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公开(公告)号:CN101541111B
公开(公告)日:2010-10-13
申请号:CN200910043180.0
申请日:2009-04-22
Applicant: 蒋建纯
Abstract: 四氯化硅氢化炉U形发热体及其制造工艺,本发明之四氯化硅氢化炉U形发热体由坯体、基体和表面碳化硅涂层构成,所述坯体由二维碳纤维织物叠层或准三维针刺碳纤维毡体构成,重量不低于产品总重量的50%;所述基体由浸渍碳和化学气相沉积碳组成,其中化学气相沉积碳的含量不大于坯体和基体总重量的30%;发热体材料密度≥1.3g/cm3;表面碳化硅涂层厚度为10-100μm。本发明之四氯化硅氢化炉U形发热体耐腐蚀和冲蚀性能好,使用寿命长,可靠性高。
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公开(公告)号:CN101541111A
公开(公告)日:2009-09-23
申请号:CN200910043180.0
申请日:2009-04-22
Applicant: 蒋建纯
Abstract: 四氯化硅氢化炉U形发热体及其制造工艺,本发明之四氯化硅氢化炉U形发热体由坯体、基体和表面碳化硅涂层构成,所述坯体由二维碳纤维织物叠层或准三维针刺碳纤维毡体构成,重量不低于产品总重量的50%;所述基体由浸渍碳和化学气相沉积碳组成,其中化学气相沉积碳的含量不大于坯体和基体总重量的30%;发热体材料密度≥1.3g/cm3;表面碳化硅涂层厚度为10-100μm。本发明之四氯化硅氢化炉U形发热体耐腐蚀和冲蚀性能好,使用寿命长,可靠性高。
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