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公开(公告)号：CN113333966B
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202110520515.4
申请日：2021-05-13
Applicant: 西安交通大学
IPC: B23K26/38 , B23K26/402 , B23K26/70
Abstract: 本发明提出一种基于飞秒激光光丝效应的薄石英玻璃切割方法，该方法适用于厚度≤200μm的薄石英玻璃切割；采用高重频飞秒激光器结合高速高精度扫描振镜作为加工平台，通过改变激光参数来调控飞秒光丝长度、光丝能量分布、脉冲重叠率、脉冲能量沉积及光丝在石英玻璃内部的相对位置，进而实现石英玻璃高质高效切割；本发明能够对厚度≤200μm石英玻璃材料实现单次扫描直接切割，无需后处理过程，切割断面粗糙度小于1.5μm，切割边缘崩边小于12.5μm，加工速度达到10mm/s；该方法操作简单，光路调试方便，实现了薄石英玻璃切割加工效率和加工质量的同步提升。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113333965B
公开(公告)日：2022-10-28
申请号：CN202110520508.4
申请日：2021-05-13
Applicant: 西安交通大学
IPC: B23K26/38 , B23K26/402 , B23K26/0622 , B23K26/70
Abstract: 一种基于贝塞尔光束的石英玻璃隐形切割方法，通过对皮秒高斯激光进行空间整形获得贝塞尔光束，通过高重频皮秒激光器内置的同步输出功能调整脉冲打孔间距、高重频皮秒激光器的脉冲串模式调节子脉冲个数，三维工作台调整贝塞尔光束在石英玻璃片样品内部的聚焦位置，皮秒激光贝塞尔光束在石英玻璃片样品表面切割路径形成微孔阵列，然后通过施加外应力实现石英玻璃片样品高质高效隐形切割；本发明能够对500μm厚石英玻璃材料实现单次扫描高质量隐形切割，切割断面粗糙度小于0.8μm，几乎无崩边；操作简单，实现了石英玻璃因隐形切割加工效率和加工质量的同步提升。
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公开(公告)号：CN113333965A
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN202110520508.4
申请日：2021-05-13
Applicant: 西安交通大学
IPC: B23K26/38 , B23K26/402 , B23K26/0622 , B23K26/70
Abstract: 一种基于贝塞尔光束的石英玻璃隐形切割方法，通过对皮秒高斯激光进行空间整形获得贝塞尔光束，通过高重频皮秒激光器内置的同步输出功能调整脉冲打孔间距、高重频皮秒激光器的脉冲串模式调节子脉冲个数，三维工作台调整贝塞尔光束在石英玻璃片样品内部的聚焦位置，皮秒激光贝塞尔光束在石英玻璃片样品表面切割路径形成微孔阵列，然后通过施加外应力实现石英玻璃片样品高质高效隐形切割；本发明能够对500μm厚石英玻璃材料实现单次扫描高质量隐形切割，切割断面粗糙度小于0.8μm，几乎无崩边；操作简单，实现了石英玻璃因隐形切割加工效率和加工质量的同步提升。
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公开(公告)号：CN112372162A
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN202011201443.9
申请日：2020-11-02
Applicant: 西安交通大学
IPC: B23K26/382 , B23K26/60
Abstract: 一种利用飞秒激光光丝效应制备石英玻璃毫米级深微孔的方法，先将石英玻璃样品清洗干净，然后搭建光路，光路包括飞秒激光器输出截面圆形光束经过反射镜、分光棱镜、快门，最后通过大焦距平凸透镜对圆形光斑激光束进行聚焦，得到飞秒激光光丝垂直照射在移动载物台的加工工位上，飞秒激光器、快门、移动载物台和电脑连接，利用电脑调节飞秒激光器输出不同的激光参数来控制飞秒激光光丝长度以及作用时间；将石英玻璃样品固定在移动载物台加工工位上，经飞秒激光照射，利用电脑控制移动载物沿竖直方向移动来改变离焦量从而改变光丝在材料内所处位置，最终得到深微孔；本发明操作简单，加工效率高，无需复杂后处理过程。
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公开(公告)号：CN113333966A
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN202110520515.4
申请日：2021-05-13
Applicant: 西安交通大学
IPC: B23K26/38 , B23K26/402 , B23K26/70
Abstract: 本发明提出一种基于飞秒激光光丝效应的薄石英玻璃切割方法，该方法适用于厚度≤200μm的薄石英玻璃切割；采用高重频飞秒激光器结合高速高精度扫描振镜作为加工平台，通过改变激光参数来调控飞秒光丝长度、光丝能量分布、脉冲重叠率、脉冲能量沉积及光丝在石英玻璃内部的相对位置，进而实现石英玻璃高质高效切割；本发明能够对厚度≤200μm石英玻璃材料实现单次扫描直接切割，无需后处理过程，切割断面粗糙度小于1.5μm，切割边缘崩边小于12.5μm，加工速度达到10mm/s；该方法操作简单，光路调试方便，实现了薄石英玻璃切割加工效率和加工质量的同步提升。
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公开(公告)号：CN112372162B
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN202011201443.9
申请日：2020-11-02
Applicant: 西安交通大学
IPC: B23K26/382 , B23K26/60
Abstract: 一种利用飞秒激光光丝效应制备石英玻璃毫米级深微孔的方法，先将石英玻璃样品清洗干净，然后搭建光路，光路包括飞秒激光器输出截面圆形光束经过反射镜、分光棱镜、快门，最后通过大焦距平凸透镜对圆形光斑激光束进行聚焦，得到飞秒激光光丝垂直照射在移动载物台的加工工位上，飞秒激光器、快门、移动载物台和电脑连接，利用电脑调节飞秒激光器输出不同的激光参数来控制飞秒激光光丝长度以及作用时间；将石英玻璃样品固定在移动载物台加工工位上，经飞秒激光照射，利用电脑控制移动载物沿竖直方向移动来改变离焦量从而改变光丝在材料内所处位置，最终得到深微孔；本发明操作简单，加工效率高，无需复杂后处理过程。
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