具有多面加热器配置的相变开关
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113517394A

    公开(公告)日:2021-10-19

    申请号:CN202110372622.7

    申请日:2021-04-07

    Abstract: 本公开的各实施例涉及具有多面加热器配置的相变开关。开关器件包括:被设置在衬底之上的第一RF端子和第二RF端子;连接在第一RF端子和第二RF端子之间的一个或多个相变材料带;将一个或多个相变材料带与衬底分开的绝热材料区域;以及包括一个或多个加热元件的加热器结构,加热元件被配置成通过向一个或多个相变材料带施加热量来控制第一RF端子和第二RF端子之间的导电连接。一个或多个相变材料带中的每个相变材料带包括第一外面和与第一外面相对的第二外面。对于一个或多个相变材料带中的每个相变材料带,第一外面和第二外面两者的至少部分被设置成抵靠加热元件中的一个加热元件。

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