公开(公告)号：CN116761680A

公开(公告)日：2023-09-15

申请号：CN202180076992.4

申请日：2021-10-22

Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织TNO

Inventor： 罗伯·雅各布·亨德里克斯 ,  罗宾·贝尔纳杜斯·约翰内斯·科德维 ,  穆德·塔赫米德·侯赛因

IPC: B05D1/26

Abstract: 本申请涉及一种用于将特别是高黏度糊的可印刷介质(2)填充在工件(900)的表面中的沟槽(901)中的沉积系统(1)、方法和该系统的用途。该系统包含至少一个沉积头(100)，该沉积头包括延伸至第一孔(121)的至少一个第一沉积腔室(111)。该孔在至少两个闸门组件(201，202)之间可逆地关闭。在某些实施例中该系统是各自具有可逆可关闭孔的双腔室系统。该系统配置成维持在该工件与该闸门组件的末端之间的齐平，以便在施加工作压力时填充该沟槽。

公开(公告)号：CN115700015A

公开(公告)日：2023-02-03

申请号：CN202180041547.4

申请日：2021-05-12

Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织TNO

Inventor： 罗伯·雅各布·亨德里克斯 ,  法比恩·伯纳德·夏克·布鲁宁

IPC: H05K3/12 ,  H05K3/04

Abstract: 本公开提供了一种将粘性功能材料转移到接收衬底上的转移方法。该方法提供板(10)，该板具有包括空腔(12)的空腔表面(11)。此外，该方法提供多个单独可寻址的电阻加热元件(131，132，133)，这些电阻加热元件与空腔(12)的相应区域(121，122，123)热接触，该方法在空腔中提供粘性功能材料(50)，该粘性功能材料具有当被充分加热时在空腔中的空腔表面和功能材料之间的界面处产生气体的材料组合物，以通过气体产生将功能材料从空腔中转移到接收衬底上。根据该改进的转移方法，空腔的相应区域中的粘性功能材料的相应部分是通过向多个单独可寻址的加热元件中的各个加热元件提供具有相应的时间依赖性大小的电功率(C131，C132，C133)来加热的。

公开(公告)号：CN116490965A

公开(公告)日：2023-07-25

申请号：CN202180073175.3

申请日：2021-10-05

Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织TNO

Inventor： 罗伯·雅各布·亨德里克斯

IPC: H01L21/67

Abstract: 本公开提供了一种用于对设置有热敏感材料(43)的基板(40)的目标表面(41)进行受控制局部加热以改变所述材料的状态的设备。设备包括具有载体表面(36)的载体(3)，该载体表面用于在与目标表面相对的承载表面(42)处承载基板(40)。载体具有通过与排空通道(37)连通的狭缝彼此隔热的多个侧向分布的加热区(30，30a，30b，…，30n)，相应的加热区包括相应的电阻加热元件(32，32a，32b，…，32n)，并且热耦接至散热器(2)。设备进一步包括控制器，该控制器用于控制电能至相应的电阻加热元件中的至少一个的选择性供应，相应的电阻加热元件包括在多个侧向分布的加热区中的至少一个中。

公开(公告)号：CN115517025A

公开(公告)日：2022-12-23

申请号：CN202180033560.5

申请日：2021-04-01

Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织TNO

Inventor： 罗伯·雅各布·亨德里克斯

IPC: H05K3/04 ,  H05K3/14

Abstract: 本文提供了一种将施主材料(2)沉积到目标表面(51)上的方法，其中，用能够伸缩的层(4)覆盖基板(10)的第一主面(11)，该能够伸缩的层(4)是利用围绕该第一主面上的围合区域(13)的密封件(43)而附接到第一主面上的，由此限定了围合体(6)。该能够伸缩的层(4)具有背离该基板并且图案化有一个或多个凹陷区域(42a，……，42e)的外表面(41)，其中，该一个或多个凹陷区域填充有待沉积的施主材料(2)。在该围合体(6)的内部(61)中提供相对高的压力，使得它的体积(V61)增大，并且将该能够伸缩的层(4)的图案化表面(41)压向该目标表面(51)。在该能够伸缩的层(4)的那个状态下，在与该基板的第一主面(11)相对的第二主面(12)处，利用光子辐射照射该基板，该光子辐射具有使施主材料(2)从该一个或多个凹陷区域(42a，……，42e)转移到该目标表面(51)的强度和持续时间。还提供了板(1)和沉积装置(100)。

公开(公告)号：CN117715856A

公开(公告)日：2024-03-15

申请号：CN202280052986.X

申请日：2022-06-22

Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织TNO

Inventor： 罗伯·雅各布·亨德里克斯 ,  H·H·马尔德林克 ,  法比恩·伯纳德·夏克·布鲁宁

IPC: B81C1/00

Abstract: 一种制造分层3D产品的方法，该方法包括提供(S2)承载树脂层(6)的辐射透明膜(5)，该树脂层在膜一侧的第一子层(61)的至少第一侧向区域(51)中至少基本固化，并且在其第二子层(62)中至少基本未固化，第二子层在树脂层的背离辐射透明膜的一侧具有自由表面(622)。膜与目标物层压(S3)，其中树脂层面对目标物。树脂层在至少第三侧向区域(53)中被完全固化(S4)。随后，膜从目标物上脱层(S5)。由此，树脂层的存在于至少第三侧向区域中的完全固化材料保留在目标物上，并且膜和膜上的树脂材料的残留物从目标物上移除。

公开(公告)号：CN117136429A

公开(公告)日：2023-11-28

申请号：CN202280028278.2

申请日：2022-03-01

Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织TNO

Inventor： 罗伯·雅各布·亨德里克斯

IPC: H01L21/683

Abstract: 一种用于将多个组件(15)从供体衬底(10)光诱导转移到受体衬底(20)的方法和系统。供体衬底(10)包括透明载体(11)和释放叠层(S)，透明载体(11)被配置为承载面向受体衬底(20)的多个组件(15)。释放叠层(S)包括吸光层(12)、熔化层(13)和粘合层(14)。吸光层(12)具有相对较高的吸收系数，用于吸收光束(L)以产生传导到熔化层(13)的热量。吸光层(12)具有相对较高的熔化温度(Tm12)，使得吸光层(12)能够保持固态，而熔化层(13)被熔化。当熔化层(13)是固态时，粘合层(14)将多个组件(15)粘合到熔化层(13)上，并且当熔化层(13)熔化(M)时释放粘合。

公开(公告)号：CN116941332A

公开(公告)日：2023-10-24

申请号：CN202280017200.0

申请日：2022-01-31

Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织TNO

Inventor： 罗伯·雅各布·亨德里克斯

IPC: H05K3/12

Abstract: 本文中公开了一种用于将沉积物质(2)沉积在靶材(30)上的供体板(1)。供体板包括柔性衬底(10)，该柔性衬底在第一主表面(101)处相继具有电极层(11)、第一电绝缘层(12)、电阻加热器层(13)、第二电绝缘层(14)和图案化层(15)，该图案化层设置有一个或多个凹部(155)，该一个或多个凹部用于保持待沉积在靶材上的沉积物质(2)。电极层(11)包括形状互补且彼此电绝缘的第一电极和第二电极(111、112)。电阻加热器层(13)经由第一电绝缘层中的至少一个相应的狭缝(121、122)电连接到第一电极(111)的接触表面和第二电极(112)的接触表面中的每一个接触表面。

公开(公告)号：CN115700013A

公开(公告)日：2023-02-03

申请号：CN202180039380.8

申请日：2021-04-23

Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织TNO

Inventor： 罗伯·雅各布·亨德里克斯

IPC: H05K1/09 ,  H05K3/12 ,  H05K3/20

Abstract: 提出了一种将高粘度功能材料，例如导电浆料，转移到接收基板(20)上的方法，该方法包括以下步骤：提供具有包括至少一个腔体的腔体表面的板；给腔体提供电阻加热装置和连接到加热装置的控制电路；在至少一个腔体中提供功能材料，该功能材料具有一种材料组分，当被加热装置加热时，该组分在腔体中的腔体表面和功能材料之间的交界处产生气体，以通过气体的产生将功能材料从至少一个腔体转移到接收基板上。