公开(公告)号：CN105651318B

公开(公告)日：2019-05-03

申请号：CN201510868278.5

申请日：2015-12-01

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： J·希尔瓦诺德索萨 ,  T·格里勒 ,  U·赫德尼格 ,  P·伊尔西格勒 ,  T·奈德哈特 ,  V·K·拉贾拉曼

IPC: G01D5/26

Abstract: 本申请涉及光子晶体传感器结构及其制造方法。公开了一种传感器以及制造传感器的方法。该传感器可以包括基底、光源、光学探测器、在基底中或者在基底之上的层结构中的多个光学空腔、以及处理电路，其中多个光学空腔可以被布置在光源和光学探测器之间的光学路径中，处理电路被耦合到光学探测器并且被配置为接收代表由光学探测器接收到的光学信号的信号。

公开(公告)号：CN105092069A

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201510261097.6

申请日：2015-05-20

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： J·希尔瓦诺德索萨 ,  T·弗里施穆斯 ,  P·伊尔西格勒 ,  U·施密德 ,  T·格里勒 ,  U·赫德尼格 ,  S·菲格埃拉达西尔瓦

IPC: G01K5/48

Abstract: 提出了一种用于电容式温度计的系统和方法。本文所公开的各种实施例包括含有可偏转膜和传感电极的电容式温度计。该电容式温度计被皮遏制为基于可偏转膜的温度调节电容值。

公开(公告)号：CN105092069B

公开(公告)日：2019-09-06

申请号：CN201510261097.6

申请日：2015-05-20

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： J·希尔瓦诺德索萨 ,  T·弗里施穆斯 ,  P·伊尔西格勒 ,  U·施密德 ,  T·格里勒 ,  U·赫德尼格 ,  S·菲格埃拉达西尔瓦

IPC: G01K5/48

Abstract: 提出了一种用于电容式温度计的系统和方法。本文所公开的各种实施例包括含有可偏转膜和传感电极的电容式温度计。该电容式温度计被配置为基于可偏转膜的温度调节电容值。

公开(公告)号：CN105651318A

公开(公告)日：2016-06-08

申请号：CN201510868278.5

申请日：2015-12-01

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： J·希尔瓦诺德索萨 ,  T·格里勒 ,  U·赫德尼格 ,  P·伊尔西格勒 ,  T·奈德哈特 ,  V·K·拉贾拉曼

IPC: G01D5/26

CPC classification number: G01N21/59 ,  G01K11/00 ,  G01L7/086 ,  G01N21/3504 ,  G01N2201/062 ,  G02B6/12004 ,  G02B6/125 ,  G02B2006/12166

Abstract: 本申请涉及光子晶体传感器结构及其制造方法。公开了一种传感器以及制造传感器的方法。该传感器可以包括基底、光源、光学探测器、在基底中或者在基底之上的层结构中的多个光学空腔、以及处理电路，其中多个光学空腔可以被布置在光源和光学探测器之间的光学路径中，处理电路被耦合到光学探测器并且被配置为接收代表由光学探测器接收到的光学信号的信号。