具有嵌入式互连的半导体封装
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111052364A

    公开(公告)日:2020-04-21

    申请号:CN201780094403.9

    申请日:2017-09-29

    申请人: 英特尔公司

    摘要: 一种半导体封装可以包括半导体封装第一侧、嵌入式桥互连、第一通孔和第二通孔。桥互连可以包括具有导电焊盘的桥互连第一侧和桥互连第二侧。桥互连第一侧与半导体封装第一侧之间的距离可以小于桥互连第二侧与半导体封装第一侧之间的距离。第一和第二通孔可以各自包括比第二端窄的第一端。半导体封装第一侧可以比第一通孔的第二端更靠近第一通孔的第一端,并且比第二通孔的第一端更靠近第二通孔的第二端。所述半导体封装的第一侧可以被配置成电耦合到管芯。

    通过铜凸块侧壁保护而防止受电偶腐蚀而缺失凸块

    公开(公告)号:CN110034023A

    公开(公告)日:2019-07-19

    申请号:CN201811455016.6

    申请日:2018-11-30

    申请人: 英特尔公司

    IPC分类号: H01L21/48

    摘要: 实施例包括半导体封装件和形成半导体封装件的方法。半导体封装件包括安置于导电层上的抗蚀层。半导体封装件还具有安置于导电层上的凸块。凸块具有顶面和一个或多个侧壁。半导体封装件还包括安置于凸块的顶面和一个或多个侧壁上的表面抛光剂。半导体封装件可以具有环绕凸块的顶面和侧壁以保护凸块免受电偶腐蚀的表面抛光剂。表面抛光剂可以包括镍-钯-金(NiPdAu)表面抛光剂。半导体封装件还可以具有安置于抗蚀层的顶面上的晶种和安置于晶种上的电介质。电介质可以环绕凸块的侧壁。半导体封装件可以包括作为无电镀的铜晶种的晶种。

    锡-锌微凸块结构及其制作方法

    公开(公告)号:CN109564915B

    公开(公告)日:2023-10-27

    申请号:CN201780050271.X

    申请日:2017-08-14

    申请人: 英特尔公司

    摘要: 用于提供与集成电路封装衬底上的表面水平微凸块的有效连接的技术和机制。在一实施例中,以各种方式电镀不同金属,以形成延伸通过衬底的表面水平电介质到包括铜的种子层的微凸块。所述微凸块包括通过促进微量成分在所述微凸块中的形成而减轻残余铜的沉淀的锡和锌的组合。在另一实施例中,所述微凸块具有锌的质量分数或锡的质量分数,其在沿所述微凸块的高度的各种区中不同。

    图案化TFC且并入ODI架构和有机衬底的任何堆积层中的方法

    公开(公告)号:CN111696949A

    公开(公告)日:2020-09-22

    申请号:CN202010092639.2

    申请日:2020-02-14

    申请人: 英特尔公司

    摘要: 实施例包括半导体封装。半导体封装包括多个堆积层以及堆积层中的多个导电层。导电层包括第一导电层和第二导电层。第一导电层在第二导电层和堆积层上方,其中第一通孔耦合第一导电层和第二导电层。该半导体封装还包括堆积层中的薄膜电容器(TFC),其中第二通孔将TFC耦合到第一导电层,并且第二通孔具有比第一通孔的厚度小的厚度。第一导电层可以是第一级互连。堆积层可以是电介质。TFC可包括第一电极、第二电极和电介质。第一电极可在第二电极上方,并且电介质可在第一电极和第二电极之间。