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公开(公告)号：CN106198714B
公开(公告)日：2019-04-12
申请号：CN201610629536.9
申请日：2016-08-03
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N27/70
Abstract: 本发明公开了一种镀金碳纳米管薄膜电离式甲烷传感器，包括三个自上而下依次分布的第一电极、第二电极和第三电极，第一电极由内表面附着有分布着镀金碳纳米管薄膜的金属膜基底以及设有小透气孔的电极构成；第二电极由中心设有小引出孔的引出极极板构成；第三电极由板面设有凹槽的收集极构成；该三个电极分别通过绝缘支柱相互隔离；镀金碳纳米管薄膜是将金纳米颗粒采用溅射方法附着在碳纳米管上；三电极之间的极间距按照小透气孔、小引出孔的孔径和凹槽的边长、深度设定。该镀金碳纳米管薄膜电离式甲烷传感器通过输出电流检测甲烷浓度，收集极电流大，可检测ppb级甲烷微量气体，灵敏度高。
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公开(公告)号：CN112577864A
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：CN202011304133.X
申请日：2020-11-19
Applicant: 西安交通大学
Inventor： 张勇 , 程珍珍 , 唐宇杰 , 王迪 , 孙利利 , 郝云鹤 , 周锦堂 , 章凯 , 王睿哲 , 邓元刚 , 朱程鹏 , 童佳明 , 陈麒宇 , 韩文 , 杨彬 , 吴健 , 白晓春
IPC: G01N15/06
Abstract: 本发明公开了一种硅微米柱阵列三电极电离式微系统微系统雾霾传感器及制备方法，包括三个自下而上依次分布的第一、第二和第三电极，第一电极由内表面制备有硅微米柱阵列的硅基底以及设有小通孔的阴极构成；第二电极由设有小引出孔的引出极构成；第三电极由内表面设有深槽的收集极构成；三个电极分别通过绝缘支柱相互隔离。该传感器通过检测输出电流，检测雾霾颗粒物浓度。收集极电流大，灵敏度高，量程宽，分辨率高，能够响应多种粒径的颗粒物浓度。超声波清灰效率高，非接触式运行，不会损伤传感器。
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公开(公告)号：CN106248776B
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201610629253.4
申请日：2016-08-03
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N27/64
Abstract: 本发明为一种可检测多组份混合气体的传感器阵列，由n个不同极间距的金纳米孔薄膜三电极电离式传感器组成。传感器包括三个自下而上依次分布的第一、第二和第三电极，第一电极由内表面附着有分布着金纳米孔的金属膜基底及设有小透气孔的电极构成；第二电极由中心设有小引出孔的引出极构成；第三电极由板面设有槽的收集极构成；三个电极分别通过绝缘支柱相互隔离；n个金纳米孔薄膜三电极电离式传感器第一电极制作在同一极板上；三电极之间的极间距按照透气孔和引出孔的孔径以及槽的边长和槽深设定。本发明不需要分离混合气体，通过改变极间距识别不同组分气体，通过电流检测各组份浓度，与现有技术对比有较大的收集电流和灵敏度。
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公开(公告)号：CN106324062A
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201610630041.8
申请日：2016-08-03
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N27/407
CPC classification number: G01N27/4075
Abstract: 本发明公开了一种金纳米孔薄膜电离式一氧化碳传感器，包括三个自下而上依次分布的第一、第二和第三电极，第一电极由内表面附着有分布着蒸发沉积法生长金纳米孔薄膜的金属膜基底及设有小透气孔的电极构成；第二电极由中心设有小引出孔的引出极构成；第三电极由板面设有小槽的收集极构成；三电极分别通过绝缘支柱相互隔离；小透气孔的孔径为0.8～5mm、小引出孔的孔径为1.2～7mm，小槽的边长和槽深分别为1.2×1.2～7×9mm和50～220μm；三电极之间的极间距按照小透气孔、小引出孔的孔径和小槽的边长和槽深设定。该金纳米孔薄膜电离式一氧化碳传感器根据电流大小检测气体浓度，工作电压小，收集极电流大，灵敏度高，可检测氮气背景气体中的一氧化碳气体。
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公开(公告)号：CN106198714A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610629536.9
申请日：2016-08-03
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N27/70
CPC classification number: G01N27/70
Abstract: 本发明公开了一种镀金碳纳米管薄膜电离式甲烷传感器，包括三个自上而下依次分布的第一电极、第二电极和第三电极，第一电极由内表面附着有分布着镀金碳纳米管薄膜的金属膜基底以及设有小透气孔的电极构成；第二电极由中心设有小引出孔的引出极极板构成；第三电极由板面设有凹槽的收集极构成；该三个电极分别通过绝缘支柱相互隔离；镀金碳纳米管薄膜是将金纳米颗粒采用溅射方法附着在碳纳米管上；三电极之间的极间距按照小透气孔、小引出孔的孔径和凹槽的边长、深度设定。该镀金碳纳米管薄膜电离式甲烷传感器通过输出电流检测甲烷浓度，收集极电流大，可检测ppb级甲烷微量气体，灵敏度高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112577864B
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202011304133.X
申请日：2020-11-19
Applicant: 西安交通大学
Inventor： 张勇 , 程珍珍 , 唐宇杰 , 王迪 , 孙利利 , 郝云鹤 , 周锦堂 , 章凯 , 王睿哲 , 邓元刚 , 朱程鹏 , 童佳明 , 陈麒宇 , 韩文 , 杨彬 , 吴健 , 白晓春
IPC: G01N15/06
Abstract: 本发明公开了一种硅微米柱阵列三电极电离式微系统微系统雾霾传感器及制备方法，包括三个自下而上依次分布的第一、第二和第三电极，第一电极由内表面制备有硅微米柱阵列的硅基底以及设有小通孔的阴极构成；第二电极由设有小引出孔的引出极构成；第三电极由内表面设有深槽的收集极构成；三个电极分别通过绝缘支柱相互隔离。该传感器通过检测输出电流，检测雾霾颗粒物浓度。收集极电流大，灵敏度高，量程宽，分辨率高，能够响应多种粒径的颗粒物浓度。超声波清灰效率高，非接触式运行，不会损伤传感器。
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公开(公告)号：CN106198678A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610629330.6
申请日：2016-08-03
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N27/407
CPC classification number: G01N27/4075
Abstract: 本发明公开了一种金纳米孔薄膜三电极电离式二氧化硫传感器，包括三个自下而上依次分布的第一、第二和第三电极，第一电极由内表面附着有分布着采用蒸发沉积法生长金纳米孔薄膜的金属膜基底以及设有小透气孔的阴极构成；第二电极由中心设有小引出孔的引出极构成；第三电极由板面设有深槽的收集极构成；三个电极分别通过绝缘支柱相互隔离；小透气孔的孔径设定后；三电极之间的极间距按照小透气孔、小引出孔的孔径和深槽的边长、深度设定。该金纳米孔薄膜电离式二氧化硫传感器通过电流检测二氧化硫浓度，与现有技术相比其工作电压小，收集极电流大，灵敏度高，可检测六氟化硫背景气体中的二氧化硫。
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公开(公告)号：CN106324062B
公开(公告)日：2019-05-24
申请号：CN201610630041.8
申请日：2016-08-03
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N27/407
Abstract: 本发明公开了一种金纳米孔薄膜电离式一氧化碳传感器，包括三个自下而上依次分布的第一、第二和第三电极，第一电极由内表面附着有分布着蒸发沉积法生长金纳米孔薄膜的金属膜基底及设有小透气孔的电极构成；第二电极由中心设有小引出孔的引出极构成；第三电极由板面设有小槽的收集极构成；三电极分别通过绝缘支柱相互隔离；小透气孔的孔径为0.8～5mm、小引出孔的孔径为1.2～7mm，小槽的边长和槽深分别为1.2×1.2～7×9mm和50～220μm；三电极之间的极间距按照小透气孔、小引出孔的孔径和小槽的边长和槽深设定。该金纳米孔薄膜电离式一氧化碳传感器根据电流大小检测气体浓度，工作电压小，收集极电流大，灵敏度高，可检测氮气背景气体中的一氧化碳气体。
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公开(公告)号：CN106324077B
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201610629251.5
申请日：2016-08-03
Applicant: 西安交通大学
Inventor： 张勇 , 潘志刚 , 张健鹏 , 张嘉祥 , 程珍珍 , 陈麒宇 , 童佳明 , 梁冰点 , 史京辉 , 张晶园 , 贺永宁 , 李昕 , 王小华 , 刘定新 , 杨爱军 , 荣命哲
IPC: G01N27/70
Abstract: 本发明公开了一种金纳米孔薄膜电离式氟化亚硫酰传感器，包括三个自下而上依次分布的第一、第二和第三电极，第一电极由内表面附着有分布着蒸发沉积法生长金纳米孔薄膜的金属膜基底以及设有小透气孔的电极构成；第二电极由中心设有小引出孔的引出极构成；第三电极由板面设有小深槽的收集极构成；三电极分别通过绝缘支柱相互隔离；小透气孔的孔径为0.6～4mm、小引出孔的孔径为1～6mm，小深槽的边长和孔深分别为1×1～6×8mm和50～200μm；三电极之间的极间距按照小透气孔和小引出孔的孔径及小深槽的边长和孔深设定。该金纳米孔薄膜电离式氟化亚硫酰传感器根据电流检测氟化亚硫酰浓度，工作电压小，收集极电流大，灵敏度高，可检测六氟化硫背景气体中的氟化亚硫酰。
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公开(公告)号：CN106198678B
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201610629330.6
申请日：2016-08-03
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N27/407
Abstract: 本发明公开了一种金纳米孔薄膜三电极电离式二氧化硫传感器，包括三个自下而上依次分布的第一、第二和第三电极，第一电极由内表面附着有分布着采用蒸发沉积法生长金纳米孔薄膜的金属膜基底以及设有小透气孔的阴极构成；第二电极由中心设有小引出孔的引出极构成；第三电极由板面设有深槽的收集极构成；三个电极分别通过绝缘支柱相互隔离；小透气孔的孔径设定后；三电极之间的极间距按照小透气孔、小引出孔的孔径和深槽的边长、深度设定。该金纳米孔薄膜电离式二氧化硫传感器通过电流检测二氧化硫浓度，与现有技术相比其工作电压小，收集极电流大，灵敏度高，可检测六氟化硫背景气体中的二氧化硫。
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