；阻抗计算模块，用于计算获得匹配器的阻抗可变元件的目标数值；控制模块，还用于计算获得阻抗可变元件的调整方向及调整量，判断幅值差信号和相位差信号分别是正值还是负值，并根据判断结果确定阻抗可变元件对应的调整方向为增大还是减小；控制执行模块调整阻抗可变元件的数值。本发明可以解决匹配过程中出现的反复调整的问题，提高匹配精度。
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公开(公告)号：CN113110687B
公开(公告)日：2023-06-16
申请号：CN202110360248.9
申请日：2021-04-02
申请人： 北京北方华创微电子装备有限公司
IPC分类号： G05F1/66
摘要： 本发明提供了一种扫频电源及其输出功率的控制方法、半导体工艺设备，扫频电源用于输出频率可调的射频信号，其中，扫频电源的控制方法包括：获取扫频电源的输出频率的设定值以及扫频电源的控制电压的设定值，控制电压用于控制扫频电源的输出功率；确定与控制电压的设定值所对应的输出功率的设定值；根据输出功率的设定值和输出频率的设定值，以及预先建立的映射关系表，确定出与输出功率的设定值和输出频率的设定值所对应的第一校准系数；根据第一校准系数对控制电压的设定值进行校准，获得控制电压的校准值，以使扫频电源根据控制电压的校准值输出的射频信号的输出功率的实际值达到输出功率的设定值。本发明可以提高扫频电源的精度。
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公开(公告)号：CN114980677A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210599355.1
申请日：2022-05-30
申请人： 北京北方华创微电子装备有限公司
IPC分类号： H05K7/20
摘要： 本发明提供一种射频电源及其冷却控制方法，包括电源组件、冷却装置和控制装置，冷却装置包括流体通路和设置在流体通路上的调节阀，控制装置用于在电源组件为运行状态时根据冷却装置的温度检测值与预设目标温度之间的第一温度差值以及电源组件的当前功率与上一检测周期的功率之间的功率差值，对调节阀的开启程度进行调节；以及，在电源组件为非运行状态时，在出水温度高于出水温度阈值时降低冷却装置的可调目标温度，否则在入水温度低于或等于结露温度时提高可调目标温度；再对调节阀的开启程度进行调节，以使冷却装置的温度检测值趋近于可调目标温度。本发明的射频电源能够提高电源组件温度的稳定性并避免过热或结露。
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公开(公告)号：CN114487984A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202210236844.0
申请日：2022-03-10
申请人： 北京北方华创微电子装备有限公司
IPC分类号： G01R35/04
摘要： 本申请公开了射频电源的校准装置及方法，用以解决射频电源中功率测量电路的测量精度低的问题。该装置包括射频功率测量电路、控制器、电压补偿器和参数调节器；射频功率测量电路包括依次连接的测量电路、乘法器和运放器；控制器分别与电压补偿器和参数调节器连接，用于控制电压补偿器输出电压补偿值以及控制参数调节器的参数值；电压补偿器与乘法器连接，用于向乘法器提供电压补偿值；参数调节器连接至运放器，用于通过调整参数值校准运放器的输出功率值。该装置减小了测量电路中由乘法器和集成运放器的偏置电压所带来的测量误差，且实现了对射频功率测量电路输出值的实时动态校准效果，提高了射频电源输出功率的精度。
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公开(公告)号：CN114914146A
公开(公告)日：2022-08-16
申请号：CN202210493608.7
申请日：2022-05-07
申请人： 北京北方华创微电子装备有限公司
IPC分类号： H01J37/32
摘要： 本发明实施例公开了一种射频匹配器及其控制方法，该射频匹配器包括：功率检测单元、阻抗调整单元、模拟控制单元、模拟接口、微控制单元、触屏显示单元和传输单元；功率检测单元，与模拟控制单元连接；模拟控制单元，与阻抗调整单元连接；阻抗调整单元包括可调节电容；模拟接口，与模拟控制单元连接；传输单元，分别与微控制单元和模拟接口连接；微控制单元，与触屏显示单元连接，以此，可以在半导体工艺设备的现场直观显示射频匹配器的状态信息且提供触屏操作手段，提高针对射频匹配器的控制操作的灵活性。本发明实施例还公开了一种半导体工艺设备。
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