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公开(公告)号:CN110595241A
公开(公告)日:2019-12-20
申请号:CN201910854200.6
申请日:2019-09-10
Applicant: 西安交通大学深圳研究院
IPC: F28D15/04 , H01L23/427
Abstract: 本发明公开了一种分区块式强化沸腾换热微结构及其制造方法,包括散热板,散热板上设置有若干圆形的区块单元,每个区块单元由若干圈微柱组成,所述区块单元呈阵列分布在散热板上。一方面,本发明可限制高热流密度时气柱的间距及气柱的半径,阻碍气柱间合并,显著地强化了高热流密度区的沸腾换热性能,大大地提高芯片沸腾换热的临界热流密度。另一方面本发明的每个区块单元呈同心圆布置的圆形微柱,从内圈到外圈微柱间的间距依次增大,可以减小流体从光滑区域定向输送至微结构区域的流动阻力,在高热流密度下将新鲜液体及时供给到汽泡中心底部,从而维持汽泡蒸发,从而进一步提高临界热流密度。
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公开(公告)号:CN111933592B
公开(公告)日:2022-07-19
申请号:CN202010820770.6
申请日:2020-08-14
Applicant: 西安交通大学深圳研究院
IPC: H01L23/367 , H01L23/373 , H01L21/48
Abstract: 本发明公开了一种具有立体网状结构的电子器件散热结构及制造方法,包括散热板、多层微米级网状结构、多层骨架。散热板上设置有若干层微米级网状结构,且相邻的两层微米级网状结构之间设置有骨架层,所述微米级网状结构上修饰有纳米级微结构,所述散热板、微米级网状结构以及骨架层的材质均为铜。本发明在微观层面上,能够提高液体的补充能力,有助于气泡脱离;在宏观层面上,能够增加换热面积,增强换热能力。
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公开(公告)号:CN110595241B
公开(公告)日:2020-11-27
申请号:CN201910854200.6
申请日:2019-09-10
Applicant: 西安交通大学深圳研究院
IPC: F28D15/04 , H01L23/427
Abstract: 本发明公开了一种分区块式强化沸腾换热微结构及其制造方法,包括散热板,散热板上设置有若干圆形的区块单元,每个区块单元由若干圈微柱组成,所述区块单元呈阵列分布在散热板上。一方面,本发明可限制高热流密度时气柱的间距及气柱的半径,阻碍气柱间合并,显著地强化了高热流密度区的沸腾换热性能,大大地提高芯片沸腾换热的临界热流密度。另一方面本发明的每个区块单元呈同心圆布置的圆形微柱,从内圈到外圈微柱间的间距依次增大,可以减小流体从光滑区域定向输送至微结构区域的流动阻力,在高热流密度下将新鲜液体及时供给到汽泡中心底部,从而维持汽泡蒸发,从而进一步提高临界热流密度。
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公开(公告)号:CN111933592A
公开(公告)日:2020-11-13
申请号:CN202010820770.6
申请日:2020-08-14
Applicant: 西安交通大学深圳研究院
IPC: H01L23/367 , H01L23/373 , H01L21/48
Abstract: 本发明公开了一种具有立体网状结构的电子器件散热结构及制造方法,包括散热板、多层微米级网状结构、多层骨架。散热板上设置有若干层微米级网状结构,且相邻的两层微米级网状结构之间设置有骨架层,所述微米级网状结构上修饰有纳米级微结构,所述散热板、微米级网状结构以及骨架层的材质均为铜。本发明在微观层面上,能够提高液体的补充能力,有助于气泡脱离;在宏观层面上,能够增加换热面积,增强换热能力。
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公开(公告)号:CN110534490A
公开(公告)日:2019-12-03
申请号:CN201910854962.6
申请日:2019-09-10
Applicant: 西安交通大学深圳研究院
IPC: H01L23/427 , H01L23/367 , H01L21/48
Abstract: 本发明公开了一种垂直方向上具有梯度的强化沸腾换热微结构及其制造方法,包括散热板,散热板上设置有若干方形区块单元,相邻的方形区块单元之间布置有补液通道,每个方形区块单元由若干圈方形微柱组成,同一个方形区块单元内的方形微柱的截面尺寸相同,高度不同,使每个方形区块单元内形成中间高、四周低的梯度分布。本发明能够使得水平方向上的气泡不易合并,增加垂直方向气泡脱离频率,减小高热流密度区域的液体补充阻力。同时,本发明还设置有补液通道,能够在高热流区域及时补充液体,阻止高热流区域的传热恶化。
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公开(公告)号:CN110534490B
公开(公告)日:2021-01-12
申请号:CN201910854962.6
申请日:2019-09-10
Applicant: 西安交通大学深圳研究院
IPC: H01L23/427 , H01L23/367 , H01L21/48
Abstract: 本发明公开了一种垂直方向上具有梯度的强化沸腾换热微结构及其制造方法,包括散热板,散热板上设置有若干方形区块单元,相邻的方形区块单元之间布置有补液通道,每个方形区块单元由若干圈方形微柱组成,同一个方形区块单元内的方形微柱的截面尺寸相同,高度不同,使每个方形区块单元内形成中间高、四周低的梯度分布。本发明能够使得水平方向上的气泡不易合并,增加垂直方向气泡脱离频率,减小高热流密度区域的液体补充阻力。同时,本发明还设置有补液通道,能够在高热流区域及时补充液体,阻止高热流区域的传热恶化。
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