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发明公开
用于光声传感器的发射器封装件审中-实审

公开(公告)号：CN112938891A

公开(公告)日：2021-06-11

申请号：CN202011346803.4

申请日：2020-11-26

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： 祁思源 , J·埃德尔 , C·格拉策 , D·迈尔 , M·帕维尔

IPC: B81B7/02 , B81B7/00

Abstract: 本公开涉及一种用于光声传感器的发射器封装件(100)。该发射器封装包括用于发射第一波长范围内的脉冲红外辐射的MEMS红外辐射源(11)。MEMS红外辐射源(11)可以布置在基底(10)上。发射器封装件(100)可以进一步包括刚性壁结构(12)，该刚性壁结构布置在基底(10)上并且侧向围绕MEMS红外辐射源(11)的外周。发射器封装件(100)可以进一步包括附接到刚性壁结构(12)的盖结构(13)，盖结构(13)包括滤波器结构(14)，用于对从MEMS红外辐射源(11)射出的红外辐射进行滤波，并用于提供减小的第二波长范围内的经滤波的红外辐射。

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