Patent search ap:("西安交通大学") AND inv:"卜嘉玮" Page 1

1.

发明公开
一种耐烧蚀难熔金属钽及其氮化物多层涂层的制备方法审中-实审

公开(公告)号：CN118422145A

公开(公告)日：2024-08-02

申请号：CN202410530411.5

申请日：2024-04-29

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 朱晓东 , 卜嘉玮 , 王大伟 , 宋忠孝 , 孙军

IPC: C23C14/35 , C23C14/16 , C23C14/06 , C23C14/54 , C23C14/02

Abstract: 本发明属于涂层制备技术领域，具体涉及一种耐烧蚀难熔金属钽及其氮化物多层涂层的制备方法，包括以下步骤：采用磁控溅射工艺在难熔金属基底表面交替沉积Ta层和TaN层，形成Ta/TaN多层结构涂层，能够降低氮化物涂层内应力，提高涂层与金属基底之间的结合强度，阻断涂层柱状晶生长，使涂层组织致密化，能有效为基金属基底提供良好的防护，降低涂层的剥离难度，有助于提高难熔金属工件的耐磨性和抗高温氧化性。

Patent Agency Ranking