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公开(公告)号：CN111060997B
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN202010058570.1
申请日：2020-01-19
申请人： 西安交通大学
IPC分类号： G02B3/00
摘要： 一种多级复眼透镜的制造方法，先利用光刻方法制备微柱阵列，然后给微柱阵列表面溅射ZnO，利用微喷印机在微柱阵列间隙喷印紫外固化胶，利用液滴滴落次数控制微透镜形貌，得到微透镜阵列；再将六甲基四胺和硝酸锌分别溶于去离子水中，然后将六甲基四胺溶液倒入硝酸锌溶液中得到混合溶液，将微透镜阵列放入混合溶液中，放入水浴锅中水浴；最后取出微透镜阵列用去离子水清洗，烘干得到多级复眼透镜；本发明在减小光信号交联的情况下，可以极大程度提高结构表面疏水性及液滴稳定性；极大提高液滴的稳定性，液滴很难填充到微柱阵列间隙；微透镜间隙的纳米结构可以降低光透性，降低了光信号之间的交联。
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公开(公告)号：CN111229719A
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN202010103694.7
申请日：2020-02-20
申请人： 西安交通大学
IPC分类号： B08B3/12 , B08B3/08 , B08B7/00 , B23K26/362
摘要： 一种激光清洗辅助激光烧蚀制备多尺度微纳米复合结构的方法，搭建光路，飞秒激光器输出光经过反射镜后进入扫描振镜，经过扫描振镜的圆透镜镜头聚焦后照射在载物台上，飞秒激光器、扫描振镜和电脑连接；设定激光烧蚀硅材料的参数，将单晶硅片样品固定在移动载物台上；电脑控制扫描振镜实现激光光斑交叉网格移动，激光烧蚀单晶硅片样品表面后得到覆盖有一层絮状氧化物沉积的网格状微米结构的表面；将扫描振镜的圆透镜镜头更换为柱面透镜镜头，得到椭圆形光斑；设定激光清洗硅氧化物沉积的参数，电脑控制扫描振镜实现激光光斑栅形移动，激光清洗网格状微米结构的表面，制备出多尺度微纳米复合结构；本发明操作简单，绿色环保，经济高效。
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公开(公告)号：CN111060997A
公开(公告)日：2020-04-24
申请号：CN202010058570.1
申请日：2020-01-19
申请人： 西安交通大学
IPC分类号： G02B3/00
摘要： 一种多级复眼透镜的制造方法，先利用光刻方法制备微柱阵列，然后给微柱阵列表面溅射ZnO，利用微喷印机在微柱阵列间隙喷印紫外固化胶，利用液滴滴落次数控制微透镜形貌，得到微透镜阵列；再将六甲基四胺和硝酸锌分别溶于去离子水中，然后将六甲基四胺溶液倒入硝酸锌溶液中得到混合溶液，将微透镜阵列放入混合溶液中，放入水浴锅中水浴；最后取出微透镜阵列用去离子水清洗，烘干得到多级复眼透镜；本发明在减小光信号交联的情况下，可以极大程度提高结构表面疏水性及液滴稳定性；极大提高液滴的稳定性，液滴很难填充到微柱阵列间隙；微透镜间隙的纳米结构可以降低光透性，降低了光信号之间的交联。
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公开(公告)号：CN109014583B
公开(公告)日：2020-01-21
申请号：CN201810815987.0
申请日：2018-07-24
申请人： 西安交通大学
IPC分类号： B23K26/36 , B23K26/402 , B23K26/12 , B23K26/70
摘要： 一种制备吸波硅材料的激光无氧加工装置，包括底座，底座和冷却水腔体的下端连接，冷却水腔体的上端外部通过螺纹连接有无氧加工腔体，冷却水腔体的上端中部为硅材料安放平台，其中心设有一个台阶通孔，台阶通孔的台阶上放置待加工的硅材料，台阶通孔侧壁上加工有螺纹，圆环通孔螺栓与台阶通孔侧壁上的螺纹配合，安装在硅材料的上表面，硅材料将冷却水腔和无氧加工腔分开；无氧加工腔体顶部开有石英玻璃窗，侧壁连接有两个气体开关阀；冷却水腔体连接有两个冷却水开关阀；本发明可以实现硅材料在无氧的环境下加工，防止硅材料表面在激光加工过程中变成二氧化硅，同时防止激光烧蚀产生的沉积颗粒结晶。
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公开(公告)号：CN117383503A
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN202311330396.1
申请日：2023-10-16
申请人： 西安交通大学
摘要： 一种耐磨性增强的锥形阵列结构及飞秒激光制备方法，包括基底材料表面设有的不等间距的锥形阵列，在间隔较小处形成一个低等间距锥形阵列结构，在间距较大处形成另一种高锥形阵列结构，即在若干个低锥形阵列结构之间分布着一个高锥形结构，高锥形结构提供力学支撑和磨损补偿；制备方法采用飞秒激光制备；本发明所提出的耐磨性增强的锥形结构在保证了其功能性优势，还提供了耐磨性补偿结构，当表面受到外界的磨损外，可以牺牲高度较高的锥形结构，从而保证其他高度的锥形结构不被破坏，具有性能和稳定性的统一优势。
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公开(公告)号：CN117051913A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202310625334.7
申请日：2023-05-30
申请人： 西安交通大学
IPC分类号： E03B3/28 , B05D5/08 , B05D3/10 , B05D3/02 , B23K26/352 , B23K26/064
摘要： 一种仿沙漠甲虫鞘翅结构的智能超疏水雾水收集表面制备方法，先进行实验预处理，然后进行拓补排列的再入凹角孔阵列微纳结构的制备，最后进行雾水收集结构表面的构建，将激光制备的拓补排列的再入凹角孔阵列微纳结构浸泡于硅烷溶液，使得含氟的低表面能官能团与微纳结构表面键合；为了获得更加牢固的键合力，需要将氟化后的样品放置在恒温干燥箱中加热一段时间，从而使得结构表面达到疏水性；本发明所得结构综合了亲水、疏水、以及亲疏水相间三种典型雾水收集表面的优势，对于扩展雾水润湿性表面的制备方法和应用领域有着显著的优势。
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公开(公告)号：CN115008018B
公开(公告)日：2023-08-01
申请号：CN202210461640.7
申请日：2022-04-28
申请人： 西安交通大学
IPC分类号： B23K26/352 , B23K26/60 , B23K26/70 , B82Y30/00 , B82Y40/00
摘要： 一种飞秒激光复合稀土纳米修饰制备耐用超疏水表面的方法，包括实验预处理、基于飞秒激光进行材料表面织构化处理、稀土金属氧化物纳米物性修饰下的机械耐用性增强和本征疏水性初步改性以及温控时效下超疏水极端浸润特性的调制等步骤；本发明在充分发挥飞秒激光在微纳复合结构化表面制备的高灵活性、可重复性、高的适用性、极高的分辨率以及可以对结构进行可程序化设计与制造等优势的同时，结合结构的仿生设计与稀土金属氧化物本征疏水、化学性质稳定和耐磨性强等特性，来实现具有良好机械耐用性即耐磨损性能和耐摩擦性能的稳定、耐用超疏水表面的绿色、高效、可控性良好地调控与制备，对超疏水表面转向实际工业化、产业化大规模应用有着显著优势。
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公开(公告)号：CN109759728B
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN201910062438.5
申请日：2019-01-23
申请人： 西安交通大学
IPC分类号： B23K26/384 , B23K26/18 , B23K26/064
摘要： 一种利用增加保护层改善微孔形貌的方法，先将保护层材料均匀涂覆或粘贴到样品表面；然后搭建光路，利用电脑调节飞秒激光器输出激光，将带保护层的样片固定在移动载物台加工工位上，调节移动载物台位置，使激光束聚焦于样品保护层上表面，通过调节激光功率、脉冲数、保护层厚度获得表面无损伤的微孔；激光加工完成后，撕掉样品表层保护层，将样品超声清洗；本发明通过增加保护层基本消除了激光束边缘低能量区和烧蚀喷溅物对样品表面的损伤，同时减小了微孔入口处锥度，改善了微孔入口形貌，提高了微孔深径比。
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公开(公告)号：CN109702354B
公开(公告)日：2020-01-21
申请号：CN201910145773.1
申请日：2019-02-26
申请人： 西安交通大学
IPC分类号： B23K26/362
摘要： 一种基于飞秒激光烧蚀复合诱导制备标印的方法，采用钛合金TC4或镍基合金GH4169金属片作为加工对象，搭建光路，飞秒激光器输出光经过二轴扫描振镜系统聚焦到剪式升降台上，飞秒激光器和二轴扫描振镜系统和电脑连接；利用电脑调节飞秒激光器输出激光，激光波长为1030nm，脉宽为240fs，重复频率为1‑200kHz可调，最大单脉冲能量为200μJ；将钛合金TC4或镍基合金GH4169金属片固定在剪式升降台加工工位上，通过调节重复频率、单脉冲能量、扫描速度和槽间距，获得最优的激光烧蚀的初级标印基本参数和激光诱导的再次标印基本参数；本发明提高了飞秒激光标印的质量、效率和识别率，并且对钛合金和镍基合金都具有适应性。
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公开(公告)号：CN109759728A
公开(公告)日：2019-05-17
申请号：CN201910062438.5
申请日：2019-01-23
申请人： 西安交通大学
IPC分类号： B23K26/384 , B23K26/18 , B23K26/064
摘要： 一种利用增加保护层改善微孔形貌的方法，先将保护层材料均匀涂覆或粘贴到样品表面；然后搭建光路，利用电脑调节飞秒激光器输出激光，将带保护层的样片固定在移动载物台加工工位上，调节移动载物台位置，使激光束聚焦于样品保护层上表面，通过调节激光功率、脉冲数、保护层厚度获得表面无损伤的微孔；激光加工完成后，撕掉样品表层保护层，将样品超声清洗；本发明通过增加保护层基本消除了激光束边缘低能量区和烧蚀喷溅物对样品表面的损伤，同时减小了微孔入口处锥度，改善了微孔入口形貌，提高了微孔深径比。
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