公开(公告)号：CN110927067A

公开(公告)日：2020-03-27

申请号：CN201911295917.8

申请日：2016-03-25

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司 ,  弗劳恩霍弗实用研究促进协会

Inventor： A.德赫 ,  J.胡贝尔 ,  F.约斯特 ,  S.科尔布 ,  H.托伊斯 ,  W.魏德迈尔 ,  J.韦伦施泰因

IPC: G01N21/17

Abstract: 本发明示出了一种气体传感器5，其具有传感器元件10、测量室15和发射体元件20。传感器元件10具有MEMS隔膜25，所述MEMS隔膜25布置在第一衬底区域40中。测量室15还被构造用于容纳测量气体50。

公开(公告)号：CN106153548B

公开(公告)日：2020-01-10

申请号：CN201610174975.5

申请日：2016-03-25

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司 ,  弗劳恩霍弗实用研究促进协会

Inventor： A.德赫 ,  J.胡贝尔 ,  F.约斯特 ,  S.科尔布 ,  H.托伊斯 ,  W.魏德迈尔 ,  J.韦伦施泰因

IPC: G01N21/17

Abstract: 本发明示出了一种气体传感器5，其具有传感器元件10、测量室15和发射体元件20。传感器元件10具有MEMS隔膜25，所述MEMS隔膜25布置在第一衬底区域40中。测量室15还被构造用于容纳测量气体50。

公开(公告)号：CN110927067B

公开(公告)日：2024-12-20

申请号：CN201911295917.8

申请日：2016-03-25

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司 ,  弗劳恩霍弗实用研究促进协会

Inventor： A.德赫 ,  J.胡贝尔 ,  F.约斯特 ,  S.科尔布 ,  H.托伊斯 ,  W.魏德迈尔 ,  J.韦伦施泰因

IPC: G01N21/17

Abstract: 本发明示出了一种气体传感器5，其具有传感器元件10、测量室15和发射体元件20。传感器元件10具有MEMS隔膜25，所述MEMS隔膜25布置在第一衬底区域40中。测量室15还被构造用于容纳测量气体50。

公开(公告)号：CN106153548A

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：CN201610174975.5

申请日：2016-03-25

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司 ,  弗劳恩霍弗实用研究促进协会

Inventor： A.德赫 ,  J.胡贝尔 ,  F.约斯特 ,  S.科尔布 ,  H.托伊斯 ,  W.魏德迈尔 ,  J.韦伦施泰因

IPC: G01N21/17

Abstract: 本发明示出了一种气体传感器5，其具有传感器元件10、测量室15和发射体元件20。传感器元件10具有MEMS隔膜25，所述MEMS隔膜25布置在第一衬底区域40中。测量室15还被构造用于容纳测量气体50。

公开(公告)号：CN106961651B

公开(公告)日：2020-10-02

申请号：CN201710015528.X

申请日：2017-01-10

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： A.德赫 ,  C.格拉策 ,  D.图姆波尔德

IPC: H04R19/04

Abstract: 根据一个实施例，一种微机电系统MEMS换能器包括：附接到支撑结构的可偏转膜，被配置成促使可偏转膜在第一模式中是透声的并且在第二模式中是声可见的声阀结构，以及耦合到可偏转膜的致动机构。其他实施例包括对应的系统和装置，每一个都被配置成执行各种实施例方法。

公开(公告)号：CN107128868B

公开(公告)日：2019-10-22

申请号：CN201710109007.0

申请日：2017-02-27

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： A.德赫

IPC: B81B3/00 ,  B81B7/00 ,  B81C1/00

Abstract: 微机电系统和用于制造微机电系统的方法，该微机电系统包括：衬底；微机电器件，该微机电器件包括膜片和被耦合到该膜片的电极，该膜片被配置为换能器，以在电能与机械能之间进行转换；支承区，该支承区以机械方式将该微机电器件耦合到该衬底，其中该支承区被局限于第一连续区，该第一连续区跨越围绕该膜片的周长的小于90度的弧；和第二连续区，该第二连续区没有将该微机电器件机械支承到该衬底，该第二连续区从该支承区的一个端部到该支承区的另一端部地跨越该膜片的周长；其中该支承区利用悬臂支撑该微机电器件，并且该第二连续区以机械方式使该微机电器件与该衬底去耦合。

公开(公告)号：CN105692543B

公开(公告)日：2018-07-10

申请号：CN201610246028.2

申请日：2014-01-24

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： A.德赫

IPC: B81B7/02 ,  B81C1/00

CPC classification number: B81C1/00269 ,  B81B3/001 ,  B81B3/007 ,  B81B2201/0257 ,  B81B2201/0264 ,  B81C1/00166 ,  B81C1/00658 ,  H04R19/005

Abstract: 本发明涉及MEMS器件和制造MEMS器件的方法。公开了具有刚性背板的MEMS器件和制作具有刚性背板的MEMS器件的方法。在一个实施例中，器件包括衬底和由衬底支撑的背板。背板包括细长的突起。

公开(公告)号：CN107176584A

公开(公告)日：2017-09-19

申请号：CN201710141204.0

申请日：2017-03-10

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： A.德赫 ,  G.梅茨格-布吕克尔 ,  J.施特拉泽 ,  A.瓦尔特

IPC: B81B3/00 ,  H04R19/04

Abstract: MEMS器件和MEMS真空扩音器。根据实施例，MEMS器件包括第一膜元件；与第一膜元件间隔开的第二膜元件；在第一和第二膜元件之间的低压区域，所述低压区域具有小于环境压强的压强；以及包括导电层的反电极结构，所述导电层被至少部分地布置在低压区域中或在低压区域中延伸。导电层包括在导电层的第一部分和导电层的第二部分之间提供电隔离的分段。

公开(公告)号：CN107128868A

公开(公告)日：2017-09-05

申请号：CN201710109007.0

申请日：2017-02-27

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： A.德赫

IPC: B81B3/00 ,  B81B7/00 ,  B81C1/00

Abstract: 微机电系统和用于制造微机电系统的方法，该微机电系统包括：衬底；微机电器件，该微机电器件包括膜片和被耦合到该膜片的电极，该膜片被配置为换能器，以在电能与机械能之间进行转换；支承区，该支承区以机械方式将该微机电器件耦合到该衬底，其中该支承区被局限于第一连续区，该第一连续区跨越围绕该膜片的周长的小于90度的弧；和第二连续区，该第二连续区没有将该微机电器件机械支承到该衬底，该第二连续区从该支承区的一个端部到该支承区的另一端部地跨越该膜片的周长；其中该支承区利用悬臂支撑该微机电器件，并且该第二连续区以机械方式使该微机电器件与该衬底去耦合。

公开(公告)号：CN106961651A

公开(公告)日：2017-07-18

申请号：CN201710015528.X

申请日：2017-01-10

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： A.德赫 ,  C.格拉策 ,  D.图姆波尔德

IPC: H04R19/04

CPC classification number: H02N1/006 ,  H01L41/081 ,  H01L41/0973 ,  H04R7/06 ,  H04R17/00 ,  H04R17/02 ,  H04R19/005 ,  H04R2201/003 ,  H04R19/04

Abstract: 根据一个实施例，一种微机电系统MEMS换能器包括：附接到支撑结构的可偏转膜，被配置成促使可偏转膜在第一模式中是透声的并且在第二模式中是声可见的声阀结构，以及耦合到可偏转膜的致动机构。其他实施例包括对应的系统和装置，每一个都被配置成执行各种实施例方法。