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公开(公告)号：CN105092069A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201510261097.6
申请日：2015-05-20
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: G01K5/48
Abstract: 提出了一种用于电容式温度计的系统和方法。本文所公开的各种实施例包括含有可偏转膜和传感电极的电容式温度计。该电容式温度计被皮遏制为基于可偏转膜的温度调节电容值。
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公开(公告)号：CN105092069B
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201510261097.6
申请日：2015-05-20
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: G01K5/48
Abstract: 提出了一种用于电容式温度计的系统和方法。本文所公开的各种实施例包括含有可偏转膜和传感电极的电容式温度计。该电容式温度计被配置为基于可偏转膜的温度调节电容值。
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公开(公告)号：CN105314590B
公开(公告)日：2017-06-16
申请号：CN201510455584.6
申请日：2015-07-29
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
CPC classification number: B81B3/0021 , B06B1/02 , B81B3/007 , B81B2201/0257 , B81B2201/0264 , B81B2203/0109 , B81B2203/0118 , B81B2203/0127 , B81B2203/051 , B81C1/00142 , B81C1/0015 , B81C1/00158 , B81C1/00373 , B81C2201/0176 , B81C2201/0181 , B81C2201/019 , H04R7/02 , H04R7/24 , H04R19/005 , H04R19/02 , H04R19/04 , H04R31/00 , H04R31/003 , H04R2201/003 , H04R2307/023 , H04R2400/01 , H04R2499/11
Abstract: 一种微机械结构，其包括衬底和布置在衬底处的功能性结构。功能性结构包括功能性区域，功能性区域配置为响应于作用在功能性区域上的力而相对于衬底偏转。功能性结构包括传导性基础层并且功能性结构包括具有布置在传导性基础层处并且仅在功能性区域处部分地覆盖传导性基础层的固化结构材料的固化结构。固化结构材料包括硅材料以及至少碳材料。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105314587B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201510463020.7
申请日：2015-07-31
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
CPC classification number: B81C1/00658 , B81B2201/0257 , B81B2203/0127 , H04R19/005 , H04R31/00 , H04R2307/023
Abstract: 一种微机械结构包括衬底和被布置在该衬底处的功能结构。该功能结构包括功能区，该功能区响应于作用在该功能区上的力相对于衬底可偏离。该功能结构还包括导电基层，该导电基层包括导电基层材料。该导电基层材料在硬化部分中分段地包括碳材料，从而碳材料在该导电基层材料中的碳浓度是至少1014/cm3，并且至少为邻近硬化部分的导电基层材料中的碳浓度的103倍。
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公开(公告)号：CN105314590A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201510455584.6
申请日：2015-07-29
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
CPC classification number: B81B3/0021 , B06B1/02 , B81B3/007 , B81B2201/0257 , B81B2201/0264 , B81B2203/0109 , B81B2203/0118 , B81B2203/0127 , B81B2203/051 , B81C1/00142 , B81C1/0015 , B81C1/00158 , B81C1/00373 , B81C2201/0176 , B81C2201/0181 , B81C2201/019 , H04R7/02 , H04R7/24 , H04R19/005 , H04R19/02 , H04R19/04 , H04R31/00 , H04R31/003 , H04R2201/003 , H04R2307/023 , H04R2400/01 , H04R2499/11
Abstract: 一种微机械结构，其包括衬底和布置在衬底处的功能性结构。功能性结构包括功能性区域，功能性区域配置为响应于作用在功能性区域上的力而相对于衬底偏转。功能性结构包括传导性基础层并且功能性结构包括具有布置在传导性基础层处并且仅在功能性区域处部分地覆盖传导性基础层的固化结构材料的固化结构。固化结构材料包括硅材料以及至少碳材料。
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公开(公告)号：CN105314587A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201510463020.7
申请日：2015-07-31
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
CPC classification number: B81C1/00658 , B81B2201/0257 , B81B2203/0127 , H04R19/005 , H04R31/00 , H04R2307/023
Abstract: 一种微机械结构包括衬底和被布置在该衬底处的功能结构。该功能结构包括功能区，该功能区响应于作用在该功能区上的力相对于衬底可偏离。该功能结构还包括导电基层，该导电基层包括导电基层材料。该导电基层材料在硬化部分中分段地包括碳材料，从而碳材料在该导电基层材料中的碳浓度是至少1014/cm3，并且至少为邻近硬化部分的导电基层材料中的碳浓度的103倍。
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公开(公告)号：CN106185781B
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201610326879.8
申请日：2016-05-17
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Abstract: 本发明的各个实施例涉及微机械结构及其制造方法。微机械结构包括衬底和布置在该衬底上的功能结构。功能结构包括功能区域，该功能区域可响应于作用在该功能区域上的力而相对于衬底偏转。功能结构包括碳层构造，其中碳层构造的基体材料是碳材料。
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公开(公告)号：CN106185781A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610326879.8
申请日：2016-05-17
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Abstract: 本发明的各个实施例涉及微机械结构及其制造方法。微机械结构包括衬底和布置在该衬底上的功能结构。功能结构包括功能区域，该功能区域可响应于作用在该功能区域上的力而相对于衬底偏转。功能结构包括碳层构造，其中碳层构造的基体材料是碳材料。
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