公开(公告)号：CN102517539A

公开(公告)日：2012-06-27

申请号：CN201210006746.4

申请日：2012-01-09

Applicant: 西南大学

Inventor： 聂朝胤 ,  张碧云 ,  谢红梅 ,  贾晓芳 ,  刘晓魁 ,  林华

IPC: C23C4/18 ,  C23C14/58

Abstract: 本发明公开了一种提高硬质涂层(薄膜)与基体界面结合强度的方法，该方法将硬质涂层/基体复合体系于-50℃～-273℃的低温或超低温下处理5～48小时实现。硬质涂层包括TiN、CrN、TiAlN、TiSiN、CrAlTiN、BN等氮化物涂层、金刚石、类金刚石等C涂层及TiC、WC等碳化物涂层。应用本发明方法，可使涂层/基体界面结合强度提高10%~50%，还可避免采用传统的高温退火方法时，基体或涂层本身性能的劣化；同时，低温或超低温处理成本低，适用的涂层/基体复合体系种类广泛。

公开(公告)号：CN101323945A

公开(公告)日：2008-12-17

申请号：CN200810070037.6

申请日：2008-07-25

Applicant: 西南大学

Inventor： 聂朝胤 ,  田鹏 ,  曲燕青 ,  张碧云

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/24 ,  C23C8/24

Abstract: 含应力缓和层的硬质薄膜及其制备方法，通过在金属氮化物薄膜中，每隔一定间隔加入一定厚度的同样金属层构成的多层结构来降低薄膜的内部应力，防止薄膜从基体脱落。该多层膜是由沉积氮化物和沉积金属层两个过程重复交替进行而成。本发明可以解决传统硬质涂层当其厚度超过10um厚时，由于内部应力过高，而容易从金属基体表面脱落的问题。