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公开(公告)号：CN112684262B
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202011308894.2
申请日：2020-11-19
Applicant: 西安交通大学
Inventor： 张勇 , 程珍珍 , 王迪 , 唐宇杰 , 孙利利 , 郝云鹤 , 周锦堂 , 章凯 , 王睿哲 , 邓元刚 , 朱程鹏 , 赵宇 , 王振宇 , 何轩 , 韩文 , 杨彬 , 吴健 , 耿明昕
Abstract: 本发明公开了一种硅微米柱阵列三电极电离式MEMS电场传感器及制备方法，包括三个自下而上依次分布的第一、第二和第三电极，第一电极由内表面分布着采用深硅刻蚀法制备的硅微米柱阵列的硅基底以及设有小通孔的阴极构成；第二电极由一面有硅微米柱阵列及设有小引出孔的引出极构成；第三电极由内表面设有深槽的收集极构成；三个电极分别通过绝缘支柱相互隔离。该传感器基于场致发射电离机理，通过检测输出电流，检测电场强度，与现有技术相比，量程宽、分辨率高、准确度高，可检测直流、交流及脉冲电场强度。
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公开(公告)号：CN112684262A
公开(公告)日：2021-04-20
申请号：CN202011308894.2
申请日：2020-11-19
Applicant: 西安交通大学
Inventor： 张勇 , 程珍珍 , 王迪 , 唐宇杰 , 孙利利 , 郝云鹤 , 周锦堂 , 章凯 , 王睿哲 , 邓元刚 , 朱程鹏 , 赵宇 , 王振宇 , 何轩 , 韩文 , 杨彬 , 吴健 , 耿明昕
Abstract: 本发明公开了一种硅微米柱阵列三电极电离式MEMS电场传感器及制备方法，包括三个自下而上依次分布的第一、第二和第三电极，第一电极由内表面分布着采用深硅刻蚀法制备的硅微米柱阵列的硅基底以及设有小通孔的阴极构成；第二电极由一面有硅微米柱阵列及设有小引出孔的引出极构成；第三电极由内表面设有深槽的收集极构成；三个电极分别通过绝缘支柱相互隔离。该传感器基于场致发射电离机理，通过检测输出电流，检测电场强度，与现有技术相比，量程宽、分辨率高、准确度高，可检测直流、交流及脉冲电场强度。
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公开(公告)号：CN112577864A
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：CN202011304133.X
申请日：2020-11-19
Applicant: 西安交通大学
Inventor： 张勇 , 程珍珍 , 唐宇杰 , 王迪 , 孙利利 , 郝云鹤 , 周锦堂 , 章凯 , 王睿哲 , 邓元刚 , 朱程鹏 , 童佳明 , 陈麒宇 , 韩文 , 杨彬 , 吴健 , 白晓春
IPC: G01N15/06
Abstract: 本发明公开了一种硅微米柱阵列三电极电离式微系统微系统雾霾传感器及制备方法，包括三个自下而上依次分布的第一、第二和第三电极，第一电极由内表面制备有硅微米柱阵列的硅基底以及设有小通孔的阴极构成；第二电极由设有小引出孔的引出极构成；第三电极由内表面设有深槽的收集极构成；三个电极分别通过绝缘支柱相互隔离。该传感器通过检测输出电流，检测雾霾颗粒物浓度。收集极电流大，灵敏度高，量程宽，分辨率高，能够响应多种粒径的颗粒物浓度。超声波清灰效率高，非接触式运行，不会损伤传感器。
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公开(公告)号：CN112577864B
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202011304133.X
申请日：2020-11-19
Applicant: 西安交通大学
Inventor： 张勇 , 程珍珍 , 唐宇杰 , 王迪 , 孙利利 , 郝云鹤 , 周锦堂 , 章凯 , 王睿哲 , 邓元刚 , 朱程鹏 , 童佳明 , 陈麒宇 , 韩文 , 杨彬 , 吴健 , 白晓春
IPC: G01N15/06
Abstract: 本发明公开了一种硅微米柱阵列三电极电离式微系统微系统雾霾传感器及制备方法，包括三个自下而上依次分布的第一、第二和第三电极，第一电极由内表面制备有硅微米柱阵列的硅基底以及设有小通孔的阴极构成；第二电极由设有小引出孔的引出极构成；第三电极由内表面设有深槽的收集极构成；三个电极分别通过绝缘支柱相互隔离。该传感器通过检测输出电流，检测雾霾颗粒物浓度。收集极电流大，灵敏度高，量程宽，分辨率高，能够响应多种粒径的颗粒物浓度。超声波清灰效率高，非接触式运行，不会损伤传感器。
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