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公开(公告)号：CN107265393B
公开(公告)日：2020-07-14
申请号：CN201710281209.3
申请日：2017-03-31
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Inventor： J·洛德迈尔 , D·迈尔 , T·迈尔 , B·施塔德勒
IPC: B81B7/02
Abstract: 本申请涉及一种包含MEMS管芯的半导体设备。其中，所述半导体设备包含微机电系统(MEMS)管芯、盖和集成电路管芯。所述盖在所述MEMS管芯上方并且限定所述盖和所述MEMS管芯之间的空腔。所述集成电路管芯附接到所述盖的内侧。所述集成电路管芯电耦合到所述MEMS管芯。
公开(公告)号：CN107265393A
公开(公告)日：2017-10-20
