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公开(公告)号：CN107677016A
公开(公告)日：2018-02-09
申请号：CN201710556492.6
申请日：2017-07-10
Applicant: 荏原冷热系统株式会社
IPC: F25B41/00
CPC classification number: F25B41/00 , F25B2400/13
Abstract: 本发明提供的经济器，具有较高的气液分离性能并且能够通过大幅度地减少气液分离所需的空间而实现外形尺寸的小型化。该经济器具备：容器；挡板，其在容器内配置于与制冷剂入口对置的位置，供从制冷剂入口流入到容器内的气液二相状态的制冷剂碰撞来进行气液分离；除雾器，其在容器内配置于与气体制冷剂出口对置的位置，将气液分离后的气体制冷剂所包含的液滴去除，挡板由在制冷剂入口与除雾器之间的位置沿铅直方向延伸并将制冷剂入口侧与除雾器侧分隔的分隔板构成，在该分隔板的下端与容器的底部之间设置有第一开口，用于将气液分离后的气体制冷剂与液体制冷剂向除雾器下方的空间引导。
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公开(公告)号：CN107677016B
公开(公告)日：2021-07-09
申请号：CN201710556492.6
申请日：2017-07-10
Applicant: 荏原冷热系统株式会社
IPC: F25B41/40
Abstract: 本发明提供的经济器，具有较高的气液分离性能并且能够通过大幅度地减少气液分离所需的空间而实现外形尺寸的小型化。该经济器具备：容器；挡板，其在容器内配置于与制冷剂入口对置的位置，供从制冷剂入口流入到容器内的气液二相状态的制冷剂碰撞来进行气液分离；除雾器，其在容器内配置于与气体制冷剂出口对置的位置，将气液分离后的气体制冷剂所包含的液滴去除，挡板由在制冷剂入口与除雾器之间的位置沿铅直方向延伸并将制冷剂入口侧与除雾器侧分隔的分隔板构成，在该分隔板的下端与容器的底部之间设置有第一开口，用于将气液分离后的气体制冷剂与液体制冷剂向除雾器下方的空间引导。
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公开(公告)号：CN109237829A
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201810637423.2
申请日：2018-06-20
Applicant: 荏原冷热系统株式会社
Inventor： 小博基司
CPC classification number: F25B1/053 , F25B31/004 , F25B41/04 , F25B43/006 , F25B43/02 , F25B49/02 , F25B2400/13 , F25B2400/23
Abstract: 本发明提供的压缩式制冷机具备：气液分离容器(30)，其从蒸发器(3)回收制冷剂并气液分离为制冷剂气体、和含有润滑油的制冷剂液；液体制冷剂回收配管(P1)，其将蒸发器(3)的液体流出部(L1)与气液分离容器(30)的液体流入部连接；排出配管(31)，其从气液分离容器(30)将含有润滑油的制冷剂液排出至排出器(20)；液面检测传感器(32)，其检测气液分离容器(30)内的液面高度；排出阀(Vd)，其设置于排出配管(31)，并根据气液分离容器(30)内的液面高度进行开闭；气相部连接配管(33)，其将气液分离容器(30)的气相部与蒸发器(3)的气相部连接。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115394683A
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202210554340.3
申请日：2022-05-19
Applicant: 株式会社荏原制作所 , 荏原冷热系统株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够促进辅助区内的设备之间的热利用的协作并且消除设备导入时的配管连接的繁琐性的辅助区设置装置。辅助区设置装置(5)具备：真空泵(6)，其用于从处理腔室(2)排出处理气体；冷却单元(7)，其用于对在处理腔室(2)中使用了的第1循环液进行冷却；加热单元(8)，其用于对在处理腔室(2)中使用了的第2循环液进行加热；和冷却液管线(12)，其供从冷却源(15)供给的冷却液流动。冷却液管线(12)具有将冷却液分别向真空泵(6)及冷却单元(7)供给的分配管线(21)、和将从真空泵(6)及冷却单元(7)通过了的冷却液合流并使其向冷却源(15)返回的合流返回管线(22)。
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公开(公告)号：CN115388603A
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202210553685.7
申请日：2022-05-19
Applicant: 株式会社荏原制作所 , 荏原冷热系统株式会社
Abstract: 本发明提供能够减少在制造半导体时使用的电能消耗的辅助区设置装置。辅助区设置装置具备：真空泵(6)，其用于从半导体制造装置的处理腔室(2)对处理气体进行排气；冷却单元(7)，其用于冷却在处理腔室(2)中使用后的第1循环液；加热单元(8)，其用于加热在处理腔室(2)中使用后的第2循环液；除害装置(10)，其用于对从真空泵(6)排出的处理气体进行除害；以及冷却液管线(12)，其供从冷却源(15)供给的冷却液流动。冷却液管线(12)具有将通过除害装置(10)、真空泵(6)及冷却单元(7)后的冷却液向加热单元(8)供给的第1下游侧管线(26)、第2下游侧管线(27)及第3下游侧管线(28)。
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公开(公告)号：CN115342584A
公开(公告)日：2022-11-15
申请号：CN202210497796.0
申请日：2022-05-09
Applicant: 株式会社荏原制作所 , 荏原冷热系统株式会社
Abstract: 提供一种多元制冷循环装置，能够减小设置在辅助间内的设备的设置面积，并且能够缩短用于向半导体器件制造装置移送冷却介质的配管。多元制冷循环装置(2)具备：供第1制冷剂循环的第1制冷循环(5)，该第1制冷剂与用于冷却半导体器件制造装置(1)的冷却介质进行热交换；和供第2制冷剂循环的第2制冷循环(6)，该第2制冷剂与第1制冷剂进行热交换，第1制冷循环(5)的至少一部分配置在设置有半导体器件制造装置(1)的无尘室内，第2制冷循环(6)配置在辅助间内。
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公开(公告)号：CN207299634U
公开(公告)日：2018-05-01
申请号：CN201720830741.1
申请日：2017-07-10
Applicant: 荏原冷热系统株式会社
IPC: F25B41/00
Abstract: 本实用新型提供经济器以及离心式制冷机，该经济器具有较高的气液分离性能并且能够通过大幅度地减少气液分离所需的空间而实现外形尺寸的小型化。该经济器具备：容器；挡板，其在容器内配置于与制冷剂入口对置的位置，供从制冷剂入口流入到容器内的气液二相状态的制冷剂碰撞来进行气液分离；除雾器，其在容器内配置于与气体制冷剂出口对置的位置，将气液分离后的气体制冷剂所包含的液滴去除，挡板由在制冷剂入口与除雾器之间的位置沿铅直方向延伸并将制冷剂入口侧与除雾器侧分隔的分隔板构成，在该分隔板的下端与容器的底部之间设置有第一开口，用于将气液分离后的气体制冷剂与液体制冷剂向除雾器下方的空间引导。
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公开(公告)号：CN208579537U
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201820954299.8
申请日：2018-06-20
Applicant: 荏原冷热系统株式会社
Inventor： 小博基司
Abstract: 本实用新型提供的压缩式制冷机具备：气液分离容器(30)，其从蒸发器(3)回收制冷剂并气液分离为制冷剂气体、和含有润滑油的制冷剂液；液体制冷剂回收配管(P1)，其将蒸发器(3)的液体流出部(L1)与气液分离容器(30)的液体流入部连接；排出配管(31)，其从气液分离容器(30)将含有润滑油的制冷剂液排出至排出器(20)；液面检测传感器(32)，其检测气液分离容器(30)内的液面高度；排出阀(Vd)，其设置于排出配管(31)，并根据气液分离容器(30)内的液面高度进行开闭；气相部连接配管(33)，其将气液分离容器(30)的气相部与蒸发器(3)的气相部连接。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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