公开(公告)号：CN102791440B

公开(公告)日：2015-07-29

申请号：CN201180012753.9

申请日：2011-01-06

Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织TNO

Inventor： 欧文·约翰·凡·斯维特 ,  利昂·凡·道仁 ,  阿德里亚努斯·约翰尼斯·皮德勒斯·玛利亚·弗米尔 ,  基斯·墨德麦尔

IPC: B25J9/16 ,  G05B19/401 ,  H01L21/68 ,  H05K13/04

CPC classification number: B25J9/1697 ,  G05B19/401 ,  G05B2219/40609 ,  G05B2219/45029 ,  H01L21/681 ,  Y10T29/53087 ,  Y10T29/53091 ,  Y10T29/53174 ,  Y10T29/53178

Abstract: 根据本发明的一个方面，提供了一种被布置在为芯片制造过程中拾起和放置芯片裸片2的芯片裸片2操纵器装置，其中成像系统11包括：弧形凸球面镜13，被布置在第二离轴位置B并相对于中心位置5定心；折叠式反射镜4，被布置在凸球面镜13和中心位置5之间的光路中，用于将光路折叠至第三离轴位置C；以及弧形凹球面镜15，被布置在第三离轴位置C并具有将中心位置5和元件2中至少一个成像在图像检测系统9上的曲率。成像系统11对中心位置5的成角度的图像检测进行校正。

公开(公告)号：CN102791440A

公开(公告)日：2012-11-21

申请号：CN201180012753.9

申请日：2011-01-06

Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织TNO

Inventor： 欧文·约翰·凡·斯维特 ,  利昂·凡·道仁 ,  阿德里亚努斯·约翰尼斯·皮德勒斯·玛利亚·弗米尔 ,  基斯·墨德麦尔

IPC: B25J9/16 ,  G05B19/401 ,  H01L21/68 ,  H05K13/04

CPC classification number: B25J9/1697 ,  G05B19/401 ,  G05B2219/40609 ,  G05B2219/45029 ,  H01L21/681 ,  Y10T29/53087 ,  Y10T29/53091 ,  Y10T29/53174 ,  Y10T29/53178

Abstract: 根据本发明的一个方面，提供了一种被布置在为芯片制造过程中拾起和放置芯片裸片2的芯片裸片2操纵器装置，其中成像系统11包括：弧形凸球面镜13，被布置在第二离轴位置B并相对于中心位置5定心；折叠式反射镜4，被布置在凸球面镜13和中心位置5之间的光路中，用于将光路折叠至第三离轴位置C；以及弧形凹球面镜15，被布置在第三离轴位置C并具有将中心位置5和元件2中至少一个成像在图像检测系统9上的曲率。成像系统11对中心位置5的成角度的图像检测进行校正。