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公开(公告)号：CN118091516A
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202211500953.5
申请日：2022-11-28
申请人： 北京北方华创微电子装备有限公司
IPC分类号： G01R35/00
摘要： 本发明实施例提供了一种射频电源传感器测试电路及其测试方法。射频电源传感器测试电路包括处理器发出射频频率设定信号；射频频率合成器一端与处理器连接，另一端与射频电源传感器连接，接收射频频率设定信号，生成与射频频率设定信号匹配的射频信号，并将射频信号送至射频电源传感器；采集模块一端与射频电源传感器连接，另一端与处理器连接，采集射频电源传感器基于射频信号输出的射频功率值；处理器还接收射频功率值，并根据射频功率值与预设功率阈值的关系确定射频电源传感器的输出状态。通过本发明实施例可以在射频电源传感器装配到半导体工艺设备前，对射频电源传感器进行测试，以提高射频电源传感器的测试精度。
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公开(公告)号：CN115206763B
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202210764470.X
申请日：2022-06-30
申请人： 西安北方华创微电子装备有限公司 , 北京北方华创微电子装备有限公司
摘要： 本发明实施例提供了一种射频电源和一种半导体工艺设备，该射频电源包括射频信号输入模块，可变功率合成匹配网络，固定阻抗变换模块，双定向耦合器采样模块，闭环控制模块和动态可变负载；当动态可变负载的实时阻抗值出现严重偏离预设目标阻抗值时，通过闭环控制模块控制可变功率合成匹配网络来调节输出端阻抗值，使输出端阻抗值经过固定阻抗变换模块的阻抗差值变换后，把严重偏离预设阻抗的动态可变负载调整到预设目标阻抗值，使该预设目标阻抗值与固定阻抗变换模块的输出端阻抗值形成共轭匹配关系；本发明解决了射频电源与动态可变负载出现阻抗严重失配情况时，产生大反射功率返回到射频电源内部，导致射频电源内部的主要器件出现烧毁等故障。
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公开(公告)号：CN114362553A
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN202111556694.3
申请日：2021-12-17
申请人： 西安北方华创微电子装备有限公司 , 北京北方华创微电子装备有限公司
摘要： 本发明提供了一种射频电源的功率采集电路及方法，所述功率采集电路包括：定向耦合器，用于采集射频电源的第一输出电压；DAC转换模块，用于根据输入的数字量，输出相应的第二输出电压；比较器模块，用于比较所述DAC转换模块的所述第二输出电压和所述定向耦合器的所述第一输出电压，并根据比较结果输出比较电压；控制器，用于根据比较器模块的所述比较电压，调整输入至所述DAC转换模块的数字量，以及根据满足预设条件时输出的目标数字量，确定射频电源的输出功率。本发明使用DAC转换模块代替了ADC转换模块和乘法器，降低了射频电源制造成本，降低了测量的系统误差，提高了功率测量的精度。
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公开(公告)号：CN114244307A
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202111554440.8
申请日：2021-12-17
申请人： 北京北方华创微电子装备有限公司
IPC分类号： H03H7/38
摘要： 本发明提供一种匹配器及其阻抗匹配方法，该匹配器包括信号采集模块，用于采集匹配器的传输线缆的电压信号、电流信号以及前向功率信号和反射功率信号；信号处理模块，用于获得幅值差信号和相位差信号；控制模块，用于判断幅值差信号和相位差信号是否均等于零；模数转换模块，用于将模拟信号转换为数字信号；阻抗计算模块，用于计算获得匹配器的阻抗可变元件的目标数值；控制模块，还用于计算获得阻抗可变元件的调整方向及调整量，判断幅值差信号和相位差信号分别是正值还是负值，并根据判断结果确定阻抗可变元件对应的调整方向为增大还是减小；控制执行模块调整阻抗可变元件的数值。本发明可以解决匹配过程中出现的反复调整的问题，提高匹配精度。
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公开(公告)号：CN113138309A
公开(公告)日：2021-07-20
申请号：CN202110442256.8
申请日：2021-04-23
申请人： 北京北方华创微电子装备有限公司
摘要： 本申请提供一种阻抗测量元件、阻抗匹配器、射频电源及半导体工艺设备，该阻抗测量元件应用于射频传输线路，包括数据采集单元、数据处理单元及阻抗计算单元，其中，数据采集单元用于采集射频传输线路的电压数据、电流数据、前向功率数据及反射功率数据；数据处理单元分别与数据采集单元和阻抗计算单元连接，用于对电压数据、电流数据、前向功率数据及反射功率数据进行数据处理，以得到电压波与电流波的幅值信号、相位信号及功率反射系数信号；阻抗计算单元用于根据幅值信号、相位信号及功率反射系数信号确定射频传输线路的阻抗。应用本申请，其测量精度较高，响应时间较短，且成本较低。
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公开(公告)号：CN108063607B
公开(公告)日：2021-01-08
申请号：CN201711304526.9
申请日：2017-12-11
申请人： 北京北方华创微电子装备有限公司
摘要： 本发明公开了一种微型大功率陶瓷基板滤波器，包括信号输入端口IN、信号输出端口OUT、接地端GND，信号输入端口IN连接三阶低通LC滤波电路A、二阶低通LC滤波电路B；三阶低通LC滤波电路A包括螺旋电感L1、电容C1、电容C2，所述二阶低通LC滤波电路B包括螺旋电感L2、电容C3；螺旋电感L1、螺旋电感L2印制在矩形的氧化铝陶瓷基板上，所述氧化铝陶瓷基板外采用聚砜外壳封装。本发明中元器件的布局设计为严格对称设计，可以有效减少元器件之间的干扰；封装尺寸为92mm*78mm*10mm，体积小于传统滤波设备的十分之一，可以安装到射频电源内部，并且可以直接安装到水冷板上。
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公开(公告)号：CN114244307B
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202111554440.8
申请日：2021-12-17
申请人： 北京北方华创微电子装备有限公司
IPC分类号： H03H7/38
摘要： 本发明提供一种匹配器及其阻抗匹配方法，该匹配器包括信号采集模块，用于采集匹配器的传输线缆的电压信号、电流信号以及前向功率信号和反射功率信号；信号处理模块，用于获得幅值差信号和相位差信号；控制模块，用于判断幅值差信号和相位差信号是否均等于零；模数转换模块，用于将模拟信号转换为数字信号；阻抗计算模块，用于计算获得匹配器的阻抗可变元件的目标数值；控制模块，还用于计算获得阻抗可变元件的调整方向及调整量，判断幅值差信号和相位差信号分别是正值还是负值，并根据判断结果确定阻抗可变元件对应的调整方向为增大还是减小；控制执行模块调整阻抗可变元件的数值。本发明可以解决匹配过程中出现的反复调整的问题，提高匹配精度。
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公开(公告)号：CN113110687B
公开(公告)日：2023-06-16
申请号：CN202110360248.9
申请日：2021-04-02
申请人： 北京北方华创微电子装备有限公司
IPC分类号： G05F1/66
摘要： 本发明提供了一种扫频电源及其输出功率的控制方法、半导体工艺设备，扫频电源用于输出频率可调的射频信号，其中，扫频电源的控制方法包括：获取扫频电源的输出频率的设定值以及扫频电源的控制电压的设定值，控制电压用于控制扫频电源的输出功率；确定与控制电压的设定值所对应的输出功率的设定值；根据输出功率的设定值和输出频率的设定值，以及预先建立的映射关系表，确定出与输出功率的设定值和输出频率的设定值所对应的第一校准系数；根据第一校准系数对控制电压的设定值进行校准，获得控制电压的校准值，以使扫频电源根据控制电压的校准值输出的射频信号的输出功率的实际值达到输出功率的设定值。本发明可以提高扫频电源的精度。
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公开(公告)号：CN114980677A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210599355.1
申请日：2022-05-30
申请人： 北京北方华创微电子装备有限公司
IPC分类号： H05K7/20
摘要： 本发明提供一种射频电源及其冷却控制方法，包括电源组件、冷却装置和控制装置，冷却装置包括流体通路和设置在流体通路上的调节阀，控制装置用于在电源组件为运行状态时根据冷却装置的温度检测值与预设目标温度之间的第一温度差值以及电源组件的当前功率与上一检测周期的功率之间的功率差值，对调节阀的开启程度进行调节；以及，在电源组件为非运行状态时，在出水温度高于出水温度阈值时降低冷却装置的可调目标温度，否则在入水温度低于或等于结露温度时提高可调目标温度；再对调节阀的开启程度进行调节，以使冷却装置的温度检测值趋近于可调目标温度。本发明的射频电源能够提高电源组件温度的稳定性并避免过热或结露。
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公开(公告)号：CN114362553B
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202111556694.3
申请日：2021-12-17
申请人： 西安北方华创微电子装备有限公司 , 北京北方华创微电子装备有限公司
摘要： 本发明提供了一种射频电源的功率采集电路及方法，所述功率采集电路包括：定向耦合器，用于采集射频电源的第一输出电压；DAC转换模块，用于根据输入的数字量，输出相应的第二输出电压；比较器模块，用于比较所述DAC转换模块的所述第二输出电压和所述定向耦合器的所述第一输出电压，并根据比较结果输出比较电压；控制器，用于根据比较器模块的所述比较电压，调整输入至所述DAC转换模块的数字量，以及根据满足预设条件时输出的目标数字量，确定射频电源的输出功率。本发明使用DAC转换模块代替了ADC转换模块和乘法器，降低了射频电源制造成本，降低了测量的系统误差，提高了功率测量的精度。
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